一种探针位置的获得方法以及探针台.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115932555A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202310157002.0(22)申请日2023.02.23(71)申请人长春光华微电子设备工程中心有限公司地址130102吉林省长春市北湖科技开发区盛北小街1188号(72)发明人王蕾郑立功高跃红姜鑫王纪彬崔立志金钊孙海波(74)专利代理机构北京睿驰通程知识产权代理事务所(普通合伙)11604专利代理师张文平(51)Int.Cl.G01R31/28(2006.01)G01R1/067(2006.01)权利要求书3页说明书9页附图4页(54)发明名称一种探针位置的获得方法以及探针台(57)摘要本申请涉及半导体技术领域，本申请提供了一种探针位置的获得方法以及探针台。本申请首先利用校准针卡上的单根探针与探针相机进行对针，获得单根探针在所述预设水平面上的单针投影坐标。避免了对针错位，以及限制视场范围的情况。由于安装后的单根探针在针卡安装位上位置与安装后的目标针卡上的参照中心位置相对应，因此，利用参照中心位置与目标探针的位置关系（也就是多个预设关系参数值）完成计算，通过计算结果和水平微调完成对针，最终获得所述目标探针在预设水平面上的目标投影坐标，从而减少了操作失误导致针卡损伤。CN115932555ACN115932555A权利要求书1/3页1.一种探针位置的获得方法，其特征在于，包括：在探针台上的针卡安装位安装校准针卡之后，确定所述校准针卡上仅有的单根探针在预设水平面上的预估单针投影坐标，其中，预设水平面是由预设运动机构坐标系上的第一坐标轴和第二坐标轴形成的水平面，所述单根探针安装于所述针卡安装位的几何中心位置上，且在目标针卡上具有与所述单根探针的安装位置相对应的参照中心位置；控制固定设置于所述运动机构上的探针相机依据所述预估单针投影坐标对所述单根探针进行对针，获得所述单根探针在所述预设水平面上的单针投影坐标；基于所述单针投影坐标和所述目标针卡上目标探针与参照中心位置的多个预设关系参数值获得所述目标探针在所述预设水平面上的测算投影坐标；利用所述目标针卡替换在所述针卡安装位上安装的校准针卡之后，控制所述探针相机依据所述测算投影坐标对所述目标探针进行对针，获得所述目标探针在预设水平面上的目标投影坐标。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述单针投影坐标包括在所述第一坐标轴上的第一单针坐标和在所述第二坐标轴上的第二单针坐标；所述多个预设关系参数值包括：目标占位区域的预设目标行号、目标占位区域的预设目标列号、安装后的所述目标针卡的占位区域在所述第一坐标轴方向上的预设第一占位长度、安装后的所述目标针卡的占位区域在所述第二坐标轴方向上的预设第二占位长度、占位区域的预设占位行间距、占位区域的预设占位列间距、以及目标焊点的扎针投影坐标相对于所在的目标芯片的芯片投影坐标在所述第一坐标轴上的预设第一焊点偏移量和在所述第二坐标轴上的预设第二焊点偏移量，其中，所述目标针卡包括阵列排列的多个占位区域，每个占位区域均设置有排列方式相同的多个探针，在晶圆测试中每个占位区域对应于被测晶圆上的一个芯片，每个探针对应芯片上的一个焊点，安装后的所述目标针卡的每行占位区域的排列方向平行于所述第一坐标轴方向，且安装后的所述目标针卡的每列占位区域的排列方向平行于所述第二坐标轴方向；相应地，所述基于所述单针投影坐标和所述目标针卡上目标探针与参照位置的多个预设关系参数值获得所述目标探针在所述预设水平面上的测算投影坐标，包括：基于所述单针投影坐标的第一单针坐标以及预设目标行号、预设第一占位长度和预设占位列间距获得所述目标芯片在第一坐标轴上的第一芯片坐标，以及，基于所述单针投影坐标的第二单针坐标以及预设目标列号、预设第二占位长度和预设占位行间距获得所述目标芯片在第二坐标轴上的第二芯片坐标；基于所述第一芯片坐标和所述预设第一焊点偏移量获得所述目标探针在第一坐标轴上的第一测算投影坐标，以及，基于所述第二芯片坐标和所述预设第二焊点偏移量获得所述目标探针在第二坐标轴上的第二测算投影坐标。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述目标探针设置于所述目标针卡中排列在第一行且第一列的目标占位区域中，且所述目标探针位于目标占位区域的第一个探针。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制固定设置于所述运动机构上的探针相机依据所述预估单针投影坐标对所述单根探针进行对针，获得所述单根探针在所述预2CN115932555A权利要求书2/3页设水平面上的单针投影坐标，包括：基于预设空间高度值、所述单根探针的预设单针长度和所述校准针卡的底座的预设第一底座厚度以及所述探针相机的预设相机工作距计算出所述探针相机从第二初始高度升高至对针高度的第一升高值，其中，所述