一种构件几何缺陷检测系统及检测方法.pdf
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一种构件几何缺陷检测系统及检测方法.pdf
本发明提供了一种构件几何缺陷检测系统及检测方法,涉及构件缺陷检测技术领域,通过对导轨形状和位置的调整,配合使用移动的检测装置解决了现有技术中存在的难以对整个待检测面进行整体和局部形状精确测量的技术问题。该装置包括安装有导轨的支撑部、能在所述支撑部上沿所述导轨移动的检测装置,其中:所述导轨平行于待检测面设置;所述检测装置包括至少两个测距传感器,且各所述测距传感器均垂直于待检测面;本发明用于对待检测面进行几何缺陷检测,多个测距传感器同时对检测面进行检测,能同时实现多条线上所有测点缺陷的连续测量,大幅提高测量效
缺陷检测方法及缺陷检测系统.pdf
本发明提供一种缺陷检测方法及缺陷检测系统,缺陷检测方法包括步骤:1)使用短波光及长波光分别对待检测晶圆各区域进行交替脉冲式扫描;2)接收待检测晶圆对短波光进行反射的短波反射光信号及对长波光进行反射的长波反射光信号;3)去除位于预设强度范围之外的短波反射光信号及长波反射光信号,并去除待检测晶圆同一区域反射的、且位于预设强度范围之内的短波反射光信号及长波反射光信号二者中的强度较小者;4)依据保留的短波反射光信号及保留的长波反射光信号形成缺陷图形以进行缺陷检测。本发明可以确保各个区域的亮度最优化,可以提高缺陷的
一种回转构件表面缺陷检测装置、检测方法及标定方法.pdf
本发明公开了机械制造领域的一种回转构件表面缺陷检测装置、检测方法及标定方法,旨在解决目前机械制造过程中,对大型回转构件的表面缺陷检测效果不理想的技术问题。其包括:分布式单目线结构光检测系统以及传动装置,分布式单目线结构光检测系统包括设置于同一平面四角的四组检测机构,每组检测机构包括线激光器以及相机;传动装置用于带动待测回转构件进行水平位移,位移的轨迹垂直贯穿于上述平面中部。本发明能够有效应用于大型构件表面检测,且整个检测过程无需人工干预,自动化程度较高,便于后续的矫正处理操作。
一种缺陷检测方法及系统.pdf
本发明适用于检测领域,提供了一种缺陷检测方法及系统,所述方法包括以下步骤:对待检测设备进行图像采集,对采集的图像进行预处理;将预存的灰度模板与预处理后的采集图像进行差值运算,得到灰度模板差值图像;对所述灰度模板差值图像进行二值化处理,得到差值二值化图像;将预存的二值模板与所述差值二值化图像进行差值运算,得到二值模板差值图像;对所述二值模板差值图进行轮廓查找,根据查找轮廓的结果对所述待检测设备判定是否有缺陷。本发明通过采用基于二重模板匹配的缺陷检测方法降低了光线变化带来的图像边缘干扰,特别对于表面较为复杂的
缺陷的检测方法和缺陷的检测系统.pdf
本发明公开了一种缺陷的检测方法和缺陷的检测系统。其中,该方法包括:获取目标对象的疑似缺陷图像、模板图像以及疑似缺陷图像在模板图像中的位置信息;根据疑似缺陷图像、模板图像以及位置信息,获取模板图像中与疑似缺陷图像对应的模板部分;根据模板部分和疑似缺陷图像,检测疑似缺陷图像是否存在目标缺陷。该方案可以自动检测疑似缺陷图像中是否存在目标缺陷,无需人工进行检测,使得检测的效率较高,本发明解决了由于需要人工检测造成的缺陷检测效率较低的技术问题。