玻璃基板、层叠基板以及玻璃基板的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107207323A(43)申请公布日2017.09.26(21)申请号201680008835.9(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司1(22)申请日2016.02.021227代理人苗堃金世煜(30)优先权数据2015-0227192015.02.06JP(51)Int.Cl.2015-2413032015.12.10JPC03C3/091(2006.01)C03B25/02(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日C03C3/085(2006.01)2017.08.04C03C3/087(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2016/0530472016.02.02(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/125787JA2016.08.11(71)申请人旭硝子株式会社地址日本东京都(72)发明人野村周平小野和孝权利要求书3页说明书27页附图2页(54)发明名称玻璃基板、层叠基板以及玻璃基板的制造方法(57)摘要本发明提供一种玻璃基板，在将硅基板和玻璃基板贴合的热处理工序中，碱性离子不易向上述硅基板扩散，上述硅基板产生的残留应变小。本发明的玻璃基板在50℃～100℃的平均热膨胀系数α50/100为2.70ppm/℃～3.20ppm/℃，在200℃～300℃的平均热膨胀系数α200/300为3.45ppm/℃～3.95ppm/℃，将200℃～300℃的平均热膨胀系数α200/300除以50℃～100℃的平均热膨胀系数α50/100而得的值α200/300/α50/100为1.20～1.30，碱金属氧化物的含量以氧化物基准的摩尔百分比计为0％～0.1％。CN107207323ACN107207323A权利要求书1/3页1.一种玻璃基板，在50℃～100℃的平均热膨胀系数α50/100为2.70ppm/℃～3.20ppm/℃，在200℃～300℃的平均热膨胀系数α200/300为3.45ppm/℃～3.95ppm/℃，将200℃～300℃的平均热膨胀系数α200/300除以50℃～100℃的平均热膨胀系数α50/100而得的值α200/300/α50/100为1.20～1.30，碱金属氧化物的含量以氧化物基准的摩尔百分比计为0％～0.1％。2.根据权利要求1所述的玻璃基板，其中，在200℃～300℃的平均热膨胀系数α200/300为3.55ppm/℃～3.85ppm/℃。3.根据权利要求1或者2所述的玻璃基板，其中，以氧化物基准的摩尔百分比计为下述的组成，SiO2：50％～75％，Al2O3：6％～16％，B2O3：0％～15％，MgO：0％～15％，CaO：0％～13％，SrO：0％～11％，BaO：0％～9.5％。4.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃基板，其中，以氧化物基准的摩尔百分比计，CaO、SrO和BaO的合计含量为7％以上，并且(Al2O3的含量)≥(MgO的含量)，失透粘度为103.8d·Pa·s以上。5.根据权利要求1～4中任一项所述的玻璃基板，其中，在100℃～200℃的平均热膨胀系数α100/200为3.13ppm/℃～3.63ppm/℃。6.根据权利要求1～5中任一项所述的玻璃基板，其中，以氧化物基准的质量百万分比计，Fe2O3的含量为200ppm以下。7.根据权利要求1～6中任一项所述的玻璃基板，其中，杨氏模量为80GPa以上。8.根据权利要求1～7中任一项所述的玻璃基板，其中，厚度为1.0mm以下。9.根据权利要求1～8中任一项所述的玻璃基板，其中，面积为0.03m2以上。10.根据权利要求1～9中任一项所述的玻璃基板，其中，玻璃基板中含有的0.5μm～1mm的缺陷的密度为1个/cm2以下。11.根据权利要求1～10中任一项所述的玻璃基板，其中，虚拟粘度为1011.0d·Pa·s～1014.1d·Pa·s。12.根据权利要求1～11中任一项所述的玻璃基板，其中，满足如下条件：0.0177×(SiO2的含量)－0.0173×(Al2O3的含量)+0.0377×(B2O3的含量)+0.0771×(MgO的含量)+0.1543×(CaO的含量)+0.1808×(SrO的含量)+0.2082×(BaO的含量)+0.0344×(12.3+log1060－log10η)为2.70～3.20，0.0181×(SiO2的含量)+0.0004×(Al2O3的含量)+0.0387×(B2O3的含量)+0.0913×(MgO的含量)+0.1621×(CaO的含量)+0.1900×(SrO的含量)+0.2180×(BaO的含量)+0.0391×(12.3+log1060－log10η)为3.1