基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102730416A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102730416A(43)申请公布日2012.10.17(21)申请号201210090605.5(22)申请日2012.03.30(30)优先权数据2011-0848452011.04.06JP(71)申请人中外炉工业株式会社地址日本国大阪府(72)发明人西尾勤(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人樊建中(51)Int.Cl.B65G49/06(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书77页页附图附图55页(54)发明名称基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置(57)摘要本发明提供一种基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。在加热台(10)上，将2片玻璃基板(1a、1b)沿机械臂(3)的移动方向成列地排列配置，在加热台设置升降部件，该升降部件为了将玻璃基板举起到相同高度而上升，通过玻璃基板下降而将其交付至机械臂，并且在加热台具备升降部件控制装置，其为了在机械臂的温度上升过程中将玻璃基板以相同温度交付至机械臂，而使玻璃基板向机械臂的交付在该机械臂的叉(16)的前端(16a)侧先进行且在基端(16b)侧后进行。由此，即便用一个机械臂一次搬送多个基板也能使各基板的温度历史记录相同，能防止在各基板彼此之间产生温度不均，从而能均匀地完成多个基板，并且能够迅速地进行搬送。CN1027346ACN102730416A权利要求书1/1页1.一种基板搬送装置，其特征在于，该基板搬送装置具有机械臂，该机械臂能够在生产线中配备的加热台上进入上升后的基板之下，并通过该基板下降而接收该基板，然后该机械臂后退而沿着将该基板向下一个台搬送的水平方向移动，并且，该机械臂在其前端侧与基端侧之间，具有后进入该加热台的基端侧在比先进入该加热台的前端侧迟的定时升温的特性，在所述加热台上，将多个所述基板沿着所述机械臂的移动方向成列地排列配置，在所述加热台设置升降部件，该升降部件为了将这些基板举起到相同高度而上升，并且通过下降而将这些基板交付至所述机械臂，而且，在所述加热台具备定时调整部件，该定时调整部件为了在所述机械臂的温度上升过程中将多个所述基板以相同温度交付至该机械臂，而使这些基板向该机械臂的交付在该机械臂的前端侧先进行且在基端侧后进行。2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，按照将这些基板分别单独地举起到相同高度而上升、且通过单独地下降而将这些基板分别交付至所述机械臂的方式，设置多个所述升降部件，所述定时调整部件是使位于所述机械臂的基端侧的所述升降部件比位于所述机械臂的前端侧的所述升降部件更迟地下降的升降部件控制装置。3.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，所述定时调整部件是为了使所述机械臂的基端侧上表面比该机械臂的前端侧上表面更远离所述基板，而在该机械臂上按照从基端侧上表面向前端侧上表面逐渐变高的方式倾斜设置的倾斜面。4.根据权利要求3所述的基板搬送装置，其特征在于，所述机械臂具有按照在搭载了全部所述基板时的重量下所述倾斜面变得大致水平的方式弯曲的特性。5.一种基板加工装置，其特征在于，该基板加工装置具备权利要求1至4中任一项所述的基板搬送装置，该基板加工装置还包括：第1作业机器人，其将所述基板以2片一组的方式进行操作、搬送；涂覆台，其将由该第1作业机器人搬送的所述基板以2片一组的方式进行涂覆处理；真空干燥台，其对由所述第1作业机器人从所述涂覆台搬送的2片一组的所述基板进行真空干燥处理；第2作业机器人，其将由该真空干燥台真空干燥处理后的所述基板以2片一组的方式进行操作、搬送；加热台，其对由该第2作业机器人从所述真空干燥台搬送的2片一组的基板实施用于烧成的加热处理；和冷却台，其对由所述第2作业机器人从所述加热台搬送的2片一组的所述基板实施冷却处理。2CN102730416A说明书1/7页基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置技术领域[0001]本发明涉及即便在用一个机械臂一次搬送多个基板的情况下也能使各基板的温度历史记录相同，能够防止在各基板彼此之间产生温度不均，从而能够均匀地完成多个基板，并且能够迅速地进行搬送的基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。背景技术[0002]在搬送各种基板的同时进行干燥处理或热处理的处理设备中，为了防止处理产生不均，提出了各种方案。例如，专利文献1的“抗蚀液涂敷处理装置”的课题在于提供一种抗蚀液涂敷处理装置，能够消除因基板背面与其他部件接触而产生的接触转印不均、干燥不均，该抗蚀液涂敷处理装置具备：对表面涂敷了抗蚀液的基板进行减压干燥的减压干燥机、对上述减压干燥后的基板进行加热而使上述抗蚀液固化的烘焙装置、以及在减压干燥机与上述烘焙