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蒸发镀膜装置及获得其源炉的工作温度的方法.pdf
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蒸发镀膜装置及获得其源炉的工作温度的方法.pdf
一种蒸发镀膜装置，包括：进样室；镀膜工艺室，与进样室真空相连，镀膜工艺室包括提供铜、铟、镓或硒蒸气的源炉、薄膜生长过程中固定衬底的样片台、加热源炉和衬底的加热装置；称重室，与镀膜工艺室真空相连，用于分别称量所述衬底的重量、制备有铜、铟、镓或硒薄膜的衬底的重量；出样室，与镀膜工艺室真空相连；及衬底传输系统，用于将衬底在进样室、镀膜工艺室、称重室及出样室之间传递。该蒸发镀膜装置设置了称重室，镀膜和称重都是在真空状态下进行，避免了普通称重法中因衬底和膜层的吸湿性以及膜层在空气中发生化学反应带来的误差，获得的束流
2023-06-20
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一种蒸发炉及双面镀膜装置.pdf
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本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种蒸发镀膜装置及镀膜系统，一种蒸发镀膜装置包括镀膜室、抽真空机构和支撑架；所述抽真空机构用于对所述镀膜室抽真空，所述支撑架设置在所述镀膜室的底部，且用于支撑所述镀膜室；所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和低温泵；所述机械泵至少设置有两个，至少两个所述机械泵与所述罗茨泵连通，所述罗茨泵的另一端与所述镀膜室连通，所述低温泵至少设置有两个，所述低温泵直接与所述镀膜室连通。本申请以机械泵和罗茨泵构成低真空获得系统，以低温泵为高真空获得系统，从而使占地面积小、结构更加紧凑；除此
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