掩膜装置及其制造方法、蒸镀方法、显示装置.pdf
一条****涛k
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掩膜装置及其制造方法、蒸镀方法、显示装置.pdf
一种掩膜装置及其制造方法、蒸镀方法、显示装置。该掩膜装置包括:掩膜边框;沿第一方向延伸的至少一个第一掩膜条和沿第二方向延伸的至少一个第二掩膜条,固定在掩膜边框上;以及沿第一方向延伸的第一掩膜板,固定在掩膜边框上。第一掩膜条和第二掩膜条彼此交叉限定至少一个掩膜开口,第一掩膜板包括掩膜图案区,掩膜图案区包括阵列排布的多个孔。掩膜图案区包括第一区域和对应于第一区域的第二区域,第二区域包围第一区域,第一区域中的每个孔均为通孔,第二区域中的每个孔为通孔或盲孔。掩膜开口在第一掩膜板上的正投影至少覆盖掩膜图案区中的第一
掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置.pdf
本申请公开一种掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置,属于蒸镀技术领域。该方法包括:在衬底基板上形成第一光刻胶图形,第一光刻胶图形由多个光刻胶结构构成,光刻胶结构的轮廓呈喇叭形,具有远离衬底基板的第一表面和靠近衬底基板的第二表面,第一表面的尺寸小于第二表面的尺寸;在形成第一光刻胶图形的衬底基板上形成金属层,金属层具有凹陷区域和多个凸起区域,凹陷区域为金属层上除凸起区域之外的区域;在凹陷区域中形成第二光刻胶图形,第二光刻胶图形在金属层上的正投影与凹陷区域重合;去除金属层未被第二光刻胶图形覆盖的区域、第二光刻
一种蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置.pdf
本发明公开了一种蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置,能够降低显示面板的加工工艺的复杂度,提高显示面板的良率。其中的蒸镀方法包括:依次采用至少两个掩膜板具有的开口区域对衬底基板进行蒸镀,各所述掩模板的开口区域在所述衬底基板上形成的各蒸镀子图案构成互补图案,且各所述蒸镀子图案拼接形成的蒸镀图案对应具有孤立镂空图案的显示区域。
一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置.pdf
本发明实施例提供一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置,涉及显示技术领域,能够降低掩膜版和背板贴合时掩膜版的偏移量,进而提高产品的合格率。该掩膜版组件包括支撑架以及固定于支撑架上的掩膜版,掩膜版包括有效掩膜区和包围有效掩膜区的无效掩膜区;掩膜版组件还包括固定于支撑架上的第一支撑条,第一支撑条设置于掩膜版背离支撑架一侧,且第一支撑条在支撑架所在平面的投影与掩模板在支撑架所在平面的投影存在第一交叠部分,第一交叠部分位于无效掩膜区在支撑架所在平面的投影区域内。
掩膜组件及其制造方法、目标结构的制造方法、显示装置.pdf
本申请公开一种掩膜组件及其制造方法、目标结构的制造方法、显示装置,属于显示技术领域。掩膜组件包括:至少一个蒸镀掩膜板。蒸镀掩膜板中具有多个蒸镀孔,该掩膜组件中的每个蒸镀孔用于在目标基板的一个目标区域中形成目标结构。该掩膜组件中的蒸镀孔的孔间距被配置为:使该掩膜组件和目标基板均处于目标环境中时,该掩膜组件中的蒸镀孔与目标基板中相应的目标区域对准,该目标环境的温度为目标温度。例如,目标结构为阴极。本申请可以保证在目标环境中采用该掩膜组件在目标基板上形成目标结构时,目标结构能够准确形成在目标基板的目标区域中,避