一种单电机驱动双摆臂转动的装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107061664A(43)申请公布日2017.08.18(21)申请号201611179508.8(22)申请日2016.12.19(71)申请人安徽天裕汽车零部件制造有限公司地址239000安徽省滁州市经济技术开发区清流东路1471号(72)发明人李支峰李珍芳(51)Int.Cl.F16H37/02(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图2页(54)发明名称一种单电机驱动双摆臂转动的装置(57)摘要本发明公开了一种单电机驱动双摆臂转动的装置，包括电机，单元固定板，减速器及摆臂单元，电机及减速器各一个。减速器包括外壳体、安装在外壳体内部的少齿差行星传动机构和蜗轮蜗杆传动机构，所述蜗轮蜗杆传动机构的蜗轮固定地安装在少齿差行星传动机构的输入轴上。实际应用中，旋转运动从蜗轮蜗杆传动机构输入，从少齿差行星传动机构的输出轴输出，在整个传动过程中，旋转运动经过了两级减速，显著地提高了传动比以及所能承受的负载，此外，蜗轮蜗杆传动机构与少齿差传动机构设置在同一个外壳体的内部并者两者直接连接，使得减速器的结构紧凑，体积相对较小，重量相对较轻。CN107061664ACN107061664A权利要求书1/2页1.一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于，包括电机(14)、单元固定板(15)、减速器(13)及摆臂单元，其中电机(14)通过单元固定板(15)安装在晶圆处理单元底座上，所述电机(14)的输出端连接有减速器(13)，在减速器(13)的输出端连接有第二同步带轮(12)，该第二同步带轮(12)的圆周上设有齿；所述减速器(13)包括外壳体、均安装在外壳体内部的少齿差行星传动机构和蜗轮蜗杆传动机构，所述蜗轮蜗杆传动机构的蜗轮(22)固定地安装在少齿差行星传动机构的输入轴(28)上；所述少齿差行星传动机构包括摆线针轮行星传动机构，所述摆线针轮行星传动机构包括设置在输入轴(28)上的偏心套(27)与偏心套轴承(26)、安装在偏心套轴承(26)上的摆线轮(24)、与摆线轮(24)相啮合的针轮(33)、与摆线轮(24)连接的输出构件(29)、与输出构件(29)固定连接的输出轴(31)，所述输出轴(31)为减速器(13)的输出端；所述电机(14)的两侧对称设置有结构相同的摆臂单元，该摆臂单元包括带轮轴(17)、第一同步带轮(11)、同步传动机构、摆臂轴(8)及摆臂(1)，所述带轮轴(17)及摆臂轴(8)分别转动安装在所述单元固定板(15)上，在带轮轴(17)上连接有与所述第二同步带轮(12)相啮合的第一同步带轮(11)，所述第一同步带轮(11)通过同步传动机构与摆臂轴(8)的一端相连，摆臂轴(8)的另一端连接有摆臂(1)；所述电机(14)两侧的摆臂(1)通过电机(14)驱动分别摆动，完成对晶圆(18)的喷洒后复位。2.根据权利要求1所述的一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于，所述摆线轮(24)通过多个销轴与输出构件(29)连接，所述输出构件(29)安装在输入轴(28)上，并在输出构件(29)和输入轴(28)之间设置有轴承。3.根据权利要求1所述的一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于，所述偏心套为错位180度的双偏心套，所述摆线轮(24)包括分别安装在双偏心套上的两个摆线轮，所述少齿差行星传动机构包括渐开线少齿差行星传动机构，所述少齿差行星传动机构包括RV减速传动机构。4.根据权利要求1所述的一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于，所述同步传动机构包括过渡同步带轮(9)、同步带(7)及摆臂轴同步带轮(6)，所述过渡同步带轮(9)与第一同步带轮(11)同轴相连，摆臂轴同步带轮(6)连接于所述摆臂轴(8)的一端，所述过渡同步带轮(9)与摆臂轴同步带轮(6)之间通过同步带(7)相连。5.根据权利要求1所述的一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于，所述过渡同步带轮(9)位于第一同步带轮(11)的下方，并套接在带轮轴(17)上，该过渡同步带轮(9)通过同步带转接块(10)与所述第一同步带轮(11)连动。6.根据权利要求1所述的一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于，所述摆臂轴同步带轮(6)通过齿轮轴转接块(5)与摆臂轴(8)连接，并带动摆臂轴(8)转动；所述第二同步带轮(12)的四分之一圆周设有齿，所述电机(14)驭动两侧的摆臂(1)在90度范围内摆动。7.根据权利要求1或2所述的一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于，所述电机(14)的两侧对称设有分别安装在单元固定板(15)上的接近开关传感器(3)，每个摆臂轴(8)上均设有与所述接近开关传感器(3)相对应的传感器挡片(4)；所述电机(14)与减速器(13)同轴键合，