缺陷的检测方法和缺陷的检测系统.pdf
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相关资料
缺陷的检测方法和缺陷的检测系统.pdf
本发明公开了一种缺陷的检测方法和缺陷的检测系统。其中,该方法包括:获取目标对象的疑似缺陷图像、模板图像以及疑似缺陷图像在模板图像中的位置信息;根据疑似缺陷图像、模板图像以及位置信息,获取模板图像中与疑似缺陷图像对应的模板部分;根据模板部分和疑似缺陷图像,检测疑似缺陷图像是否存在目标缺陷。该方案可以自动检测疑似缺陷图像中是否存在目标缺陷,无需人工进行检测,使得检测的效率较高,本发明解决了由于需要人工检测造成的缺陷检测效率较低的技术问题。
缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统.pdf
本发明实施例公开的缺陷检测方法例如包括:获取包含待测晶圆的第一待测晶粒在内的待测晶粒图像;获取第一、第二和第三灰阶参考图像,其中,第一、第二和第三灰阶参考图像中对应位置的灰度值依次对应为第一、第二和第三灰度值,且第一灰度值不大于第二灰度值,第二灰度值不大于第三灰度值;将待测晶粒图像分别与第一灰阶参考图像和第三灰阶参考图像进行对比,得到第一待测晶粒的缺陷可疑区域;基于预设筛选信息对缺陷可疑区域进行区域筛选处理,得到第一待测晶粒的目标待测区域;以及根据目标待测区域、待测晶粒图像以及第二灰阶参考图像检测待测晶圆
缺陷检测方法及缺陷检测系统.pdf
本发明提供一种缺陷检测方法及缺陷检测系统,缺陷检测方法包括步骤:1)使用短波光及长波光分别对待检测晶圆各区域进行交替脉冲式扫描;2)接收待检测晶圆对短波光进行反射的短波反射光信号及对长波光进行反射的长波反射光信号;3)去除位于预设强度范围之外的短波反射光信号及长波反射光信号,并去除待检测晶圆同一区域反射的、且位于预设强度范围之内的短波反射光信号及长波反射光信号二者中的强度较小者;4)依据保留的短波反射光信号及保留的长波反射光信号形成缺陷图形以进行缺陷检测。本发明可以确保各个区域的亮度最优化,可以提高缺陷的
增材制造的缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法.pdf
本发明公开了一种增材制造的缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法,该缺陷检测装置包括激光发生机构、激光检测机构以及控制机构,控制机构分别与所述激光发生机构和激光检测机构连接,用于在增材制造过程中控制激光发生机构发射第一激光至增材制件,控制激光检测机构发射第二激光至增材制件以对第一激光产生的辐射信号进行检测,并接收激光检测机构反馈的检测信号。本发明能够实现对增材制件的缺陷检测,其结构简单易于实现,检测实时性较好、精度较高,并且能够避免增材制件的表面盲区的问题,有助于提高增材制件的成品质量。
元件缺陷检测方法和系统.pdf
本发明涉及一种元件缺陷检测方法和系统,方法包括以下步骤:获取安装在电路板上的待测元件的原始图像,对所述原始图像进行边缘检测,获取所述待测元件的轮廓图像;提取所述轮廓图像的轮廓特征,将所述轮廓特征与预存的模板轮廓图像的模板轮廓特征进行比较,计算所述轮廓特征与所述模板轮廓特征之间的相似度;若所述相似度小于预设的相似度阈值,判定所述元件安装错误。