一种用于真空腔室的顶针升降装置及等离子刻蚀系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113764247A(43)申请公布日2021.12.07(21)申请号202010489533.6(22)申请日2020.06.02(71)申请人江苏鲁汶仪器有限公司地址221300江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号(72)发明人李娜张瑶瑶张军刘海洋朱治友王铖熠程实然许开东(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司32200代理人肖鹏(51)Int.Cl.H01J37/32(2006.01)H01L21/687(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种用于真空腔室的顶针升降装置及等离子刻蚀系统(57)摘要本发明公开了一种用于真空腔室的顶针升降装置及等离子刻蚀系统，包括多个顶针和一个顶针安装座；顶针安装座包括底板和多个限位块；底板上开设有多个与顶针通过孔一一对应的盲孔；每个盲孔内嵌入安装有若干叠加放置的弹性圈；弹性圈的内径小于顶针的直径，且若干弹性圈的下端面与盲孔底部相接，若干弹性圈叠加后的高度不低于盲孔高度；多个限位块可拆卸固定在底板上，且每个限位块的下表面一一对应压接一个盲孔内的若干弹性圈的上端面；每个限位块上设置有一个导向通孔；每个顶针穿过一个盲孔内的弹性圈及对应限位块的导向通孔。本发明将顶针固定并精确导向对中，降低了顶针与顶针通过孔摩擦断裂的可能性，防止压差引起的飞针。CN113764247ACN113764247A权利要求书1/1页1.一种用于真空腔室的顶针升降装置，包括升降驱动机构（1）、多个顶针（2）和一个顶针安装座（3）；所述多个顶针（2）安装在顶针安装座（3）上，所述升降驱动机构（1）用于驱动顶针安装座（3）及顶针（2）升降；所述真空腔室（4）内设置有载物台（6）；所述载物台（6）上设置有多个顶针通过孔；所述多个顶针（2）升降时，一一对应穿过顶针通过孔；其特征在于：所述顶针安装座（3）包括底板（301）和多个限位块（302）；所述底板（301）上开设有多个与顶针通过孔一一对应的盲孔（301a）；每个所述盲孔（301a）内嵌入安装有若干叠加放置的弹性圈（301b）；所述弹性圈（301b）的内径小于顶针（2）的直径，且若干弹性圈（301b）的下端面与盲孔（301a）底部相接，若干弹性圈（301b）叠加后的高度不低于盲孔（301a）高度；所述多个限位块（302）可拆卸固定在底板（301）上，且每个限位块（302）的下表面一一对应压接一个盲孔（301a）内的若干弹性圈（301b）的上端面；每个所述限位块（302）上设置有一个导向通孔（302a）；所述顶针通过孔、盲孔（301a）、弹性圈（301b）和导向通孔（302a）同轴心线；每个所述顶针（2）穿过一个盲孔（301a）内的弹性圈（301b）及对应限位块（302）的导向通孔（302a）。2.根据权利要求1所述的用于真空腔室的顶针升降装置，其特征在于：所述盲孔（301a）的侧壁设置有轴向的排气槽（301d）；所述排气槽（301d）连通盲孔（301a）的上下端面。3.根据权利要求2所述的用于真空腔室的顶针升降装置，其特征在于：所述导向通孔（302a）内径与顶针（2）直径的差，小于顶针通过孔内径与顶针（2）直径的差。4.根据权利要求3所述的用于真空腔室的顶针升降装置，其特征在于：所述弹性圈（301b）的外径不小于盲孔（301a）内径。5.根据权利要求4所述的用于真空腔室的顶针升降装置，其特征在于：所述底板（301）上开设有多个沉孔（301c）；所述限位块（302）一一对应嵌入在沉孔（301c）内；所述盲孔（301a）一一对应开设在沉孔（301c）底部。6.根据权利要求5所述的用于真空腔室的顶针升降装置，其特征在于：所述盲孔（301a）的底部还设置有定位孔；所述定位孔的直径略大于顶针（2）直径。7.根据权利要求1-6任意一项所述的用于真空腔室的顶针升降装置，其特征在于：还包括传动机构（5）；所述传动机构（5）为真空焊接波纹管;所述真空焊接波纹管包括伸入真空腔室（4）的波纹管管体（501）和位于波纹管管体（501）内沿轴向的推拉杆（502）；所述波纹管管体（501）位于真空腔室（4）外的一端与真空腔室（4）的外壁密封连接；波纹管管体（501）位于真空腔室（4）内的一端与所述底板（301）密封连接；所述推拉杆（502）一端与所述底板（301）固定连接；所述推拉杆（502）的另一端与升降驱动机构（1）的主轴相连；所述升降驱动机构（1）驱动固定在推拉杆（502）上的底板（301）克服波纹管管体（501）的弹力升降。8.根据权利要求7所述的用于真空腔室的顶针升降装置，其特征在于：所述推拉杆（502）的另一端与升降驱动机构（1）的主轴通过绝缘连接件（502a）相连。9.根