蒸发镀膜装置及镀膜系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109267033A(43)申请公布日2019.01.25(21)申请号201811501323.3(22)申请日2018.12.07(71)申请人沈阳爱科斯科技有限公司地址110000辽宁省沈阳市沈北新区蒲河路83-42号(72)发明人王君郭爱云汪友林(74)专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371代理人徐丽(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)C23C14/30(2006.01)C23C14/50(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图3页(54)发明名称蒸发镀膜装置及镀膜系统(57)摘要本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种蒸发镀膜装置及镀膜系统，一种蒸发镀膜装置包括镀膜室、抽真空机构和支撑架；所述抽真空机构用于对所述镀膜室抽真空，所述支撑架设置在所述镀膜室的底部，且用于支撑所述镀膜室；所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和低温泵；所述机械泵至少设置有两个，至少两个所述机械泵与所述罗茨泵连通，所述罗茨泵的另一端与所述镀膜室连通，所述低温泵至少设置有两个，所述低温泵直接与所述镀膜室连通。本申请以机械泵和罗茨泵构成低真空获得系统，以低温泵为高真空获得系统，从而使占地面积小、结构更加紧凑；除此外，抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和低温泵，能耗小，更适合中小型企业使用。CN109267033ACN109267033A权利要求书1/1页1.一种蒸发镀膜装置，其特征在于，包括镀膜室、抽真空机构和支撑架；所述抽真空机构用于对所述镀膜室抽真空，所述支撑架设置在所述镀膜室的底部，且用于支撑所述镀膜室；所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和低温泵；所述机械泵至少设置有两个，至少两个所述机械泵与所述罗茨泵连通，所述罗茨泵的另一端与所述镀膜室连通，所述低温泵至少设置有两个，所述低温泵直接与所述镀膜室连通。2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室内部为中空的腔体，所述镀膜室的腔体内部设置有加热组件、电子枪和坩埚组件；所述电子枪设置在所述坩埚组件的一侧，所述电子枪用于对所述坩埚组件内部物料蒸发；所述镀膜室的腔体内部设置有所述加热组件，所述加热组件用于加快物料蒸发。3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室的腔体顶部设置有旋转组件，所述旋转组件能够带动带铸件旋转，所述旋转组件包括固定轴和旋转支撑架；所述固定轴固定在所述镀膜室顶部，且与电机连接；所述旋转支撑架设置有多个，多个所述旋转支撑架以所述固定轴为圆心，阵列排布。4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室的侧壁上设置有观察窗，所述观察窗上且靠近所述镀膜室的腔体侧设置有防污挡板。5.根据权利要求4所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室的侧壁上设置有检修门。6.根据权利要求5所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室的外侧壁上设置有水冷组件，水冷组件为蛇形缠绕在镀膜室外侧壁上的水管或水袋。7.根据权利要求6所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室的腔体内部设置有晶控测厚仪，晶控测厚仪用于检测带铸件厚度。8.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述加热组件设置为卤素灯。9.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述支撑架的一端设置有阶梯踏板，所述阶梯踏板靠近所述检修门一端设置。10.一种镀膜系统，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的蒸发镀膜装置。2CN109267033A说明书1/6页蒸发镀膜装置及镀膜系统技术领域[0001]本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种蒸发镀膜装置及镀膜系统。背景技术[0002]传统的蒸发真空镀膜装置利用扩散泵和低温捕集器作为高真空获得系统，结构复杂、能耗大。[0003]因此如何提供一种蒸发镀膜装置及镀膜系统，从而提高蒸发镀膜装置的结构且能耗小，已成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。发明内容[0004]本申请的目的在于提供一种蒸发镀膜装置及镀膜系统，以解决现有技术中存在的蒸发镀膜装置结构复杂、能耗大的技术问题。[0005]本申请提供了一种蒸发镀膜装置，包括镀膜室、抽真空机构和支撑架；[0006]所述抽真空机构用于对所述镀膜室抽真空，所述支撑架设置在所述镀膜室的底部，且用于支撑所述镀膜室；[0007]所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和低温泵；[0008]所述机械泵至少设置有两个，至少两个所述机械泵与所述罗茨泵连通，所述罗茨泵的另一端与所述镀膜室连通，[0009]所述低温泵至少设置有两个，所述低温泵直接与所述镀膜室连通。[0010]具体地，所述镀膜室内部为中空的腔体，所述镀膜室的腔体内部设置有加热组件、电子枪和坩埚组件；[0011]所述电子枪设置在所述坩埚组件的一侧，所