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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113990785A(43)申请公布日2022.01.28(21)申请号202111332877.7(22)申请日2021.11.11(71)申请人深圳市矽谷半导体设备有限公司地址518000广东省深圳市宝安区福永街道白石厦社区东区新塘工业区4栋301(72)发明人陈勇伶(74)专利代理机构广东科言知识产权代理事务所(普通合伙)44671代理人钟茵茵(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/67(2006.01)H01L21/687(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图6页(54)发明名称一种伺服驱动双摆臂装置(57)摘要本发明公开了一种伺服驱动双摆臂装置,包括摆臂旋转控制装置以及摆臂垂直上下控制机构,其中摆臂旋转控制装置包括一内设有气路的旋转轴,旋转轴通过同轴器连接有一旋转伺服电机;摆臂垂直上下控制机构包括设于旋转轴的底部的摆臂中座,摆臂中座的前后两侧分别上下滑动安装有一摆臂组件,摆臂组件传动连接有升降伺服电机,升降伺服电机与所述控制装置信号连接。与现有技术相比,轻量化的旋转轴降低了旋转惯性,提高摆臂的动作精准度,用伺服电机驱动降低成本,由气动滑环组成的气路结构降低气管对摆臂高速运动的影响,杜绝传统气路连接方式对摆臂的拉扯,提高摆臂整定和精度。CN113990785ACN113990785A权利要求书1/2页1.一种伺服驱动双摆臂装置,其特征在于:包括控制装置、转轴座(41)、旋转连接于转轴座(41)的旋转轴(20)以及固定在转轴座(41)顶部的旋转伺服电机(1),旋转伺服电机(1)与控制装置电连接,旋转伺服电机(1)的输出轴与旋转轴(20)之间同轴连接设置;旋转轴(20)的底部设有一摆臂中座,摆臂中座的前后两侧分别上下滑动安装有一摆臂组件,摆臂组件传动连接有升降伺服电机,升降伺服电机与所述控制装置信号连接。2.根据权利要求1所述的一种伺服驱动双摆臂装置,其特征在于:所述摆臂中座的前后两侧分别上下滑动安装有对称设置的第一摆臂座(3111)和第二摆臂座(3211),第一摆臂座(3111)连接有第一升降伺服电机(21),第一摆臂座(3111)的外侧固接有第一摆臂(31);第二摆臂座(3211)连接有第二升降伺服电机(22),第二摆臂座(3211)的外侧固接有第二摆臂(32);第一摆臂座(3111)的上部固接有第一环形槽体(311),第二摆臂座(3211)的上部固接有第二环形槽体(321),第一环形槽体(311)和第一升降伺服电机(21)之间,以及第二环形槽体(321)和第二升降伺服电机(22)之间分别设有一结构相同的连杆式升降传动机构,连杆式升降传动机构包括上下滑动于所述转轴座(41)的侧部的纵向连杆(232),纵向连杆(232)的顶部与相应的升降伺服电机传动连接,纵向连杆(232)的底部安装有一连杆轴承(233),连杆轴承(233)分别滚动安装于相应第一环形槽体(311)以及第二环形槽体(321)内。3.根据权利要求2所述的一种伺服驱动双摆臂装置,其特征在于:所述第一环形槽体(311)和所述第二环形槽体(321)呈上下设置,第一环形槽体(311)以及第二环形槽体(321)分别包括一相同规格的圆弧形槽,圆弧形槽的圆弧角度为180°‑250°。4.根据权利要求3所述的一种伺服驱动双摆臂装置,其特征在于:所述圆弧形槽的两端呈闭合设置并形成相应的旋转限位部,旋转限位部分别与相应的所述连杆轴承(233)抵顶限位配合。5.根据权利要求4所述的一种伺服驱动双摆臂装置,其特征在于:所述转轴座(41)的前后两侧分别设置有升降行程开关装置(2322),升降行程开关装置(2322)与所述控制装置电连接;所述纵向连杆(232)的顶部固接有一行程触发片(2321),行程触发片(2321)与升降行程开关装置(2322)触发配合。6.根据权利要求5所述的一种伺服驱动双摆臂装置,其特征在于:所述第一升降伺服电机(21)以及所述第二升降伺服电机(22)的输出轴分别安装有一凸轮(230),凸轮(230)转动连接有一凸轮连杆(231),凸轮连杆(231)的底部与所述纵向连杆(232)铰性连接。7.根据权利要求1所述的一种伺服驱动双摆臂装置,其特征在于:所述转轴座(41)的内部固定有至少一个转轴轴承(411),所述旋转轴(20)分别串接于各转轴轴承(411),旋转轴(20)的顶端与所述旋转伺服电机(1)的输出轴之间连接有一联轴器(410)。8.根据权利要求1所述的一种伺服驱动双摆臂装置,其特征在于:所述旋转轴(20)的中上部套设有一气路滑环组件(412),气路滑环组件(412)包括上下同轴旋转设置的固定滑环(4121)以及旋转滑环(4122),其中,