一种硅料处理装置、硅棒生产设备和硅料处理方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114318509A(43)申请公布日2022.04.12(21)申请号202111622589.5(22)申请日2021.12.28(71)申请人西安奕斯伟材料科技有限公司地址710000陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司(72)发明人陈凡张鹏举郭超超(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人顾春天(51)Int.Cl.C30B15/20(2006.01)C30B15/02(2006.01)C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图1页(54)发明名称一种硅料处理装置、硅棒生产设备和硅料处理方法(57)摘要本发明提供一种硅料处理装置、硅棒生产设备和硅料处理方法。硅料处理装置包括：进料组件，用于传输硅料，所述进料组件包括沿传输方向依次设置的上料区、扫描区和装料区，其中，待传输的硅料在所述上料区添加至所述进料组件；扫描组件，对应所述扫描区设置，所述扫描组件用于采集位于所述扫描区的硅料的硅料信息，所述硅料信息包括硅料的形状特征和尺寸特征中的一项或多项；控制器，与所述扫描组件连接，所述控制器用于根据所述硅料信息生成装料策略；装料组件，对应所述装料区设置，所述装料组件用于根据所述装料策略将位于所述装料区的硅料移动至目标位置。本发明实施例而能够更加稳定的实现硅液的供给，降低了拉晶工序中，硅棒断线的可能性。CN114318509ACN114318509A权利要求书1/2页1.一种硅料处理装置，其特征在于，包括：进料组件，用于传输硅料，所述进料组件包括沿传输方向依次设置的上料区、扫描区和装料区，其中，待传输的硅料在所述上料区添加至所述进料组件；扫描组件，对应所述扫描区设置，所述扫描组件用于采集位于所述扫描区的硅料的硅料信息，所述硅料信息包括硅料的形状特征和尺寸特征中的一项或多项；控制器，与所述扫描组件连接，所述控制器用于根据所述硅料信息生成装料策略；装料组件，对应所述装料区设置，所述装料组件用于根据所述装料策略将位于所述装料区的硅料移动至目标位置。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述进料组件包括环状设置的传送带，在传输硅料过程中，所述传送带沿着由所述上料区到所述扫描区和所述装料区的方向循环转动。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述进料组件还包括清洁区，所述清洁区位于所述装料区和所述上料区之间，所述硅料处理装置还包括清洁组件，所述清洁组件对应所述清洁区设置，所述清洁组件用于清洁位于所述传送带位于所述清洁区的部分。4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述进料组件还包括除尘区，所述除尘区位于所述上料区和所述扫描区之间，所述硅料处理装置还包括除尘组件，所述除尘组件对应所述除尘区设置，用于对位于所述除尘区的硅料进行除尘处理。5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述除尘组件包括多个空气喷头、弧形轨道和驱动组件，所述弧形轨道跨设于所述传送带的上方，所述空气喷头设置于所述弧形轨道上，且所述空气喷头朝向所述传送带设置，所述驱动组件用于驱动所述空气喷头在所述弧形轨道上往复移动。6.一种硅棒生产设备，其特征在于，包括拉晶装置和供料装置，所述硅料处理装置用于向所述拉晶装置提供硅料，所述供料装置为权利要求1至5中任一项所述的硅料处理装置。7.一种硅料处理方法，其特征在于，包括以下步骤：获取硅料的硅料信息，所述硅料信息包括硅料的形状特征和尺寸特征中的一项或多项；根据所述硅料信息生成装料策略；根据所述装料策略控制装料组件向目标位置提供硅料。8.根据权利要求7所述的硅料处理方法，其特征在于，所述硅料信息包括硅料的形状特征，所述获取硅料的硅料信息，包括：扫描获得所述硅料的整体形状，并根据所述整体形状确定所述硅料的棱角系数，所述棱角系数包括棱角数量和棱角尖锐度中的一项或多项；扫描所述硅料的表面结构，并根据所述表面结构确定所述硅料的光滑程度系数；生成包括所述硅料的形状特征的硅料信息，其中，所述形状特征包括所述棱角系数和所述光滑度系数。9.根据权利要求7所述的硅料处理方法，其特征在于，所述硅料信息包括硅料的尺寸特征，所述获取硅料的硅料信息，包括：扫描所述硅料在不同维度上的最大尺寸；根据所述硅料在不同维度上的最大尺寸的差值确定所述硅料的尺寸特征；2CN114318509A权利要求书2/2页生成包括所述尺寸特征的硅料信息。10.根据权利要求7所述的硅料处理方法，其特征在于，所述根据所述硅料信息生成装料策略，包括：根据硅棒的生产状态确定加料区间，其中，所述加料区间包括硅料的形状特征对应的形状区间和尺寸特征对应的尺寸区间中的至少一项；将硅料信息满足所述