硼扩散用炉管的清洗方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102784775102784775B(45)授权公告日2014.12.10(21)申请号201210303447.7US6203623B1,2001.03.20,CN101826445A,2010.09.08,(22)申请日2012.08.23审查员王坤(73)专利权人英利能源（中国）有限公司地址071051河北省保定市朝阳北大街3399号(72)发明人崔景光刘旭寇继成王海亮(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240代理人吴贵明余刚(51)Int.Cl.B08B9/027(2006.01)(56)对比文件US2009/0246113A1,2009.10.01,CN101406891A,2009.04.15,TW505986B,2002.10.11,US6235145B1,2001.05.22,权利要求书1页权利要求书1页说明书3页说明书3页(54)发明名称硼扩散用炉管的清洗方法(57)摘要本发明公开了一种硼扩散用炉管的清洗方法。该方法包括以下步骤：1）按体积比75:1~1:1向硼扩散用炉管中通入氮气和携源氮气，持续30分钟以上，其中，携源氮气中携带有纯水蒸气；2）停止通入氮气和携源氮气，完成清洗。应用本发明的技术方案，在不改变炉管结构的情况下，采用纯水蒸气对炉管进行清洗。因为BSG（硼硅玻璃）极易溶于水，因此采用纯水蒸气很容易就可以将炉管清洗干净，清洗过程中产生废物可以随尾气管排出。总之，本发明的技术方案简单实用，不必更改设备结构，就能达到清洗炉管，提高扩散质量，延长石英器件寿命的目的。CN102784775BCN1027845BCN102784775B权利要求书1/1页1.一种硼扩散用炉管的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：1)按体积比75:1～1:1向硼扩散用炉管中通入氮气和携源氮气，持续30分钟以上，其中，所述携源氮气中携带有纯水蒸气；2)停止通入所述氮气和携源氮气，完成清洗；所述步骤1)包括：将所述炉管内的温度升至860～960℃，将携带有纯水蒸气的携源氮气通入所述炉管对所述炉管进行清洗。2.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述携带有纯水蒸气的携源氮气的通入流量为0.2～5slm。3.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤1)之前进一步包括：将硼扩散源瓶换成纯水源瓶或外接设置纯水源瓶，将氮气通入所述纯水源瓶形成所述携源氮气。4.根据权利要求3所述的清洗方法，其特征在于，控制所述纯水源瓶内的水温在15～30℃。5.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤1)是在将扩散炉的炉门关闭的条件下将所述炉管内的温度连续升至860～960℃。6.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，在所述步骤1)的升温过程中，所述炉管内保持氮气气氛。7.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，控制所述步骤1)的时间在30～180min。8.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤2)之后进一步包括：待所述炉管内的温度降至750℃～850℃，通入氮气吹扫所述炉管。9.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，每3～30天对所述炉管进行清洗一次。2CN102784775B说明书1/3页硼扩散用炉管的清洗方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池制备技术领域，具体而言，涉及一种硼扩散用炉管的清洗方法。背景技术[0002]太阳能电池是通过光电效应直接把光能转化成电能的装置，常规太阳能电池主要工艺流程为制绒、扩散、湿法刻蚀、减反射膜的沉积、丝网印刷和烧结。由于基体衬底掺杂不同分为P型太阳电池和N型太阳电池。有N型半导体硅片（基体）制作的太阳电池称为N型太阳电池，要形成PN结，扩散源通常使用三溴化硼（液态）中的硼，扩散至硅片内部形成P型半导体。[0003]太阳能电池硼扩散（三溴化硼液态源管式扩散）工艺过程中，会产生副产物BSG（硼硅玻璃），BSG会附着在石英炉管、石英炉门和石英舟表面，从而影响扩散效果。而且BSG积累到一定程度，在高温扩散过程中变成液态，流动到炉管炉门位置，工艺结束后降温至800℃左右时，还会凝固成固体将炉管和炉门沾到一起，致使石英器件损坏，必须更换炉管。发明内容[0004]本发明旨在提供一种硼扩散用炉管的清洗方法，以解决现有技术中太阳能电池硼扩散工艺过程中产生的副产物BSG会影响扩散效果及致使石英器件损坏的技术问题。[0005]为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种硼扩散用炉管的清洗方法。该方法包括以下步骤：1）按体积比75:1~1:1向硼扩散用炉管中通入氮气和携源氮气，持续30分钟以上，其中，携源氮气中携带有纯水蒸气；2）停止通入氮气和携源氮气，完成清洗。[00