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一种用于探针卡的探针的加工方法.pdf
2023-05-26
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一种用于探针卡的探针的加工方法.pdf
本发明公开了一种用于探针卡的探针的加工方法,涉及晶圆检测设备领域。其包括:(1)提供/制备合金粉末;(2)通过软件将预先设计的探针的三维图进行切片;(3)将所述合金粉末加载至3D打印机内,并采用所述合金粉末逐层打印所述切片,形成用于探针卡的探针。本发明采用3D打印成型探针,其成本低、工艺简单,可快速实现批量加工。且该加工方法可提升成品探针的尺寸精度。
2023-05-26
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探针卡装置及双臂式探针.pdf
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2023-06-02
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基于卡西米尔效应的测量探针的制备方法及探针.pdf
本发明提供了一种基于卡西米尔效应的测量探针的制备方法及探针，该方法包括：在衬底上下表面分别沉积第一氮化硅层和第二氮化硅层；采用光刻胶刻蚀第一氮化硅层，在衬底一侧表面形成第一有效区域；在衬底上生长覆盖第一有效区域和衬底的遮盖层；采用光刻胶刻蚀第二氮化硅层，在衬底另一侧表面形成第二有效区域；采用碱性溶液去除未被第二有效区域覆盖的衬底；采用缓冲氧化物刻蚀液去除遮盖层，得到探针悬臂梁；取微球分散液滴加在载体上，烘干得到粘附于载体的微球；利用位移平台使探针悬臂梁的尖端蘸取紫外胶；通过紫外胶将微球黏附于尖端，形成微球
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2023-06-10
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