一种伺服驱动双摆臂装置.pdf
雨巷****碧易
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一种伺服驱动双摆臂装置.pdf
本发明公开了一种伺服驱动双摆臂装置,包括摆臂旋转控制装置以及摆臂垂直上下控制机构,其中摆臂旋转控制装置包括一内设有气路的旋转轴,旋转轴通过同轴器连接有一旋转伺服电机;摆臂垂直上下控制机构包括设于旋转轴的底部的摆臂中座,摆臂中座的前后两侧分别上下滑动安装有一摆臂组件,摆臂组件传动连接有升降伺服电机,升降伺服电机与所述控制装置信号连接。与现有技术相比,轻量化的旋转轴降低了旋转惯性,提高摆臂的动作精准度,用伺服电机驱动降低成本,由气动滑环组成的气路结构降低气管对摆臂高速运动的影响,杜绝传统气路连接方式对摆臂的拉
一种单电机驱动双摆臂转动的装置.pdf
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域,具体地说是一种单电机驱动双摆臂转动的装置,包括电机、单元固定板、减速器及摆臂单元,电机通过单元固定板安装在晶圆处理单元底座上,电机的输出端连接有减速器,在减速器的输出端连接有第二同步带轮,第二同步带轮的圆周上设有齿;电机的两侧对称设置有结构相同的摆臂单元,摆臂单元包括带轮轴、第一同步带轮、同步传动机构、摆臂轴及摆臂,带轮轴及摆臂轴分别转动安装在单元固定板上,在带轮轴上连接有与第二同步带轮相啮合的第一同步带轮,第一同步带轮通过同步传动机构与摆臂轴的一端相连,摆臂轴的另一
一种单电机驱动双摆臂转动的装置.pdf
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