一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置.pdf
雨巷****彦峰
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一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置.pdf
本发明实施例提供一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置,涉及显示技术领域,能够降低掩膜版和背板贴合时掩膜版的偏移量,进而提高产品的合格率。该掩膜版组件包括支撑架以及固定于支撑架上的掩膜版,掩膜版包括有效掩膜区和包围有效掩膜区的无效掩膜区;掩膜版组件还包括固定于支撑架上的第一支撑条,第一支撑条设置于掩膜版背离支撑架一侧,且第一支撑条在支撑架所在平面的投影与掩模板在支撑架所在平面的投影存在第一交叠部分,第一交叠部分位于无效掩膜区在支撑架所在平面的投影区域内。
一种掩膜版组件、张网方法及蒸镀装置.pdf
本申请公开了一种掩膜版组件、张网方法及蒸镀装置。该掩膜版组件包括框架,支撑网,至少两块掩膜版,以及至少一个遮掩条,遮掩条的两端以一定的拉力固定连接在框架上,用于使框架产生预定的弹性形变,遮掩条设在两块相邻掩膜版之间的间隙处。本申请增加了至少一条遮掩条,只需要调整遮掩条的拉力就可以改善镀膜像素位置精度拉伸向整体尺寸精度,节约了掩膜版组件的制作成本。
掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置.pdf
本申请公开一种掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置,属于蒸镀技术领域。该方法包括:在衬底基板上形成第一光刻胶图形,第一光刻胶图形由多个光刻胶结构构成,光刻胶结构的轮廓呈喇叭形,具有远离衬底基板的第一表面和靠近衬底基板的第二表面,第一表面的尺寸小于第二表面的尺寸;在形成第一光刻胶图形的衬底基板上形成金属层,金属层具有凹陷区域和多个凸起区域,凹陷区域为金属层上除凸起区域之外的区域;在凹陷区域中形成第二光刻胶图形,第二光刻胶图形在金属层上的正投影与凹陷区域重合;去除金属层未被第二光刻胶图形覆盖的区域、第二光刻
掩膜装置及其制造方法、蒸镀方法、显示装置.pdf
一种掩膜装置及其制造方法、蒸镀方法、显示装置。该掩膜装置包括:掩膜边框;沿第一方向延伸的至少一个第一掩膜条和沿第二方向延伸的至少一个第二掩膜条,固定在掩膜边框上;以及沿第一方向延伸的第一掩膜板,固定在掩膜边框上。第一掩膜条和第二掩膜条彼此交叉限定至少一个掩膜开口,第一掩膜板包括掩膜图案区,掩膜图案区包括阵列排布的多个孔。掩膜图案区包括第一区域和对应于第一区域的第二区域,第二区域包围第一区域,第一区域中的每个孔均为通孔,第二区域中的每个孔为通孔或盲孔。掩膜开口在第一掩膜板上的正投影至少覆盖掩膜图案区中的第一
一种掩膜板及蒸镀装置.pdf
本发明涉及显示设备技术领域,公开了一种掩膜板及蒸镀装置,该掩膜板包括具有开口的框架以及覆盖所述开口且拉伸固定于所述框架第一侧面的掩膜板本体,其中,所述框架围成所述开口的内侧面与所述第一侧面之间通过沿所述第一侧面朝向所述开口逐渐倾斜的斜面连接;所述掩膜板本体与所述开口相对的表面形成有凹陷区域。该掩膜板能够使掩膜板本体与玻璃基板在框架开口边缘处平缓贴合,并且能够使掩膜板本体与玻璃基板的贴合更加平整,进而,使得掩膜板本体与玻璃基板贴合紧密,在蒸镀子像素时,使得子像素位置精度高,像素轮廓清晰,不会发生混色不良。