玻璃基板的制造方法、玻璃基板及玻璃基板层叠体.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105431385A(43)申请公布日2016.03.23(21)申请号201580000217.5(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240(22)申请日2015.06.30代理人田喜庆吴孟秋(30)优先权数据2014-1345782014.06.30JP(51)Int.Cl.2014-2023012014.09.30JPC03B5/225(2006.01)2014-2024552014.09.30JP(85)PCT国际申请进入国家阶段日2015.07.27(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2015/0689092015.06.30(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/002814JA2016.01.07(71)申请人安瀚视特控股株式会社地址日本三重县(72)发明人藤本慎吾铃木骏介权利要求书3页说明书21页附图5页(54)发明名称玻璃基板的制造方法、玻璃基板及玻璃基板层叠体(57)摘要玻璃基板的制造方法，不易在玻璃基板发生应变、不易形成玻璃基板的主表面的凹凸，包括：熔融玻璃处理步骤，在因熔融玻璃的导入而形成气相空间、且壁的至少一部分是由铂族金属制成的玻璃处理装置中处理熔融玻璃时，存在于气相空间的、从壁挥发的铂族金属的挥发物的凝集物作为异物混入；以及凝集物处理步骤，缩小凝集物的大小，使得在该熔融玻璃处理步骤中混入熔融玻璃的凝集物中，最大长度为50μm以下的凝集物的个数的比例为70％以上。玻璃基板层叠体的玻璃基板的体积总计为0.1m3以上，玻璃基板所含有的全部铂族金属凝集物中，最大长度为50μm以下的凝集物的个数的比例为70％以上。CN105431385ACN105431385A权利要求书1/3页1.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括：熔解步骤，熔解玻璃原料而生成熔融玻璃；以及熔融玻璃处理步骤，在玻璃处理装置中处理所述熔融玻璃，所述玻璃处理装置具有空间，随着所述熔融玻璃导入所述空间而形成被所述熔融玻璃的表面和所述玻璃处理装置的壁包围的气相空间，所述壁的至少一部分由包含铂族金属的材料构成，在处理所述熔融玻璃时，存在于所述气相空间的、从所述壁挥发的铂族金属的挥发物的凝集物作为异物混入所述熔融玻璃中，所述玻璃基板的制造方法包括凝集物处理步骤，在所述凝集物处理步骤中缩小混入所述熔融玻璃的凝集物的大小，使得混入所述熔融玻璃的凝集物中，最大长度为50μm以下的凝集物的个数的比例为70％以上。2.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括：熔解步骤，熔解玻璃原料而生成熔融玻璃；熔融玻璃处理步骤，在玻璃处理装置中处理所述熔融玻璃，所述玻璃处理装置具有由所述熔融玻璃构成的液相、以及由所述熔融玻璃的液面和壁所形成的气相空间，包围所述气相空间的壁的至少一部分由包含铂族金属的材料构成，在处理所述熔融玻璃时，存在于所述气相空间的、从所述壁挥发的铂族金属的挥发物的凝集物作为异物混入所述熔融玻璃中；以及凝集物处理步骤，缩小在所述熔融玻璃处理步骤中混入所述熔融玻璃的凝集物的大小，使得混入熔融玻璃的凝集物中，最大长度为50μm以下的凝集物的个数的比例为70％以上。3.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括：熔解步骤，熔解玻璃原料而生成熔融玻璃；以及熔融玻璃处理步骤，在玻璃处理装置中处理所述熔融玻璃，所述玻璃处理装置具有空间，随着所述熔融玻璃导入所述空间而形成被所述熔融玻璃的表面和所述玻璃处理装置的壁包围的气相空间，所述壁的至少一部分由包含铂族金属的材料构成，在处理所述熔融玻璃时，存在于所述气相空间的、从所述壁挥发的铂族金属的挥发物的凝集物作为异物混入所述熔融玻璃中，所述玻璃基板的制造方法包括凝集物处理步骤，在所述凝集物处理步骤中调整所述熔融玻璃中的所述凝集物的溶解度，使混入所述熔融玻璃的凝集物的大小缩小。4.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括：熔解步骤，熔解玻璃原料而生成熔融玻璃；以及熔融玻璃处理步骤，在玻璃处理装置中处理所述熔融玻璃，所述玻璃处理装置具有由所述熔融玻璃构成的液相、以及由所述熔融玻璃的液面和壁所形成的气相空间，包围所述气相空间的壁的至少一部分由包含铂族金属的材料构成，在处理所述熔融玻璃时，存在于所述气相空间的、从所述壁挥发的铂族金属的挥发物的凝集物作为异物混入所述熔融玻璃中，所述玻璃基板的制造方法还包括凝集物处理步骤，在所述凝集物处理步骤中控制提供给所述凝集物的热量，使得提供给所述凝集物的热量为能够缩小混入所述熔融玻璃的所述凝集物的大小的最小热量以上。2CN105431385A权利要求书2/3页5.根据权利要求1～4中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中，使与所述气相空间接触的所述壁的最高温度与最低温度之差为5℃以上，所