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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103730448103730448A(43)申请公布日2014.04.16(21)申请号201310146277.0(22)申请日2013.04.24(30)优先权数据1011374062012.10.11TW(71)申请人财团法人工业技术研究院地址中国台湾新竹县竹东镇中兴路四段195号申请人欣兴电子股份有限公司(72)发明人陈裕华骆韦仲胡迪群谢昌宏(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司11006代理人梁挥鲍俊萍(51)Int.Cl.H01L23/538(2006.01)H01L21/768(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书5页说明书5页附图5页附图5页(54)发明名称封装基板及其制作方法(57)摘要一种封装基板及其制作方法,包括:具有多个导电穿孔的中介层、形成于该中介层一侧上的感旋光性介电层、以及形成于该感旋光性介电层中且电性连接该导电穿孔的导电盲孔。借由黄光开孔工艺的对准度佳的特性,而于该感旋光性介电层上形成孔径极小的盲孔时仍能有效对准该导电穿孔,所以该导电穿孔的孔径可缩小至所需尺寸,而不受盲孔的对位限制,因而提高该导电穿孔于该中介层上的布设密度。CN103730448ACN103748ACN103730448A权利要求书1/2页1.一种封装基板,其包括:中介层,其具有相对的第一侧与第二侧、及贯穿该第一侧与该第二侧的多个导电穿孔,该第一侧上形成有电性连接该导电穿孔的线路重布层;感旋光性介电层,其形成于该中介层的该第二侧上;以及多个导电盲孔,其形成于该感旋光性介电层中,以电性连接该导电穿孔。2.根据权利要求1所述的封装基板,其特征在于,该中介层含有硅材。3.根据权利要求1所述的封装基板,其特征在于,该线路重布层的最外层具有多个电极垫。4.根据权利要求1所述的封装基板,其特征在于,该导电穿孔的外侧壁上具有绝缘层。5.根据权利要求1所述的封装基板,其特征在于,该封装基板还包括线路层,其形成于该感旋光性介电层上,且电性连接该些导电盲孔。6.根据权利要求5所述的封装基板,其特征在于,该线路层嵌埋于该感旋光性介电层中。7.根据权利要求5所述的封装基板,其特征在于,该封装基板还包括线路增层结构,其形成于该感旋光性介电层与该线路层上。8.根据权利要求7所述的封装基板,其特征在于,该封装基板还包括绝缘保护层,其形成于该线路增层结构上,且该绝缘保护层具有多个开孔,以外露该线路增层结构的部份线路,以供作为电性接触垫。9.根据权利要求1所述的封装基板,其特征在于,该封装基板还包括模封层,其包覆该中介层。10.根据权利要求9所述的封装基板,其特征在于,该线路重布层外露出该模封层。11.一种封装基板的制作方法,其特征在于,包括:提供一中介层,其具有相对的第一侧与第二侧、及连通该第一侧与该第二侧的多个导电穿孔,且该中介层的第一侧上形成有电性连接该导电穿孔的线路重布层;于该中介层的该第二侧上形成感旋光性介电层;于该感旋光性介电层上形成多个盲孔,令该导电穿孔外露于该盲孔;以及于该些盲孔中形成导电盲孔,以电性连接该导电穿孔。12.根据权利要求11所述的封装基板的制作方法,其特征在于,该中介层含有硅材。13.根据权利要求11所述的封装基板的制作方法,其特征在于,该线路重布层的最外层具有多个电极垫,以接置芯片。14.根据权利要求11所述的封装基板的制作方法,其特征在于,该导电穿孔的外侧壁上具有绝缘层。15.根据权利要求11所述的封装基板的制作方法,其特征在于,该感旋光性介电层借由黄光开孔工艺形成该些盲孔。16.根据权利要求11所述的封装基板的制作方法,其特征在于,还包括于该感旋光性介电层上形成线路层,且电性连接该些导电盲孔。17.根据权利要求16所述的封装基板的制作方法,其特征在于,还包括于该感旋光性介电层与该线路层上形成线路增层结构。18.根据权利要求17所述的封装基板的制作方法,其特征在于,还包括于该线路增层2CN103730448A权利要求书2/2页结构上形成绝缘保护层,且该绝缘保护层具有多个开孔,以外露该线路增层结构的部份线路,以供作为电性接触垫。19.根据权利要求11所述的封装基板的制作方法,其特征在于,还包括于形成该感旋光性介电层之前,形成一模封层包覆该中介层,使该中介层嵌埋于该模封层中。20.根据权利要求19所述的封装基板的制作方法,其特征在于,该线路重布层外露出该模封层。3CN103730448A说明书1/5页封装基板及其制作方法技术领域[0001]本发明有关于一种封装基板,尤指一种埋设中介层的封装基板及其制作方法。背景技术[0002]随着电子产品更趋于轻薄短小及功能不断提升的需求,芯片的布线密度愈来愈高,并以奈米