一种探针结构、应用该探针的热电探针及测量方法.pdf
小忆****ng
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一种探针结构、应用该探针的热电探针及测量方法.pdf
本发明属于天体探测设备技术领域,具体涉及一种探针结构、应用该探针的热电探针及测量方法,探针结构包括一体成型的空心壳体,壳体包括尖端、中端和尾端,尾端带有用来防止在贯入过程中探针产生轴向或/和周向位移的定位结构,在壳体内部搭载有用来探测星壤热物性和电物性的物性感知单元,以及壳体采用较小长径比。热电探针包括热电探针单元,热电探针单元包括:包含至少两根探针,探针根据程序设定可单独作为备用探针或共同配合用于获取测量数据;以及用来固定和支撑探针支撑组件。本发明设计的热电探针选用多根长径比较短的探针,同时具有贯入、触
手动探针结构.pdf
本发明涉及基板生产技术领域,公开了一种手动探针结构,包括机架、可滑动地设于机架的桶架和可滑动地设于桶架上的精密定位器,精密定位器设有可三维调节的镜头悬臂和探针悬臂,镜头悬臂设有轮盘式倍率镜头模块,轮盘式倍率镜头模块包括固定于镜头悬臂的镜头座和可转动地安装于镜头座的镜盘,镜盘沿转动中心的周向排布设有多个不同倍率的镜头;探针悬臂的前端设有针头,针头位于镜盘的下方,且转动镜盘,多个镜头可分别与针头相对应。本发明在选择镜头时,仅需要手动转动镜盘切换镜头,省时省力,方便快捷,定位准确,可满足不同倍率条件下的测试点寻
一种用于探针卡的探针的加工方法.pdf
本发明公开了一种用于探针卡的探针的加工方法,涉及晶圆检测设备领域。其包括:(1)提供/制备合金粉末;(2)通过软件将预先设计的探针的三维图进行切片;(3)将所述合金粉末加载至3D打印机内,并采用所述合金粉末逐层打印所述切片,形成用于探针卡的探针。本发明采用3D打印成型探针,其成本低、工艺简单,可快速实现批量加工。且该加工方法可提升成品探针的尺寸精度。
静电探针差动测量方法.pdf
静电探针差动测量方法,步骤为:1)准备局部瓷质阳极氧化处理的铝丝探针,铝丝探针轴向二分之一表面形成绝缘膜,其余部分为导电表面;2)将步骤1)的铝丝探针缠绕于驱动轮,并与采样电阻串联;3)在驱动轮带动下,铝丝探针沿自身轴向做匀速平移;4)将铝丝探针置于电弧截面内,当前测量时刻为
悬臂式探针结构.pdf
本发明公开一种悬臂式探针结构。悬臂式探针结构包含一固定段、相连于固定段的一行程段、相连于行程段的一针测段。行程段朝远离固定段的方向依序具有一第一特征部、一弹性部及一第二特征部,第一特征部与第二特征部彼此相向且间隔设置,针测段相连于第二特征部。当悬臂式探针结构以针测段的一自由端顶抵于一待测物,以通过弹性部形变而使第二特征部接触于第一特征部时,悬臂式探针结构形成由自由端依序沿经针测段、第二特征部及第一特征部而至固定段的一信号传输路径。据此,悬臂式探针结构通过弹性部而有效地优化整体受力结构,并大幅地缩短信号传输