一种伺服驱动双摆臂装置.pdf
雨巷****碧易
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一种伺服驱动双摆臂装置.pdf
本发明公开了一种伺服驱动双摆臂装置,包括摆臂旋转控制装置以及摆臂垂直上下控制机构,其中摆臂旋转控制装置包括一内设有气路的旋转轴,旋转轴通过同轴器连接有一旋转伺服电机;摆臂垂直上下控制机构包括设于旋转轴的底部的摆臂中座,摆臂中座的前后两侧分别上下滑动安装有一摆臂组件,摆臂组件传动连接有升降伺服电机,升降伺服电机与所述控制装置信号连接。与现有技术相比,轻量化的旋转轴降低了旋转惯性,提高摆臂的动作精准度,用伺服电机驱动降低成本,由气动滑环组成的气路结构降低气管对摆臂高速运动的影响,杜绝传统气路连接方式对摆臂的拉
一种单电机驱动双摆臂转动的装置.pdf
本发明公开了一种单电机驱动双摆臂转动的装置,包括电机,单元固定板,减速器及摆臂单元,电机及减速器各一个。减速器包括外壳体、安装在外壳体内部的少齿差行星传动机构和蜗轮蜗杆传动机构,所述蜗轮蜗杆传动机构的蜗轮固定地安装在少齿差行星传动机构的输入轴上。实际应用中,旋转运动从蜗轮蜗杆传动机构输入,从少齿差行星传动机构的输出轴输出,在整个传动过程中,旋转运动经过了两级减速,显著地提高了传动比以及所能承受的负载,此外,蜗轮蜗杆传动机构与少齿差传动机构设置在同一个外壳体的内部并者两者直接连接,使得减速器的结构紧凑,体积
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本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域,具体地说是一种单电机驱动双摆臂转动的装置,包括电机、单元固定板、减速器及摆臂单元,电机通过单元固定板安装在晶圆处理单元底座上,电机的输出端连接有减速器,在减速器的输出端连接有第二同步带轮,第二同步带轮的圆周上设有齿;电机的两侧对称设置有结构相同的摆臂单元,摆臂单元包括带轮轴、第一同步带轮、同步传动机构、摆臂轴及摆臂,带轮轴及摆臂轴分别转动安装在单元固定板上,在带轮轴上连接有与第二同步带轮相啮合的第一同步带轮,第一同步带轮通过同步传动机构与摆臂轴的一端相连,摆臂轴的另一
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