光掩模、光掩模组、曝光装置以及曝光方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103676495103676495A(43)申请公布日2014.03.26(21)申请号201310299004.XH05K3/00(2006.01)(22)申请日2013.07.16(30)优先权数据2012-2020222012.09.13JP(71)申请人日本梅克特隆株式会社地址日本东京都港区芝大门一丁目12番15号(72)发明人高野祥司松田文彦成泽嘉彦(74)专利代理机构上海音科专利商标代理有限公司31267代理人张成新(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)G03F9/00(2006.01)权权利要求书3页利要求书3页说明书13页说明书13页附图13页附图13页(54)发明名称光掩模、光掩模组、曝光装置以及曝光方法(57)摘要本发明的课题在于提供能够提高电路板与分别配置于电路板的表面和背面上的光掩模之间的对位精度的光掩模；本发明的光掩模(70)具备：描绘图形(73)，其形成于光掩模(70)的与电路板(P)相对置的一面上且用于进行曝光；第一对位标记(TM1)，其设置于一面中的、在保持电路板(P)时与电路板(P)相对置且未形成有描绘图形(73)的部位上，并且用于与形成于电路板(P)上的电路板侧标记(P5)进行对位；以及第二对位标记(TM2)，其设置于在保持电路板(P)时不与该电路板(P)相对置的部位上，并且用于与设置于另一光掩模(70)上的第三对位标记(TM3)进行对位。CN103676495ACN10367495ACN103676495A权利要求书1/3页1.一种光掩模，其特征在于，具备：描绘图形，其形成于所述光掩模的与电路板相对置的一面上且用于进行曝光；第一对位标记，其设置于所述一面中的、在保持所述电路板时与所述电路板相对置且未形成有所述描绘图形的部位上，并且用于与形成于所述电路板上的电路板侧标记进行对位；以及第二对位标记，其设置于在保持所述电路板时不与所述电路板相对置的部位上，并且用于与设置于另一光掩模上的第三对位标记进行对位。2.如权利要求1所述的光掩模，其特征在于，在所述一面上设有凹部，利用压力产生机构对所述凹部施加负压，从而对所述电路板的与所述一面相对置的对置面施加负压。3.如权利要求2所述的光掩模，其特征在于，所述凹部包括沿着所述一面延伸的吸引槽和从与所述一面呈相反侧的另一面贯穿至所述吸引槽为止的吸引孔。4.如权利要求3所述的光掩模，其特征在于，所述吸引槽被设置为环状，所述第一对位标记设置于所述一面中的、被环状的所述吸引槽包围的内侧部位上，所述第二对位标记设置于所述一面中的、环状的所述吸引槽的外侧部位上。5.一种光掩模组，其由第一光掩模和第二光掩模构成，其特征在于，所述第一光掩模具备：描绘图形，其形成于所述第一光掩模的与电路板相对置的一面上且用于进行曝光；第一对位标记，其设置于所述一面中的、在保持所述电路板时与所述电路板相对置且未形成有所述描绘图形的部位上，并且用于与形成于所述电路板上的电路板侧标记进行对位；以及第二对位标记，其设置于在保持所述电路板时不与所述电路板相对置的部位上，并且用于与设置于所述第二光掩模上的第三对位标记进行对位；所述第二光掩模具备：描绘图形，其形成于所述第二光掩模的与所述电路板相对置的一面上且用于进行曝光；和第三对位标记，其设置于所述第二光掩模的一面中的、在保持所述电路板时不与所述电路板相对置的部位上，并且用于与设置于所述第一光掩模上的所述第二对位标记进行对位。6.一种曝光装置，其是对两面形成有感光性材料的电路板的两面进行曝光的曝光装置，其特征在于，具备：第一移动机构，其设有第一驱动源，并且通过所述第一驱动源的驱动而使第一光掩模移动，其中，所述第一光掩模以与所述电路板的一面相对置的状态配置在进行曝光的位置上；第二移动机构，其设有第二驱动源，并且通过所述第二驱动源的驱动而使第二光掩模移动，其中，所述第二光掩模以与所述电路板的一面相对置的状态配置在进行曝光的位置2CN103676495A权利要求书2/3页上；摄像机构，其对形成于所述第一光掩模上的第一对位标记和形成于所述电路板上的电路板侧标记进行摄像，并且对形成于所述第一光掩模上的第二对位标记和形成于所述第二光掩模上的第三对位标记进行摄像；以及控制部，其控制所述第一驱动源、所述第二驱动源以及所述摄像机构的驱动，所述控制部根据利用所述摄像机构对所述第一对位标记和所述电路板侧标记进行摄像的结果控制所述第一驱动源，从而进行所述第一对位标记与所述电路板侧标记之间的对位，并且，根据利用所述摄像机构对所述第二对位标记和所述第三对位标记进行摄像的结果控制所述第二驱动源，从而进行所述第二对位标记与所述第三对位标记之间的对位。7.一种曝光装