刻蚀烘烤设备升降装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN103075890103075890B(45)授权公告日2015.01.07(21)申请号201310039000.8(22)申请日2013.01.29(73)专利权人杭州士兰明芯科技有限公司地址310018浙江省杭州市杭州经济技术开发区东区10号路300号(72)发明人丁云鑫徐小明周永君毛棋斌(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人茅翊忞(51)Int.Cl.F27D3/12(2006.01)审查员王汇权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图2页附图2页(54)发明名称刻蚀烘烤设备升降装置(57)摘要本发明涉及一种刻蚀烘烤设备升降装置。该装置包括升降机构（1）和支承在升降机构（1）上的尾气收集器（2），该尾气收集器（2）随升降机构（1）在上限位置和下限位置之间升降。该装置还包括气缸组件（3），在升降机构（1）将尾气收集器（2）提升到上限位置时，使用气缸组件（3）进一步提升尾气收集器（2），以形成尾气收集器（2）与刻蚀烘烤设备的反应炉之间的密封。本发明的刻蚀烘烤设备升降装置在将尾气收集器顶靠在反应炉底座上之后，通过挤压反应炉底座上的O圈而将尾气收集器严实地密封在反应炉底座上，从而克服先前所述的反应炉密封性不佳的问题，获得了有益的技术效果。CN103075890BCN1037589BCN103075890B权利要求书1/1页1.一种刻蚀烘烤设备升降装置，包括升降机构（1）和支承在所述升降机构（1）上的尾气收集器（2），所述尾气收集器（2）随所述升降机构（1）在上限位置和下限位置之间升降，其特征在于，所述装置还包括气缸组件（3），在所述升降机构（1）将所述尾气收集器（2）提升到所述上限位置时，使用所述气缸组件（3）进一步提升所述尾气收集器（2），以形成所述尾气收集器（2）与刻蚀烘烤设备的反应炉之间的密封。2.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述升降机构（1）包括升降支架（109）和丝杆（112），所述丝杆（112）通过丝杆螺母（108）与其上方的所述升降支架（109）关联配合，以将所述丝杆（112）的旋转运动转化为所述升降机构（109）的升降运动。3.如权利要求2所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述丝杠（112）通过皮带（104）与驱动电机（101）相连，以接受来自所述驱动电机（101）的动力。4.如权利要求3所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述皮带（104）具有张紧装置，所述张紧装置包括：形成在所述升降机构（1）的滑板（102）上的一对第一凸台（11）和一对旋合调节螺杆（103）的孔（12）；以及形成在所述升降机构（1）的底座（106）上的一对凹槽（13）和一对第二凸台（14），所述调节螺杆（103）通过顶靠所述第二凸台（14），致使所述滑板（102）利用所述凹槽（13）和所述第一凸台（11）之间的滑动配合沿所述凹槽（13）的方向滑动，从而张紧所述皮带（104）。5.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，在所述升降装置（1）和所述尾气收集器（2）上设有使两者连动的连动装置，所述连动装置包括销轴（8）、形成在所述尾气收集器（2）上的多个螺孔（16）和形成在所述升降装置（1）上的多个通孔（15），所述螺孔（16）和所述通孔（15）经由所述销轴（8）关联配合。6.如权利要求5所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述销轴（8）具有固定在所述螺孔（16）中的固定端和插入所述通孔（15）的活动端，所述销轴（8）的活动端与所述通孔（15）留有活动间隙，且所述活动端的长度能完全穿透所述通孔（15）。7.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述气缸组件（3）包括至少一个气缸（301）、在所述气缸（301）中伸缩的气缸轴（305）、联接在所述气缸轴（305）顶部的气缸横臂（302）以及联接在所述气缸横臂（302）上的调节螺杆（303）。8.如权利要求7所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述尾气收集器（2）设有与所述气缸组件（3）分布位置相对应的多个凸台，所述凸台与旋转到其下方的所述调节螺杆（303）相顶合。9.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述升降机构（1）还包括安装在所述升降机构（1）上下两端的传感器（113）和安装在升降机构上的感应块（107），当所述升降机构（1）上升到所述上限位置或下降到所述下限位置时，所述感应块（107）感应所述传感器（113）的输出信号，驱动所述升降机构（1）停止运行。10.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备升降装置，其特征在于，所述尾气收集器（2）具有倒置的T形形状，所述气缸组件（3）以三角形布置的