一种检测装置、彩膜修复设备及检测方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109030509A(43)申请公布日2018.12.18(21)申请号201810708919.4(22)申请日2018.07.02(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司(72)发明人冯孟李志宾李鹏刘大勇孙瑞雪李磊姜根(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人许静刘伟(51)Int.Cl.G01N21/95(2006.01)权利要求书3页说明书13页附图6页(54)发明名称一种检测装置、彩膜修复设备及检测方法(57)摘要本发明提供一种检测装置、彩膜修复设备及检测方法，所述检测装置包括：承载台；用于夹持待检测产品，以对待检测产品进行对位的对位夹具；用于将待检测产品吸附固定于承载台上的吸附单元；驱动单元，能够在与承载台的承载面垂直的竖直方向上，驱动对位夹具进行升降运动，在与承载台的承载面平行的水平方向上，驱动对位夹具平移至第一对位位置和第二对位位置；以及，控制单元，与驱动单元连接，用于控制驱动单元的工作状态，使驱动单元驱动对位夹具处于第一对位位置或第二对位位置，以使得待检测产品能够在水平方向上进行二次对位。本发明能够解决现有技术中彩膜修复设备存在修复盲区的问题，可实现提升对待检测产品的良率。CN109030509ACN109030509A权利要求书1/3页1.一种检测装置，包括：用于承放待检测产品的承载台；用于夹持所述待检测产品，以对所述待检测产品进行对位的对位夹具；用于将所述待检测产品吸附固定于所述承载台上的吸附单元；其特征在于，所述检测装置还包括：用于驱动所述对位夹具移动的驱动单元，所述驱动单元能够在与所述承载台的承载面垂直的竖直方向上，驱动所述对位夹具进行升降运动，并且，所述驱动单元能够在与所述承载台的承载面平行的水平方向上，驱动所述对位夹具平移至第一对位位置和第二对位位置；以及，控制单元，与所述驱动单元连接，用于控制所述驱动单元的工作状态，使所述驱动单元驱动所述对位夹具处于所述第一对位位置或所述第二对位位置，以使得所述待检测产品能够在所述水平方向上进行二次对位。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述承载台的承载面包括相对的第一侧和第二侧，所述对位夹具包括基准夹具和推动夹具，所述基准夹具设置于所述承载台的第一侧，所述推动夹具设置于所述承载台的第二侧；所述检测装置还包括：用于获取所述待检测产品的当前位置信息的位置感应部件，所述位置感应部件至少包括设置在所述承载台的承载面的所述第一侧边缘处的第一感应器、及设置在所述承载台的承载面的所述第二侧边缘处的第二感应器；及，用于向所述承载台的承载面上吹送气体，以使所述待检测产品浮起的气浮单元，所述气浮单元包括多个气体通道，所述多个气体通道从所述承载台的承载面的所述第一侧至所述第二侧依次排列；所述控制单元还与所述位置感应部件、所述吸附单元及所述气浮单元连接，用于接收所述位置感应部件所感应到的感应信息，以控制所述气浮单元、所述吸附单元及所述驱动单元的工作状态。3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述控制单元至少包括：参数确定模块，用于根据控制参数确定所述驱动单元的工作参数，所述驱动单元的工作参数包括所述对位夹具在所述竖直方向上的运动参数、所述对位夹具在所述水平方向上的第一对位位置参数、及所述对位夹具在所述水平方向上的第二对位位置参数，所述控制参数为用户输入的参数或预先存储的参数；接收模块，用于接收所述位置感应部件的感应信息，得到所述待检测产品的当前位置信息；信号产生模块，用于产生控制信号，所述控制信号包括根据所述待检测产品的当前位置信息所产生的控制信号、及根据所述驱动单元的工作参数所产生的控制信号，所述待检测产品的当前位置信息包括：所述待检测产品位于向所述第一侧所在一侧偏移的位置、所述待检测产品位于向所述第二侧所在一侧偏移的位置、或者所述待检测产品位于所述第一侧和所述第二侧之间的预定非偏移位置；2CN109030509A权利要求书2/3页气浮控制模块，用于根据所述控制信号，控制所述气浮单元的工作状态，所述气浮单元的工作状态包括：所述多个气体通道中的第一气体通道的通气量大于第二气体通道的通气量、所述第一气体通道的通气量小于所述第二气体通道的通气量、或者所述第一气体通道的通气量等于所述第二气体通道的通气量，其中，所述第一气体通道为位于所述承载台的承载面中心的靠近所述第一侧所在一侧的至少一个气体通道，所述第二气体通道为位于所述承载台的承载面中心的靠近所述第二侧所在一侧的至少一个气体通道；驱动控制模块，用于根据所述控制信号，控制所述驱动单元的工作状态，所述驱动单元的工作状态包括：驱动所述对位夹具上升、