夹取式机械手.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105459150A(43)申请公布日2016.04.06(21)申请号201510970306.4(22)申请日2015.12.21(71)申请人上海提牛机电设备有限公司地址201713上海市青浦区朱家角镇祥凝浜路16弄45号5-572室(72)发明人丁高生(74)专利代理机构上海天翔知识产权代理有限公司31224代理人吕伴(51)Int.Cl.B25J18/00(2006.01)B25J1/12(2006.01)B65G47/90(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称夹取式机械手(57)摘要本发明公开了一种夹取式机械手，包括：机座，机座的侧部设置有机座侧移驱动机构；设置在机座上的升降驱动机构；设置在升降驱动机构顶端的夹取机构，夹取机构包括间隔设置在升降驱动机构顶端的一对旋转驱动部件，每一旋转驱动部件的旋转输出端连接有一转动臂，一对转动臂平行设置且转向相反，转动臂上设置有夹爪固定块，夹爪固定块上设置有用以夹持芯片容纳盒边缘的夹爪，夹爪固定块上设置有位置传感器。本发明的有益效果在于：1、本发明直接通过夹爪夹取芯片容纳盒，防止灰粒污染和金属污染，保证芯片的生产质量；2、本发明方便实现芯片容纳盒的夹取和转运，大大提高了转运速度，缩短转运时间，提高工作效率。CN105459150ACN105459150A权利要求书1/1页1.夹取式机械手，其特征在于，包括：机座，所述机座的侧部设置有机座侧移驱动机构；设置在所述机座上的升降驱动机构；设置在所述升降驱动机构顶端的夹取机构，所述夹取机构包括间隔设置在所述升降驱动机构顶端的一对旋转驱动部件，每一所述旋转驱动部件的旋转输出端连接有一转动臂，一对转动臂平行设置且转向相反，所述转动臂上设置有夹爪固定块，所述夹爪固定块上设置有用以夹持芯片容纳盒边缘的夹爪，所述夹爪固定块上设置有位置传感器。2.如权利要求1所述的夹取式机械手，其特征在于，所述升降驱动机构包括竖直设置在所述机座上的滚珠丝杠副以及驱动所述滚珠丝杠副的螺杆转动的驱动电机，所述滚珠丝杠副的螺母上同轴套设有一空心导向轴，所述空心导向轴的顶端延伸出所述机座顶部且设置有一安装板，该安装板作为所述升降驱动机构顶端。3.如权利要求1所述的夹取式机械手，其特征在于，所述机座侧移驱动机构包括一对设置在所述机座侧部的水平滑轨以及固定在所述机座上的侧移电机，所述侧移电机的转动输出端与齿条啮合。4.如权利要求1所述的夹取式机械手，其特征在于，所述旋转驱动部件为旋转气缸。5.如权利要求1所述的夹取式机械手，其特征在于，所述夹爪固定块上设置有横向安装孔，所述夹爪为方框型夹爪，所述方框型夹爪的顶边安装在所述横向安装孔上。6.如权利要求1所述的夹取式机械手，其特征在于，所述转动臂和/或夹爪的外表面设置有防腐层。7.如权利要求1所述的夹取式机械手，其特征在于，所述转动臂为伸缩臂。2CN105459150A说明书1/3页夹取式机械手技术领域[0001]本发明涉及夹取设备领域，特别涉及一种适用于半导体芯片湿法腐蚀生产过程中的夹取式机械手。背景技术[0002]在半导体芯片湿法腐蚀生产过程中，通常将半导体芯片放置在芯片容纳盒内，然后将芯片容纳盒放置在酸槽内的框架中进行湿法腐蚀，而框架顶部设置有挂钩，腐蚀后需要将芯片容纳盒搬运至水槽中。当需要搬运芯片容纳盒时，由机械手勾取挂钩或者手动提取挂钩使得框架离开酸槽，再利用机械手将芯片容纳盒取出。这种操作方法存在以下几个缺点：[0003]1、在与挂钩勾取或提取时，机械手和框架的接触容易产生灰粒污染或者造成金属沾污污染，影响芯片的生产质量；[0004]2、搬运速度及时间较长，降低工作效率，也不符合有些芯片生产过程中对酸槽至水槽之间的搬运时间的要求。发明内容[0005]本发明的目的在于针对现有技术的上述不足和缺陷，提供一种操作方便且防止污染的夹取式机械手，以解决上述问题。[0006]本发明所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：[0007]夹取式机械手，其特征在于，包括：[0008]机座，所述机座的侧部设置有机座侧移驱动机构；[0009]设置在所述机座上的升降驱动机构；[0010]设置在所述升降驱动机构顶端的夹取机构，所述夹取机构包括间隔设置在所述升降驱动机构顶端的一对旋转驱动部件，每一所述旋转驱动部件的旋转输出端连接有一转动臂，一对转动臂平行设置且转向相反，所述转动臂上设置有夹爪固定块，所述夹爪固定块上设置有用以夹持芯片容纳盒边缘的夹爪，所述夹爪固定块上设置有位置传感器。[0011]在本发明的一个优选实施例中，所述升降驱动机构包括竖直设置在所述机座上的滚珠丝杠副以及驱动所述滚珠丝杠副的螺杆转动的驱动电机，所述滚珠丝杠副的螺母上同轴套