硅料处理方法和硅料处理装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114408928A(43)申请公布日2022.04.29(21)申请号202111680716.7(22)申请日2021.12.31(71)申请人隆基绿能科技股份有限公司地址710100陕西省西安市长安区航天中路388号(72)发明人韩伟邓浩李侨(74)专利代理机构北京润泽恒知识产权代理有限公司11319代理人周海业(51)Int.Cl.C01B33/037(2006.01)C30B35/00(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图5页(54)发明名称硅料处理方法和硅料处理装置(57)摘要本申请实施例提供了一种硅料处理方法和硅料处理装置。所述硅料处理方法具体包括：将硅料装入炉体内的坩埚内；采用加热器将硅料加热至第一预设温度；将导气管从炉体外伸入炉体内的坩埚；通过导气管向坩埚内通入反应气体，反应气体至少包括含卤气体，以使含卤气体与硅料中金属杂质反应，反应时间为第一预设时长；将导气管抽出坩埚，切入硅棒拉制工步。本申请实施例中，在硅棒拉制之前，可以先用含卤气体与硅料中的金属杂质充分反应，提高硅料的纯度，从而，可以提升后续的晶棒拉制工步中得到的硅棒的品质。而且，由于处理后的硅料无需进行清洗和转运即可直接切入后续的拉晶工序，避免新的杂质引入，硅料处理的工艺较为简单且效率较高。CN114408928ACN114408928A权利要求书1/2页1.一种硅料处理方法，其特征在于，包括：将硅料装入炉体内的坩埚内；采用加热器将所述硅料加热至第一预设温度；将导气管从所述炉体外伸入炉体内的坩埚；通过所述导气管向所述坩埚内通入反应气体，所述反应气体至少包括含卤气体，以使所述含卤气体与所述硅料中金属杂质反应，反应时间为第一预设时长；将所述导气管抽出所述坩埚，切入硅棒拉制工步。2.根据权利要求1所述的硅料处理方法，其特征在于，所述采用加热器将所述坩埚内的硅料加热至第一预设温度的步骤之前，还包括：向所述炉体内通入惰性气体，用所述惰性气体置换所述炉体内的空气。3.根据权利要求1所述的硅料处理方法，其特征在于，所述将所述导气管抽出所述坩埚，切入硅棒拉制工步之前，还包括：向所述炉体内通入惰性气体。4.根据权利要求1所述的硅料处理方法，其特征在于，所述第一预设温度为700℃－1300℃。5.根据权利要求1至4任一项所述的处理方法，其特征在于，所述含卤气体包括：氯气、溴气、氟气、四氯化碳、氯化氢、氟利昂中的至少一种；所述反应气体还包括惰性气体，所述惰性气体包括：氮气、氩气、氦气中的至少一种。6.一种硅料处理装置，其特征在于，所述硅料处理装置包括：炉体；坩埚，所述坩埚设置于所述炉体内，用于容纳硅料；加热器，所述加热器设置于所述炉体内，用于加热所述坩埚内的硅料；导气管，所述导气管活动连接于所述炉体；其中，在进行硅棒拉制工步之前，可将硅料装入炉体内的坩埚内；采用加热器将所述坩埚内的硅料加热至第一预设温度；所述导气管伸入所述坩埚内；通过所述导气管向所述坩埚内通入反应气体，所述反应气体至少包括含卤气体，以使所述含卤气体与所述硅料中的金属杂质反应第一预设时长；将所述导气管抽出所述坩埚。7.根据权利要求6所述的硅料处理装置，其特征在于，所述硅料处理装置还包括：尾气处理柜；所述炉体上还设置有排气孔，所述排气孔用于将所述炉体内的尾气排出；所述尾气处理柜与所述排气孔连接，所述尾气处理柜用于处理从所述排气孔排出的尾气。8.根据权利要求6所述的硅料处理装置，其特征在于，所述炉体上还设置有进气孔，所述导气管至少部分穿设于所述进气孔，以从所述进气孔伸入所述坩埚内；所述硅料处理装置还包括密封件，所述密封件连接在所述导气管与所述炉体之间，用于密封所述进气孔。9.根据权利要求6所述的硅料处理装置，其特征在于，所述进气孔设置于所述炉体的顶部，所述导气管从所述炉体的顶部竖直伸入所述坩埚，或者，所述导气管从所述炉体的顶部倾斜伸入所述坩埚。2CN114408928A权利要求书2/2页10.根据权利要求6所述的硅料处理装置，其特征在于，所述进气孔设置于所述炉体的侧面，所述导气管从所述进气孔伸入后弯折预设角度伸入所述坩埚。11.根据权利要求5所述的硅料处理装置，其特征在于，所述导气管的材质包括：石英、氧化铝、碳化硅、氮化硅中的至少一种。3CN114408928A说明书1/11页硅料处理方法和硅料处理装置技术领域[0001]本申请属于光伏技术领域，具体涉及一种硅料处理方法和一种硅料处理装置。背景技术[0002]近年来，光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，有着广泛的市场需求。单晶硅片通常由硅棒进行切片处理得到的，因此，硅棒的质量最终也会影