扩散用炉管的清洗方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102825036102825036B(45)授权公告日2014.12.24(21)申请号201210304062.2CN101134202A,2008.03.05,CN101327487A,2008.12.24,(22)申请日2012.08.23审查员初帅(73)专利权人英利能源（中国）有限公司地址071051河北省保定市朝阳北大街3399号(72)发明人崔景光马继奎刘旭赵易坤(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240代理人吴贵明余刚(51)Int.Cl.B08B9/027(2006.01)(56)对比文件CN102097523A,2011.06.15,US6203623B1,2001.03.20,US6235145B1,2001.05.22,CN101826445A,2010.09.08,US2009/0246113A1,2009.10.01,权利要求书1页权利要求书1页说明书3页说明书3页(54)发明名称扩散用炉管的清洗方法(57)摘要本发明公开了一种扩散用炉管的清洗方法。该方法包括以下步骤：1）按体积比在150∶1∶1～5∶1∶1向扩散用炉管中通入氮气、携源氮气和氧气，持续30分钟以上，其中，携源氮气中含有氯离子；2）停止通入氮气、携源氮气和氧气，完成清洗。应用本发明的技术方案，采用Cl-对扩散用炉管进行清洗，氯离子极易和金属离子结合，结合后将金属离子带出炉管，这样就将炉管金属离子清洗干净，不用拆卸炉管，避免了炉管（石英器件）在拆卸过程中造成损坏。CN102825036BCN1028536BCN102825036B权利要求书1/1页1.一种扩散用炉管的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：1)按体积比在150：1：1～5：1：1向扩散用炉管中通入氮气、携源氮气和氧气，持续30分钟以上，其中，所述携源氮气中含有氯离子；2)停止通入所述氮气、携源氮气和氧气，完成清洗；所述步骤1)包括：将所述炉管内的温度升至900～960℃，将氧气、氮气、携带有三氯氧磷的携源氮气通入所述炉管对所述炉管进行清洗。2.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述氧气的通入流量为0.1～1slm；所述携带有三氯氧磷的携源氮气的通入流量为0.1～1slm。3.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤1)之前进一步包括：在扩散炉内设置三氯氧磷源瓶，将氮气通入所述三氯氧磷源瓶形成所述携源氮气。4.根据权利要求3所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤1)是在将所述扩散炉的炉门关闭的条件下将所述炉管内的温度升至900～960℃。5.根据权利要求4所述的清洗方法，其特征在于，所述炉管内的温度连续升至900～960℃。6.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，在所述步骤1)的升温过程中，所述炉管内为氮气气氛。7.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，控制所述步骤1)的时间在30～180min。8.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述步骤2)之后进一步包括：将所述炉管内的温度降至750～850℃。9.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，每30～180天对所述炉管进行清洗一次。2CN102825036B说明书1/3页扩散用炉管的清洗方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池制备技术领域，具体而言，涉及一种扩散用炉管的清洗方法。背景技术[0002]在太阳能电池生产过程中，漂浮在空气中的金属离子会随进出炉管的硅片进入炉管。金属离子在炉管内积累，会对硅片会造成严重影响，对电池的生产效率及电池质量造成重大影响，所以炉管使用一段时间后需要进行清洗。现有技术中通常的清洗方法有以下两种：[0003]一、通过高温下二氯乙烯和氧气反应产生氯离子对炉管进行清洗，但是采用此方法时，如果出现氧气不能及时通入炉管，会出现二氯乙烯高温碳化现象，产生黑色碳颗粒附着在炉管内壁，污染炉管。[0004]高温下主要有以下两个反应式：C2H2Cl2+2O2→2CO2+2HCl[0005]C2H2Cl2→2HCl+2C[0006]采用此种方法需要更换二氯乙烯源瓶，操作不当容易导致二氯乙烯碳化，污染炉管；另外，由于二氯乙烯不含磷，没有饱和炉管作用，如果清洗新炉管还需要另外进行饱和处理。[0007]二、将炉管拆下来，浸泡到低浓度HF溶液中，利用HF溶液将金属离子溶解，然后再用大量纯水将炉管冲洗干净。但是，这种方法费时费力，而且还极易造成炉管损坏。因为炉管是石英器件，拆卸过程中易碎，存在危险，而且高纯石英炉管非常昂贵；另外，石英成分二氧化硅，也和HF反应，清洗过程中对石英炉管造成一定损伤；再者，拆除时间较长，需要停机时间也比较长。发明内容[0008]本发明旨在提供