一种晶圆试验方法、装置、电子设备以及存储介质.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114300391A(43)申请公布日2022.04.08(21)申请号202111643575.1(22)申请日2021.12.29(71)申请人上海赛美特软件科技有限公司地址201600上海市松江区中辰路299号1幢636室(72)发明人韩林成(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人刘凤(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/66(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图5页(54)发明名称一种晶圆试验方法、装置、电子设备以及存储介质(57)摘要本公开提供了一种晶圆试验方法、装置、电子设备以及存储介质，其中，该方法包括：获取多个试验单，按照所述多个试验单中的各个试验项目，对所述多个试验单中的待试验晶圆进行划分，确定各个划分单元对应的待试验晶圆，基于各个试验单中试验项目的试验顺序条件和各个划分单元对应试验机台的试验条件，确定每个待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，按照任一所述待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，对所述待试验晶圆进行试验。这样，通过对各个待试验晶圆对应的试验项目排列出较优的试验顺序，可以提升对各个晶圆的试验效率。CN114300391ACN114300391A权利要求书1/2页1.一种晶圆试验方法，其特征在于，所述方法包括：获取多个试验单，其中，每个试验单对应至少一个待试验晶圆以及多个试验项目；按照所述多个试验单中的各个试验项目，对所述多个试验单中的待试验晶圆进行划分，确定各个划分单元对应的待试验晶圆；其中，同一划分单元对应的待试验晶圆的试验项目相同；基于各个试验单中试验项目的试验顺序条件和各个划分单元对应试验机台的试验条件，确定每个待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序；按照任一所述待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，对所述待试验晶圆进行试验。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过以下方式生成任一试验单：获取任一生产批次对应的待试验晶圆的批次信息和试验主流程信息；根据所述批次信息和所述试验主流程信息，获取用户设置的试验单的站点信息、试验单中待试验晶圆的晶圆标识和试验单的试验项目；根据所述生产批次对应的所述站点信息、所述晶圆标识以及所述试验项目，生成所述生产批次对应的待试验晶圆的试验单。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述按照所述多个试验单中的各个试验项目，对所述多个试验单中的待试验晶圆进行划分，确定各个划分单元对应的待试验晶圆，包括：根据任一试验项目的项目标识，确定与该项目标识对应的所述多个试验单中的待试验晶圆；将每个试验项目对应的待试验晶圆划分至同一个单元中。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述试验顺序条件包括：试验项目的站点优先级、各个试验单的创建时间优先级，所述试验条件包括：机台数量、机台类型、机台空闲时间；所述基于各个试验单中试验项目的试验顺序条件和各个划分单元对应试验机台的试验条件，确定每个待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，包括：根据各个试验单中的试验项目的站点优先级、各个试验单的创建时间优先级、各个批次对应试验机台的机台数量、机台类型和机台空闲时间，利用排序函数生成每个待试验晶圆的试验项目的试验顺序。5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述按照任一所述待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，对所述待试验晶圆进行试验，包括：按照任一所述待试验晶圆的试验项目的试验顺序，将所述待试验晶圆顺序布置至对应试验项目的试验机台进行试验。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：若任一待试验晶圆完成试验，将所述待试验晶圆合批至对应生成批次的晶圆组中。7.一种晶圆试验装置，其特征在于，所述装置包括：获取模块，用于获取多个试验单，其中，每个试验单对应至少一个待试验晶圆以及多个试验项目；划分模块，用于按照所述多个试验单中的各个试验项目，对所述多个试验单中的待试验晶圆进行划分，确定各个划分单元对应的待试验晶圆；其中，同一划分单元对应的待试验2CN114300391A权利要求书2/2页晶圆的试验项目相同；确定模块，用于基于各个试验单中试验项目的试验顺序条件和各个划分单元对应试验机台的试验条件，确定每个待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序；试验模块，用于按照任一所述待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，对所述待试验晶圆进行试验。8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述获取模块以下方式生成任一试验单：获取任一生产批次对应的待试验晶圆的批次信息和试验主流程信息；根据所述批次信息和所述试验主流程信息，获取用户设置的试验单的站点信息、试验单中待试验晶圆的晶圆标识和试验单的试验项目；根据所述生产批次对应的所