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光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质.pdf
2023-07-21
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一种光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质，光学邻近矫正方法包括：提供设计图形，包括多个主图形，至少部分相邻的所述主图形之间形成有凹拐角；基于设计规则和掩膜版写入规则，在与所述凹拐角的顶点对应的主图形中生成拐角附加图形；基于目标图形，对所述设计图形进行光学邻近效应修正，获得修正后图形；对所述修正后图形进行光刻模拟，判断所述修正后图形中各凹拐角处对应的边缘放置误差是否满足预设标准；当凹拐角处对应的边缘放置误差不满足预设标准时，对所述修正后图形进行修剪处理，用于从所述修正后图形中修剪去除与所述凹拐角对
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