内容提供者
光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质.pdf
2023-06-01
10金币
2.6MB
25页
冬易****娘子
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共25页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质.pdf
一种光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质，光学邻近修正方法包括：提供目标图形；将目标图形的边分割为多个第一线段，包括两端点、位于两端点间的第一采样点；利用第一线段，对目标图形进行第一光学邻近修正处理，形成第一初始修正后图形、相应第一模拟图形；判断端点处，第一模拟图形的边缘放置误差是否达到修正标准；未达到修正标准时，在端点处设立第二采样点，在第二采样点两侧截取部分长度的第一线段平移至目标位置，构成第二线段，剩余第一线段作为第三线段，形成第二初始修正后图形；利用第二线段和第三线段，对第二初始修正后图
2023-06-05
10
2.5MB
光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质.pdf
一种光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质，修正方法包括：提供设计版图，包括多个设计图形；获取对应设计版图的网格状的初始边界线，初始边界线经过设计图形，且初始边界线与经过的设计图形具有至少两个第一交点；在初始边界线上获取分割点，分割点位于初始边界线经过的设计图形的两侧、并与经过的设计图形的第一交点具有预设距离，位于相邻分割点之间、且经过设计图形的初始边界线作为第一边界线，剩余初始边界线作为第二边界线；在设计图形外侧形成第三边界线，第三边界线通过分割点与第二边界线交替首尾相接，第三边界线和第二边界线
2023-06-01
10
2.6MB
光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质.pdf
一种光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质，光学邻近矫正方法包括：提供设计图形，包括多个主图形，至少部分相邻的所述主图形之间形成有凹拐角；基于设计规则和掩膜版写入规则，在与所述凹拐角的顶点对应的主图形中生成拐角附加图形；基于目标图形，对所述设计图形进行光学邻近效应修正，获得修正后图形；对所述修正后图形进行光刻模拟，判断所述修正后图形中各凹拐角处对应的边缘放置误差是否满足预设标准；当凹拐角处对应的边缘放置误差不满足预设标准时，对所述修正后图形进行修剪处理，用于从所述修正后图形中修剪去除与所述凹拐角对
2023-07-21
10
1.4MB
光学邻近修正掩膜.pdf
本发明公开了一种光学邻近修正掩膜，其包括二个开口图案以及一对散射条图案。开口图案沿一第一方向排列于一基底上，且彼此隔开一既定距离。一对散射条图案沿垂直于第一方向的一第二方向排列于基底上，且邻近于每一开口图案的二个相对侧。从侧视观点，每一散射条图案在第一方向及第二方向上，不与开口图案重叠，且每一开口图案与每一散射条图案之间存在180°的相移。本发明的光学邻近修正掩膜，可降低开口图案边缘的光强度但不降低开口图案本身的光强度，进而改善经由掩膜转印至光阻上的开口图案的轮廓，并增加光刻工艺中的对比度。另外，由于光刻
2023-10-19
10
899KB
光学邻近修正方法和掩膜版的制作方法.pdf
一种光学邻近修正方法及掩膜版的制作方法，其中光学邻近修正方法包括：提供目标图形；根据若干经验规则，分别对所述目标图形进行模拟修正，获取与各经验规则对应的模拟修正图形；根据若干模拟修正图形，获取参考经验规则；根据所述参考经验规则，对所述目标图形进行所述第一修正处理，获取第一目标修正图形；对所述第一目标修正图形进行第二修正处理，获取第二目标修正图形，所述第二目标修正图形的第一边缘放置误差在预设范围之内。所述方法能够有效提升光学邻近修正后的图形效果。
2023-07-25
10
543KB