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用于晶圆刻蚀的升降装置.pdf
2023-09-01
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靖烟****魔王
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用于晶圆刻蚀的升降装置.pdf
本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种用于晶圆刻蚀的升降装置。本发明所述的用于晶圆刻蚀的升降装置，其中包括升降杆、与所述升降杆固定连接的支撑件，所述升降杆和所述支撑件上均设有齿轮传动单元，所述支撑件上还设有用于支撑并能够使晶圆转动的导向单元，所述齿轮传动单元的输出端与所述导向单元的输入端传动连接，从而驱动所述导向单元完成对晶圆的转动。通过使用本发明所述的用于晶圆刻蚀的升降装置，能够将刻蚀过程中的晶圆进行转动，有效地对晶圆表面进行均匀的刻蚀，提高晶圆表面质量。
2023-09-01
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一种用于晶圆生产刻蚀的深度控制装置.pdf
本发明涉及晶圆生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产刻蚀的深度控制装置，其方便对晶圆刻蚀的深度进行控制调节操作，同时提高深度调节精确度，提高使用可靠性；并且提高刻蚀机在支撑板上的稳定性，提高实用性；包括刻蚀机和支撑板；包括放置板、左刻度板、右刻度板、左调节板、右调节板、左定位板、右定位板、左螺纹杆、右螺纹杆、左螺纹管、右螺纹管、左大齿轮、右大齿轮、左支撑轴、右支撑轴、左带动轴、右带动轴、左大锥齿轮、右大锥齿轮和四组定位滑柱；还包括左顶紧块、右顶紧块、压板、顶板、调节丝杠、上锁紧螺母和下锁紧螺母
2023-08-30
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晶圆支撑销升降装置.pdf
一种晶圆支撑销升降装置，包含：一支撑板、一滑块及一升降支杆。支撑板用于支撑多个支撑销。滑块以滑动的方式连接于一腔体的一内壁，使该滑块相对于该腔体滑动。升降支杆具有一第一端、一第二端和一第三端，该第一端连接至该支撑板，该第二端以枢转的方式连接于该滑块，该第三端连接至一致动器。该致动器用于控制使该升降支杆在一高位和一低位之间升降移动。藉由该升降支杆的第二端与该滑块枢转连接，靠近该高位的升降支杆使该支撑板趋近水平，而靠近该低位的升降支杆使该支撑板呈倾斜。
2023-06-03
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一种晶圆刻蚀设备及晶圆刻蚀方法.pdf
本发明提供一种晶圆刻蚀设备及晶圆刻蚀方法，刻蚀腔体提供包含HBr的刻蚀气体，以对晶圆进行刻蚀；热处理腔体包括加热系统及排气系统，且热处理腔体的工作温度不小于刻蚀腔体的工作温度，晶圆经刻蚀腔体刻蚀后，进入热处理腔体，并通过加热系统及排气系统排除晶圆表面残留的HBr。通过包括加热系统及排气系统的热处理腔体，在晶圆没有降温的前提下，去除晶圆表面残留的HBr，从而减少氢溴酸对半导体设备的腐蚀，使半导体设备的寿命得以延长；减少晶圆表面HBr凝结的产生，提供产品质量。
2023-11-16
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用于晶圆的刷洗装置.pdf
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置，包括机架；支撑部件，所述支撑部件设置在所述机架上以支撑晶圆；清洗液供给单元，所述清洗液供给单元设置在所述机架上用于向晶圆的表面施加清洗液；以及一对刷子，所述一对刷子包括刷子主体和设置于所述刷子主体表面上的多个毛束，且所述一对刷子可旋转地设置在所述机架上以将晶圆夹在它们之间刷洗晶圆表面同时在晶圆上产生驱动所述晶圆转动的扭矩。根据本发明实施例的用于晶圆的刷洗装置，由毛刷对晶圆产生的扭矩驱动晶圆转动，因此不需另设晶圆驱动装置，且结构简单可靠，降低了设备设计制造成本。而且由于刷
2023-10-21
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