一种镀膜遮挡装置及包含其的镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113278926A(43)申请公布日2021.08.20(21)申请号202110411111.1(22)申请日2021.04.16(71)申请人布勒莱宝光学设备（北京）有限公司地址100176北京市大兴区经济技术开发区永昌南路2号5号楼(72)发明人安永肖畅闫海涛(74)专利代理机构北京锺维联合知识产权代理有限公司11579代理人安娜(51)Int.Cl.C23C14/24(2006.01)C23C14/04(2006.01)C23C14/50(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种镀膜遮挡装置及包含其的镀膜装置(57)摘要本发明提供了一种镀膜遮挡装置，包括：驱动部、固定板、镀膜板、支撑板、挡板和滑动结构；第一支撑板和第二支撑板分别设置在固定板的两侧；两个支撑板之间设置有导向杆；镀膜板设置在固定板上，并设置有滑槽和用于放置待加工件的开孔；滑动结构包括滑块和连接杆；导向杆间隔设置在支撑板之间；滑块滑动设置在导向杆上，并与驱动部连接；连接杆的一端与滑块连接，另一端穿过滑槽与镀膜板连接；挡板在驱动部的作用下，沿滑槽前后移动以挡住或露出待加工件。本发明还提供一种包含该遮挡装置的镀膜装置。本发明能够精确控制镀膜精度和缩短制备时间。CN113278926ACN113278926A权利要求书1/1页1.一种镀膜遮挡装置，其特征在于，包括：驱动部、固定板、镀膜板、第一支撑板、第二支撑板、第一导向杆、第二导向杆、挡板和滑动结构；所述第一支撑板和所述第二支撑板分别设置在所述固定板的两侧；所述镀膜板设置在所述固定板上，并设置有第一滑槽和第二滑槽以及用于放置待加工件的开孔；所述第一导向杆和所述第二导向杆间隔设置在所述第一支撑板和所述第二支撑板之间；所述滑动结构包括滑块、第一连接杆和第二连接杆；所述滑块滑动设置在所述第一导向杆和所述第二导向杆上，并与所述驱动部连接；所述第一连接杆和所述第二连接杆的一端分别与所述滑块连接，另一端分别穿过所述第一滑槽和所述第二滑槽与所述镀膜板连接；所述挡板在所述驱动部的作用下，沿滑槽前后移动以挡住或露出所述待加工件。2.一种镀膜装置，其特征在于，包括：真空室，所述真空室的上方设置有旋转驱动装置，所述真空室的内部设置有弧形旋转架，所述弧形旋转架与所述旋转驱动装置连接，其中，所述弧形旋转架上设置有多个权利要求1所述的镀膜遮挡装置。3.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述弧形旋转架上形成有多个安装孔，所述镀膜板嵌入所述安装孔中，所述固定板固定在所述弧形旋转架上。4.根据权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，所述固定板通过螺栓固定在所述弧形旋转架上。5.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述真空室上还设置有真空插头，所述真空插头与所述驱动部通过无线或者有线的方式连接。6.根据权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，所述真空室上还设置有导电滑环，所述真空插头和所述驱动部通过所述导电滑环连接。7.根据权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，所述真空插头和所述驱动部通过无线方式连接。8.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，还包括：设置在所述弧形旋转架的底部的蒸发源，以及设置在所述真空室两侧的膜厚控制器。2CN113278926A说明书1/3页一种镀膜遮挡装置及包含其的镀膜装置技术领域[0001]本发明涉及光学镀膜领域，具体涉及一种镀膜遮挡装置及包含其的镀膜装置。背景技术[0002]线性渐变滤光片(LVOF)是继棱镜、光栅以及近期发展的多种光学元件之后发展起来的一种新型分光元件。由于线性渐变滤光片可与CCD/CMOS探测器列阵结合共同构成可识别光谱的探测器，能够大大简化分光系统，提高仪器的可靠性、稳定性和光学效率，而受到越来越多的关注。[0003]目前，线性渐变滤光片的制备方法为：在离子束和待镀工件之间安装一定形状的挡板，离子束刻蚀时，样片以某一恒定速率来回运动，经过一定的刻蚀次数后，获得垂直于样品运动方向上的厚度差异，最终获得设计的间隔层。制备流程包括：首先在基底上进行第一次镀膜，将下层膜系和中间层镀好；其次，按上述方法对中间层进行刻蚀，获得具有一定角度的腔层；最后，配合第二次镀膜，即可完成线性渐变滤光片的制备。这种镀膜方式，因挡板与基片的距离以及与刻蚀离子源的角度问题，会导致控制精度不足。此外，从制备流程上，要先镀膜再刻蚀会，需要二次镀膜，导致制备的时间较长。发明内容[0004]有鉴于此，本发明实施例提供一种镀膜遮挡装置，通过在镀膜真空室安装该镀膜遮挡装置，能够精确控制精度和缩短制备时间。本发明还提供一种包含该镀膜遮挡装置的镀膜装置。[0005]本发明实施例提供一种镀膜遮挡装置，包括：驱动部、固定板、镀膜