预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共13页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104112673104112673A(43)申请公布日2014.10.22(21)申请号201310137349.5H05K1/02(2006.01)(22)申请日2013.04.19(71)申请人宏启胜精密电子(秦皇岛)有限公司地址066000河北省秦皇岛市经济技术开发区腾飞路18号申请人臻鼎科技股份有限公司(72)发明人许诗滨(74)专利代理机构深圳市鼎言知识产权代理有限公司44311代理人哈达(51)Int.Cl.H01L21/48(2006.01)H01L23/498(2006.01)H05K3/46(2006.01)H05K1/00(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书6页说明书6页附图4页附图4页(54)发明名称芯片封装基板及其制作方法(57)摘要一种芯片封装基板,包括电路板芯板、第一胶层、第一玻璃基底及第三导电线路层。该电路板芯板包括绝缘基底及形成该绝缘基底相对两侧的第一导电线路层和第二导电线路层,该第一导电线路层包括多个第一电性连接垫,该第二导电线路层包括多个第二电性连接垫。该第一胶层形成于该第一导电线路层表面及该绝缘基底露出于该第一导电线路层的表面上,该第一玻璃基底粘接于该第一胶层上,该第三导电线路层形成于该第一玻璃基底表面,且通过形成于该第一玻璃基底和第一胶层的多个第一导盲孔与该多个第一电性连接垫分别电连接。本发明还涉及一种上述芯片封装基板的制作方法。CN104112673ACN1042673ACN104112673A权利要求书1/2页1.一种芯片封装基板的制作方法,包括步骤:提供电路板芯板,包括绝缘基底及形成该绝缘基底相对两侧的第一导电线路层和第二导电线路层,该第一导电线路层包括多个第一电性连接垫,该第二导电线路层包括多个第二电性连接垫;在该第一导电线路层及该绝缘基底露出于该第一导电线路层的表面设置第一胶层,并将将第一玻璃基底粘接于该第一胶层上;及在该第一玻璃基底表面形成第三导电线路层,并形成多个贯穿该第一玻璃基底和第一胶层的第一导盲孔,该多个第一导盲孔的一端电连接于该第三导电线路层,相对的另一端分别电连接于该多个第一电性连接垫,从而形成芯片封装基板。2.如权利要求1所述的芯片封装基板的制作方法,其特征在于,该第三导电线路层和第一导盲孔的制作方法包括步骤:通过激光蚀孔工艺在该第一玻璃基底上形成多个贯穿该第一玻璃基底和第一胶层的第一盲孔,该多个第一盲孔分别暴露该多个第一电性连接垫;在该多个第一盲孔的内壁、该多个第一电性连接垫的表面及该第一玻璃基底表面形成连续的种子层;在该第一玻璃基底表面形成图案化的光致抗蚀剂层,该光致抗蚀剂层暴露该多个第一盲孔;通过电镀的方法在露出于该光致抗蚀剂层的种子层的表面形成电镀铜层;及移除该光致抗蚀剂层,并去除该种子层被该光致抗蚀剂层所覆盖的部分,保留于该第一玻璃基底表面的种子层及电镀铜层构成该第三导电线路层,该多个第一盲孔内的种子层和电镀铜层构成该多个第一导盲孔。3.如权利要求1所述的芯片封装基板的制作方法,其特征在于,该第三导电线路层和第一导盲孔的制作方法包括步骤:通过激光蚀孔工艺在该第一玻璃基底上形成多个贯穿该第一玻璃基底和第一胶层的第一盲孔,该多个第一盲孔分别暴露该多个第一电性连接垫;在该多个第一盲孔内填充导电膏;在该第一玻璃基底表面形成连续的种子层;在该第一玻璃基底表面形成图案化的光致抗蚀剂层,与该多个第一盲孔相对的种子层暴露于该光致抗蚀剂层;通过电镀的方法在露出于该光致抗蚀剂层的种子层的表面形成电镀铜层;及移除该光致抗蚀剂层,并去除该种子层被该光致抗蚀剂层所覆盖的部分,保留于该第一玻璃基底表面的种子层及电镀铜层构成该第三导电线路层,该多个第一盲孔内导电膏构成该多个第一导盲孔。4.如权利要求1所述的芯片封装基板的制作方法,其特征在于,在形成第三导电线路层和第一导盲孔后,进一步包括步骤:在该第三导电线路层一侧依次层叠形成第一介电层和第五导电线路层;及在该第五导电线路层侧形成第一防焊层,该第一防焊层覆盖部分该第五导电线路层,露出于该第一防焊层的第五导电线路层构成第五电性连接垫,该第五电性连接垫用于与待封装芯片电连接。2CN104112673A权利要求书2/2页5.如权利要求1所述的芯片封装基板的制作方法,其特征在于,该第一玻璃基底凸出于该第一胶层的表面或嵌入该第一胶层内。6.如权利要求1所述的芯片封装基板的制作方法,其特征在于,该芯片封装基板的制作方法进一步包括步骤:在将第二导电线路层表面及该绝缘基底露出于该第二导电线路层的表面设置第二胶层,并将第二玻璃基底粘接于该第二胶层上;及在该第二玻璃基底表面形成第四导电线路层,并形成多个贯穿该第二玻璃基底和第二胶层的第二