一种蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置.pdf
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一种蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置.pdf
本发明公开了一种蒸镀方法、蒸镀掩膜模组、显示面板及显示装置,能够降低显示面板的加工工艺的复杂度,提高显示面板的良率。其中的蒸镀方法包括:依次采用至少两个掩膜板具有的开口区域对衬底基板进行蒸镀,各所述掩模板的开口区域在所述衬底基板上形成的各蒸镀子图案构成互补图案,且各所述蒸镀子图案拼接形成的蒸镀图案对应具有孤立镂空图案的显示区域。
掩膜装置及其制造方法、蒸镀方法、显示装置.pdf
一种掩膜装置及其制造方法、蒸镀方法、显示装置。该掩膜装置包括:掩膜边框;沿第一方向延伸的至少一个第一掩膜条和沿第二方向延伸的至少一个第二掩膜条,固定在掩膜边框上;以及沿第一方向延伸的第一掩膜板,固定在掩膜边框上。第一掩膜条和第二掩膜条彼此交叉限定至少一个掩膜开口,第一掩膜板包括掩膜图案区,掩膜图案区包括阵列排布的多个孔。掩膜图案区包括第一区域和对应于第一区域的第二区域,第二区域包围第一区域,第一区域中的每个孔均为通孔,第二区域中的每个孔为通孔或盲孔。掩膜开口在第一掩膜板上的正投影至少覆盖掩膜图案区中的第一
掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置.pdf
本申请公开一种掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置,属于蒸镀技术领域。该方法包括:在衬底基板上形成第一光刻胶图形,第一光刻胶图形由多个光刻胶结构构成,光刻胶结构的轮廓呈喇叭形,具有远离衬底基板的第一表面和靠近衬底基板的第二表面,第一表面的尺寸小于第二表面的尺寸;在形成第一光刻胶图形的衬底基板上形成金属层,金属层具有凹陷区域和多个凸起区域,凹陷区域为金属层上除凸起区域之外的区域;在凹陷区域中形成第二光刻胶图形,第二光刻胶图形在金属层上的正投影与凹陷区域重合;去除金属层未被第二光刻胶图形覆盖的区域、第二光刻
掩膜板、显示基板蒸镀组件及显示基板.pdf
本发明公开了一种掩膜板、显示基板蒸镀组件及显示基板,掩膜板用于显示基板的蒸镀,显示基板包括多个显示单元,显示单元包括显示区以及至少部分由显示区环绕的透光区,掩膜板包括与多个显示单元对应的多个掩膜单元,多个掩膜单元包括可对位掩膜单元,可对位掩膜单元包括:显示蒸镀区,显示蒸镀区对应显示单元的显示区,显示蒸镀区设置有多个第一蒸镀开口;透光蒸镀区,透光蒸镀区对应显示单元的透光区,透光蒸镀区设置有对位孔,对位孔用于掩膜板与显示基板的对位。本发明避免了掩膜板上对位孔处易残留清洗药液的问题,使得蒸镀对位时对位孔能够被对
蒸镀用掩膜版.pdf
本发明提供了蒸镀用掩膜版。蒸镀用掩膜版包括多个预定区域,预定区域包括开口和遮挡区,遮挡区包括第一区、第二区和第三区,第一区具有第一表面和第二表面,第二区具有第三表面和第四表面,第三区具有第五表面和第六表面,第一表面、第三表面和第五表面位于掩膜版的同一侧,第二表面、第四表面和第六表面位于掩膜版的同一侧,第二区的厚度大于第一区的厚度和第三区的厚度,第一表面与第三表面齐平,第六表面所在的平面位于第三表面所在的平面和第四表面所在的平面之间。由此,减轻了掩膜版的整体重量,从而可以减轻掩膜版在蒸镀过程中的下垂量,进而