翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号CN104911560B(45)授权公告日2018.05.18(21)申请号201510203240.6(56)对比文件(22)申请日2015.04.24CN202400970U,2012.08.29,(65)同一申请的已公布的文献号审查员刘化然申请公布号CN104911560A(43)申请公布日2015.09.16(73)专利权人北京精诚铂阳光电设备有限公司地址100176北京市大兴区北京经济技术开发区锦绣街7号(72)发明人杨斌(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240代理人赵囡囡吴贵明(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)C23C14/52(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备(57)摘要本发明提供了一种翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备。该翻转装置，用于翻转工件，工件包括承载基板和玻璃基板，承载基板包括多个基板定位柱，且玻璃基板通过基板定位柱固定在承载基板上，其特征在于，翻转装置包括：翻转台和设置于翻转台上方的翻转机构，且翻转机构包括由多个吸盘组成的吸盘组；顶起装置，包括设置于翻转台上的支撑架和位于支撑架上的顶针组，顶针组包括多个顶针，且顶针组中顶针的位置与吸盘组中吸盘的位置一一对应；检测装置，设置于翻转台上，且检测装置用于测量玻璃基板的各位置与翻转台之间的距离。采用翻转装置能够降低玻璃基板在翻转时的破碎率。CN104911560BCN104911560B权利要求书1/1页1.一种翻转装置，用于翻转工件，所述工件包括承载基板和玻璃基板，所述承载基板包括多个基板定位柱，且所述玻璃基板通过所述基板定位柱固定在所述承载基板上，其特征在于，所述翻转装置包括：翻转台和设置于所述翻转台上方的翻转机构，且所述翻转机构包括由多个吸盘组成的吸盘组；顶起装置，包括设置于所述翻转台上的支撑架和位于所述支撑架上的顶针组，所述顶针组包括多个顶针，且所述顶针组中所述顶针的位置与所述吸盘组中所述吸盘的位置一一对应；检测装置，设置于所述翻转台上，且所述检测装置用于测量所述玻璃基板的各位置与所述翻转台之间的距离。2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述支撑架呈长方形，且所述支撑架的四个顶角位置各设置一个所述顶针。3.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述顶针的直径大于所述吸盘的直径。4.根据权利要求1至3中任一项所述的翻转装置，其特征在于，所述顶起装置由气缸进行驱动。5.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，检测装置由多个测距传感器组成。6.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述承载基板还包括边框和设置于所述边框的中间位置的支撑条，且所述基板定位柱设置于所述边框上。7.根据权利要求6所述的翻转装置，其特征在于，所述基板定位柱呈锥形，且所述基板定位柱的底面设置于所述边框上。8.一种权利要求1至7中任一项所述的翻转装置的操作方法，其特征在于，所述操作方法包括以下步骤：当工件到达所述翻转装置后，通过所述翻转装置中的检测装置测量所述玻璃基板的各位置与所述翻转台之间的距离，并计算得出所述玻璃基板的变形量；当所述变形量在允许范围内时翻转所述工件；当所述变形量大于所述允许范围时，进行等待操作，且如果所述等待操作后所述变形量在所述允许范围内翻转所述工件，如果所述等待操作的时间大于预定时间，且所述变形量仍大于所述允许范围，则报警并进行人工处理；翻转所述工件时，采用所述述翻转装置中的顶起装置将所述工件中的玻璃基板顶起，使所述玻璃基板的底部位于所述工件中基板定位柱的1/2~2/3高度处。9.一种共蒸发设备，包括顺序设置的翻转上片台、共蒸发装置区和翻转下片台，其特征在于，所述翻转下片台为权利要求1至7中任一项所述的翻转装置。10.根据权利要求9所述的共蒸发设备，其特征在于，所述共蒸发设备还包括：承载基板传输台，设置于所述翻转上片台和所述翻转下片台之间；玻璃基板传输台，设置于所述翻转上片台的上游和所述翻转下片台的下游。2CN104911560B说明书1/4页翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备技术领域[0001]本发明涉及共蒸发设备领域，具体而言，涉及一种翻转装置、其操作方法及包括其的共蒸发设备。背景技术[0002]蒸发式CIGS设备需要在玻璃下表面做工艺，然而玻璃基板从上道工艺到达CIGS区域时，工艺面朝上。于是，翻转上片台将玻璃基板翻转后放到Carrier（即承载基板）上，然后Carrier和玻璃基板一起进入CIGS共蒸发设备进行工艺。工艺完成后，翻转下片台再将玻璃基板翻转成工艺面朝上的形式，之后玻璃基板进入下一道工序。空的Carrier经由Carrier传输