一种单电机驱动双摆臂转动的装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CN104637835A(43)申请公布日(43)申请公布日2015.05.20(21)申请号201310553873.0(22)申请日2013.11.06(71)申请人沈阳芯源微电子设备有限公司地址110168辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号(72)发明人王一谷德君(74)专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司21002代理人白振宇(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)F16H7/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种单电机驱动双摆臂转动的装置(57)摘要本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种单电机驱动双摆臂转动的装置，包括电机、单元固定板、减速器及摆臂单元，电机通过单元固定板安装在晶圆处理单元底座上，电机的输出端连接有减速器，在减速器的输出端连接有第二同步带轮，第二同步带轮的圆周上设有齿；电机的两侧对称设置有结构相同的摆臂单元，摆臂单元包括带轮轴、第一同步带轮、同步传动机构、摆臂轴及摆臂，带轮轴及摆臂轴分别转动安装在单元固定板上，在带轮轴上连接有与第二同步带轮相啮合的第一同步带轮，第一同步带轮通过同步传动机构与摆臂轴的一端相连，摆臂轴的另一端连接有摆臂。本发明具有结构简单紧凑、定位准确、安装方便、价格低廉等特点。CN104637835ACN104637835A权利要求书1/1页1.一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：包括电机（14）、单元固定板（15）、减速器（13）及摆臂单元，其中电机（14）通过单元固定板（15）安装在晶圆处理单元底座上，所述电机（14）的输出端连接有减速器（13），在减速器（13）的输出端连接有第二同步带轮（12），该第二同步带轮（12）的圆周上设有齿；所述电机（14）的两侧对称设置有结构相同的摆臂单元，该摆臂单元包括带轮轴（17）、第一同步带轮（11）、同步传动机构、摆臂轴（8）及摆臂（1），所述带轮轴（17）及摆臂轴（8）分别转动安装在所述单元固定板（15）上，在带轮轴（17）上连接有与所述第二同步带轮（12）相啮合的第一同步带轮（11），所述第一同步带轮（11）通过同步传动机构与摆臂轴（8）的一端相连，摆臂轴（8）的另一端连接有摆臂（1）；所述电机（14）两侧的摆臂（1）通过电机（14）驱动分别摆动，完成对晶圆（18）的喷洒后复位。2.按权利要求1所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述同步传动机构包括过渡同步带轮（9）、同步带（7）及摆臂轴同步带轮（6），所述过渡同步带轮（9）与第一同步带轮（11）同轴相连，摆臂轴同步带轮（6）连接于所述摆臂轴（8）的一端，所述过渡同步带轮（9）与摆臂轴同步带轮（6）之间通过同步带（7）相连。3.按权利要求1所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述过渡同步带轮（9）位于第一同步带轮（11）的下方，并套接在带轮轴（17）上，该过渡同步带轮（9）通过同步带转接块（10）与所述第一同步带轮（11）连动。4.按权利要求1所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述摆臂轴同步带轮（6）通过齿轮轴转接块（5）与摆臂轴（8）连接，并带动摆臂轴（8）转动。5.按权利要求1或2所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述第二同步带轮（12）的四分之一圆周设有齿，所述电机（14）驱动两侧的摆臂（1）在90°范围内摆动。6.按权利要求1或2所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述电机（14）的两侧对称设有分别安装在单元固定板（15）上的接近开关传感器（3），每个摆臂轴（8）上均设有与所述接近开关传感器（3）相对应的传感器挡片（4）。7.按权利要求1或2所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述电机（14）与减速器（13）同轴键合，在所述单元固定板（15）上安装有腔体底板（16），所述电机（14）容置于该腔体底板（16）上的腔体内。8.按权利要求1或2所述单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：所述摆臂（1）的一端与摆臂轴（8）的另一端相连，摆臂（1）的另一端设有喷嘴；所述摆臂（1）通过电机（14）的驱动在所述晶圆（18）的上方做往复变速扫描运动。2CN104637835A说明书1/3页一种单电机驱动双摆臂转动的装置技术领域[0001]本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种单电机驱动双摆臂转动的装置。背景技术[0002]目前，半导体晶片湿法处理工艺中需要化学液对晶圆表面进行点喷加工，最常使用的是依靠摆臂摆动来实现化学液与晶圆的相对位置。常见的工艺腔体内一般都含有两个或两个以上的摆臂，这就需要两个甚至更多的电机及其附属必需的元器件来驱动摆臂。随着半导体设备结构日益紧