玻璃基板搬运载具.pdf
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玻璃基板搬运载具.pdf
本发明公开了一种玻璃基板搬运载具,包含基座、用以吸附玻璃基板的玻璃载台、设置于基座与玻璃载台之间的升降装置、设置于升降装置与玻璃载台之间的翻转机构、设置于翻转机构与升降机构之间的旋转机构,以及设置于翻转机构与玻璃载台之间的伸缩机构。
一种玻璃基板搬送装置.pdf
一种玻璃基板搬送装置,涉及玻璃基板搬送装置,设有支撑架,支撑架上层设有水平导轨,水平导轨上设有玻璃基板支撑架,支撑架的下层水平设有滚轮轴传送装置,玻璃基板支撑架包括支撑板及其驱动装置,支撑板上均布有至少三个L形支撑臂,水平导轨和滚轮轴传送装置的后侧设有竖直导轨,竖直导轨上设有支撑座及其驱动装置,支撑座上设有滚轮支撑架,滚轮支撑架包括至少两个滚轮托架,滚轮托架是在滚轮安装座上侧的前后方向上均布有水平传输轮,与相邻两个L形支撑臂间相对处的支撑座上设有一个滚轮托架,滚轮安装座上设有水平传输轮驱动装置。本发明结构
玻璃基板的制造方法、玻璃基板及玻璃基板层叠体.pdf
玻璃基板的制造方法,不易在玻璃基板发生应变、不易形成玻璃基板的主表面的凹凸,包括:熔融玻璃处理步骤,在因熔融玻璃的导入而形成气相空间、且壁的至少一部分是由铂族金属制成的玻璃处理装置中处理熔融玻璃时,存在于气相空间的、从壁挥发的铂族金属的挥发物的凝集物作为异物混入;以及凝集物处理步骤,缩小凝集物的大小,使得在该熔融玻璃处理步骤中混入熔融玻璃的凝集物中,最大长度为50μm以下的凝集物的个数的比例为70%以上。玻璃基板层叠体的玻璃基板的体积总计为0.1m
玻璃基板、层叠基板以及玻璃基板的制造方法.pdf
本发明提供一种玻璃基板,在将硅基板和玻璃基板贴合的热处理工序中,碱性离子不易向上述硅基板扩散,上述硅基板产生的残留应变小。本发明的玻璃基板在50℃~100℃的平均热膨胀系数α
基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置.pdf
本发明提供一种基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。在加热台(10)上,将2片玻璃基板(1a、1b)沿机械臂(3)的移动方向成列地排列配置,在加热台设置升降部件,该升降部件为了将玻璃基板举起到相同高度而上升,通过玻璃基板下降而将其交付至机械臂,并且在加热台具备升降部件控制装置,其为了在机械臂的温度上升过程中将玻璃基板以相同温度交付至机械臂,而使玻璃基板向机械臂的交付在该机械臂的叉(16)的前端(16a)侧先进行且在基端(16b)侧后进行。由此,即便用一个机械臂一次搬送多个基板也能使各基板的温度历