一种膜缺陷检测方法及装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115993369A(43)申请公布日2023.04.21(21)申请号202211728011.2(22)申请日2022.12.31(71)申请人浙江洁美电子科技股份有限公司地址313300浙江省湖州市安吉县经济开发区阳光工业园区(72)发明人董庆荣许晓鸣肖永平陈凤军范辉(74)专利代理机构浙江千克知识产权代理有限公司33246专利代理师沈涛(51)Int.Cl.G01N21/95(2006.01)G01N21/47(2006.01)G01N21/01(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称一种膜缺陷检测方法及装置(57)摘要本发明属于光学薄膜质量检测领域，具体说涉及一种膜缺陷检测方法及装置，利用光接收机构对从光发射机构向膜表面照射的TD方向多角度和/或多种发光强度的检查光在膜表面所反射的反射散射光进行检测；或，从光发射机构向膜照射的TD方向多角度和/或多种发光强度的检查光透过膜的透射散射光进行检测；并基于检测结果对所述膜表面的缺陷进行检查。本发明通过上述多种方式增加TD方向的多角度检查光和/或使TD方向的检查光为多种发光强度，实现膜的微细划伤、非连续划伤缺陷的检测，提高膜表面划伤缺陷的检出范围和几率。CN115993369ACN115993369A权利要求书1/1页1.一种膜缺陷检测方法，其特征在于，利用光接收机构对从光发射机构向膜表面照射的TD方向多角度和/或多种发光强度的检查光在膜表面所反射的反射散射光进行检测；或，从光发射机构向膜照射的TD方向多角度和/或多种发光强度的检查光透过膜的透射散射光进行检测；并基于检测结果对所述膜表面的缺陷进行检查。2.根据权利要求1所述的一种膜缺陷检测方法，其特征在于，所述光发射机构通过透镜和棱镜扩散膜实现向膜照射的TD方向多角度检查光，棱镜扩散膜的棱镜背向膜。3.根据权利要求1所述的一种膜缺陷检测方法，其特征在于，所述光发射机构通过明暗交替的光场实现向膜照射的TD方向多种发光强度检查光。4.根据权利要求3所述的一种膜缺陷检测方法，其特征在于，所述明暗交替的光场通过可交替闪烁的发光模组和\或具有交替设置透光部和遮光部的遮光光栅发光模组实现。5.根据权利要求1所述的一种膜缺陷检测方法，其特征在于，在光接收机构正前方设置吸收轴与MD方向平行的吸收型偏光片。6.根据权利要求1或5所述的一种膜缺陷检测方法，其特征在于，在光发射机构正前方设置反射轴与MD方向平行的反射型偏光片。7.一种膜划伤缺陷检测装置，其特征在于，包括如下部分：光发射机构，向膜TD方向表面照射多角度和/或多种发光强度的检查光；光接收机构，接收所述检查光经过膜表面所反射的反射散射光或者透过膜的透射散射光并进行检测。8.根据权利要求7所述的一种膜划伤缺陷检测装置，其特征在于，所述光发射机构包括顺序设置的光源、透镜和棱镜扩散膜，棱镜扩散膜的棱镜背向膜。9.根据权利要求7所述的一种膜划伤缺陷检测装置，其特征在于，所述光发射机构为明暗交替的光场。10.根据权利要求9所述的一种膜划伤缺陷检测装置，其特征在于，所述明暗交替的光场包括可交替闪烁的发光模组和\或具有交替设置透光部和遮光部的遮光光栅发光模组。2CN115993369A说明书1/5页一种膜缺陷检测方法及装置技术领域[0001]本发明属于光学薄膜质量检测领域，具体说涉及一种膜缺陷检测方法及装置，尤其适用于微细划伤、非连续划伤的划伤缺陷检测。背景技术[0002]离型膜的制成包括基膜的制成工序和在基膜上涂覆离型剂的工序。在基膜的制成工序中，往往会由于异物等造成在膜的行进方向（MD方向）产生V字状划伤等缺陷，在涂布制成离型膜后造成光学特性方面的不良，降低产品的品质，特别是对于MLCC流延用和偏光片用离型膜，由于使用要求高，微细的缺陷也会造成无法达到使用要求的情况。因此，需要提高对膜划伤缺陷检测的精度，避免将不良品流入最终应用工序中，扩大损失。[0003]对于膜的划伤检测，如公开号CN101551343A公开一种膜缺陷检查方法和装置，在由受光机(24)对从投光机(22)向透明膜(12)面照射的检查光(20)在膜表面所反射的反射散射光进行检测，并基于检测结果对膜表面的微细伤痕(14)进行检查的膜缺陷检查方法中，一边对透明膜(12)沿其长度方向及宽方向进行牵引而保持膜的平面性，一边在与微细伤痕(14)的发生方向大致平行地配置投光机(22)的状态将检查光(20)照射到膜表面，并且在与微细伤痕(14)的发生方向大致平行地配置受光机(24)的状态中对反射散射光进行受光。由此甚至是膜表面产生的微细缺陷也能够高灵敏度进行检测。[0004]上述检测装置虽然可以在测试前调整光源角度，但是在测试时无法实时调整，为固定光源，因