石墨加热炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102531379A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102531379A(43)申请公布日2012.07.04(21)申请号201210029093.1(22)申请日2007.02.06(30)优先权数据028326/062006.02.06JP(62)分案原申请数据200710006763.72007.02.06(71)申请人古河电气工业株式会社地址日本东京都(72)发明人高桥正(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105代理人岳雪兰(51)Int.Cl.C03B37/029(2006.01)权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书99页页附图附图55页(54)发明名称石墨加热炉(57)摘要本发明涉及一种结构简单且即使在整个炉体内填充氮气也能够抑制氰气的产生的石墨加热炉。石墨加热炉(100)具备：向炉体(6)内供给氮气的氮气供给部(8)、将炉体(6)内的炉体内气体向炉体(6)外排出的排气部(9)、作为将炉体内气体向炉体(6)外排放的排放部的间隙(6a)、(6b)。被供给到炉体(6)内的氮气的露点温度是-80℃以下，炉体(6)内的压力相对于炉体(6)外的大气压是140Pa以上。CN1025379ACN102531379A权利要求书1/2页1.一种光纤母材的制造方法，其特征在于，包括对光纤用多孔质母材进行脱水和烧结的工序，在所述对光纤用多孔质母材进行脱水和烧结的工序中，使用炉体内的至少一部分利用石墨形成的石墨加热炉，所述石墨加热炉具有：气体供给部，其向所述炉体内供给氮气；排气部，其将所述炉体内的炉体内气体向所述炉体外排出，被供给到所述炉体内的氮气的露点温度是-80℃以下，所述炉体内的压力相对于所述炉体外的大气压是140Pa以上。2.一种光纤母材的制造方法，其特征在于，包括延伸光纤母材的工序，在所述延伸光纤母材的工序中，使用炉体内的至少一部分利用石墨形成的石墨加热炉，所述石墨加热炉具有：气体供给部，其向所述炉体内供给氮气；排气部，其将所述炉体内的炉体内气体向所述炉体外排出，被供给到所述炉体内的氮气的露点温度是-80℃以下，所述炉体内的压力相对于所述炉体外的大气压是140Pa以上。3.如权利要求1或2所述的光纤母材的制造方法，其特征在于，所述排气部具有将所述炉体内气体的至少一部分向大气中排放的排放部。4.如权利要求1或2所述的光纤母材的制造方法，其特征在于，具有：压力检测工序，其检测所述炉体内的压力；压力控制工序，其根据所述压力检测工序的检测结果，进行使所述气体供给部供给的氮气的供给量和所述排气部排出的所述炉体内气体的排出量中的至少一方变化的控制。5.如权利要求1或2所述的光纤母材的制造方法，其特征在于，具有：浓度检测工序，其检测所述炉体内的氰气浓度；浓度控制工序，其根据所述浓度检测工序的检测结果，进行使所述气体供给部供给的氮气的供给量和所述排气部排出的所述炉体内气体的排出量中的至少一方变化的控制。6.如权利要求1或2所述的光纤母材的制造方法，其特征在于，所述炉体内的温度是2200K以下。7.一种光纤的制造方法，其特征在于，包括对光纤母材进行拉丝的工序，在所述对光纤母材进行拉丝的工序中，使用炉体内的至少一部分利用石墨形成的石墨加热炉，所述石墨加热炉具有：气体供给部，其向所述炉体内供给氮气；排气部，其将所述炉体内的炉体内气体向所述炉体外排出，被供给到所述炉体内的氮气的露点温度是-80℃以下，所述炉体内的压力相对于所述炉体外的大气压是140Pa以上。8.如权利要求7所述的光纤的制造方法，其特征在于，所述排气部具有将所述炉体内气体的至少一部分向大气中排放的排放部。9.如权利要求7所述的光纤的制造方法，其特征在于，具有：压力检测工序，其检测所述炉体内的压力；压力控制工序，其根据所述压力检测工序的检测结果，进行使所述气体供给部供给的2CN102531379A权利要求书2/2页氮气的供给量和所述排气部排出的所述炉体内气体的排出量中的至少一方变化的控制。10.如权利要求7所述的光纤的制造方法，其特征在于，具有：浓度检测工序，其检测所述炉体内的氰气浓度；浓度控制工序，其根据所述浓度检测工序的检测结果，进行使所述气体供给部供给的氮气的供给量和所述排气部排出的所述炉体内气体的排出量中的至少一方变化的控制。11.如权利要求7所述的光纤的制造方法，其特征在于，所述炉体内的温度是2200K以下。3CN102531379A说明书1/9页石墨加热炉[0001]本申请是发明名称为“石墨加热炉”、申请号为200710006763.7、申请日为2007年2月6日的发明专利申请的分案申请。技术领域[0002]本发明涉及炉体内的至少一部分是使用石墨形成的石墨加热炉。背景技术[0003]在以往，作为需要高温的各种用