硼扩散炉管的清洁方法及其清洁设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103215649A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103215649103215649A(43)申请公布日2013.07.24(21)申请号201310119789.8(22)申请日2013.04.08(71)申请人英利能源（中国）有限公司地址071051河北省保定市朝阳北大街3399号(72)发明人王英超熊景峰胡志岩李高非赵文超(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240代理人吴贵明张永明(51)Int.Cl.C30B31/04(2006.01)B08B9/027(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图1页附图1页(54)发明名称硼扩散炉管的清洁方法及其清洁设备(57)摘要本发明提供了一种硼扩散炉管的清洁方法及其清洁设备。其中，硼扩散炉管的清洁方法包括以下步骤：步骤S10：向硼扩散炉管内通入携水气体；步骤S20：排出经过硼扩散炉管后的携水气体。硼扩散炉管的清洁设备包括供气装置；盛水容器；第一管道，进气端与供气装置连接，第一管道的出气端延伸至盛水容器的液面以下；第二管道，进气端与盛水容器连接并且位于盛水容器的液面以上，第二管道的出气端与硼扩散炉管的进气口连接。采用本发明的硼扩散炉管的清洁方法或清洁设备能够快速地、方便地对硼扩散炉管进行清洁。CN103215649ACN10325649ACN103215649A权利要求书1/1页1.一种硼扩散炉管的清洁方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S10：向硼扩散炉管内通入携水气体；步骤S20：排出经过所述硼扩散炉管后的所述携水气体。2.根据权利要求1所述的清洁方法，其特征在于，所述携水气体为携带水蒸气的气体。3.根据权利要求1所述的清洁方法，其特征在于，所述携水气体为携水氮气。4.根据权利要求1所述的清洁方法，其特征在于，在所述步骤S10中，所述硼扩散炉管保持在100℃以上。5.根据权利要求1所述的清洁方法，其特征在于，在所述步骤S10中，使所述硼扩散炉管的内部形成负压。6.一种硼扩散炉管的清洁设备，其特征在于，包括：供气装置（10）；盛水容器（20）；第一管道（30），进气端与所述供气装置（10）连接，所述第一管道（30）的出气端延伸至所述盛水容器（20）的液面（21）以下；第二管道（40），进气端与所述盛水容器（20）连接并且位于所述盛水容器（20）的液面（21）以上，所述第二管道（40）的出气端与硼扩散炉管（1）的进气口连接。7.根据权利要求6所述的清洁设备，其特征在于，还包括用于加热所述盛水容器（20）的第一加热装置。8.根据权利要求6所述的清洁设备，其特征在于，还包括用于加热所述硼扩散炉管（1）的第二加热装置。9.根据权利要求6所述的清洁设备，其特征在于，还包括用于使所述硼扩散炉管（1）内部形成负压的空气泵。10.根据权利要求9所述的清洁设备，其特征在于，还包括与所述硼扩散炉管（1）的出气口连接的收集装置（50），所述空气泵设置在所述收集装置（50）上。2CN103215649A说明书1/3页硼扩散炉管的清洁方法及其清洁设备技术领域[0001]本发明涉及硼扩散工艺技术领域，具体而言，涉及一种硼扩散炉管的清洁方法及其清洁设备。背景技术[0002]目前，N型晶硅电池以其成本低效率高，越来越受到市场的重视。在制造N型晶硅电池的过程中，硼扩散工序（N型硅片在扩散后表面形成P/N结）是生产过程中重要的环节。[0003]在上述工序中需要向硼扩散炉管内通入携带液态硼化物的氮气并对硼扩散炉管加热来实现。因此，将硼扩散炉管和盛放有液态硼化物的容器通过管道连接。通过向液态硼化物的容器内通入氮气即可得到上述携带液态硼化物的氮气。通入氮气的管道需要伸入至液态硼化物的液面以下，而管道与容器的连接处需与液面之间保持一定的距离。[0004]硼扩散工序结束后，硼扩散炉管壁会粘有含硼氧化物，由于硼扩散炉管大多是石英炉管，这些含硼氧化物对石英炉管会有侵蚀作用。为了降低含硼氧化物对硼扩散炉管的侵蚀作用，需要工作人员定期对硼扩散炉管进行清洗。[0005]现有技术的清洗硼扩散炉管的方式比较繁琐，特别是对炉管降温和拆卸炉管这两个步骤。上述硼扩散炉管清洗方法存在以下缺点：[0006]1、硼扩散炉管降温需要的时间较长，大约6-8小时，降低了设备在单位时间内的利用率。[0007]2、拆装一根硼扩散炉管需要最少4个工人，而且拆装容易造成硼扩散炉管破损，这些可能都会增加生产成本。[0008]3、经过多次拆卸的硼扩散炉管将无法使用。发明内容[0009]本发明旨在提供一种能够快速地、方便地对硼扩散炉管进行清洁的硼扩散炉管的清洁方法及其清洁设备。[0010]为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种硼扩散