刻蚀烘烤设备的反应炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103088412A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103088412103088412A(43)申请公布日2013.05.08(21)申请号201310036565.0(22)申请日2013.01.29(71)申请人杭州士兰明芯科技有限公司地址310018浙江省杭州市杭州经济技术开发区东区10号路300号(72)发明人周永君徐小明丁云鑫毛棋斌(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人浦易文(51)Int.Cl.C30B25/02(2006.01)H01L21/67(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书6页说明书6页附图6页附图6页(54)发明名称刻蚀烘烤设备的反应炉(57)摘要本发明提供了一种刻蚀烘烤设备的反应炉，所述反应炉包括反应室组件、加热组件以及冷却组件，其中，所述反应室组件包括反应罩，所述反应罩上设有通气管，反应气体通过所述通气管输入到反应罩内部；所述加热组件包括红外灯管组件，所述红外灯管组件设置在所述反应罩外侧；所述冷却组件包围所述加热组件设置。采用根据发明的反应炉，可以使反应炉可以使反应腔内的温度稳定均匀、加热反应周期短，从而延长石墨盘的使用寿命。CN103088412ACN103842ACN103088412A权利要求书1/2页1.一种刻蚀烘烤设备的反应炉（10），所述反应炉包括反应室组件（100）、加热组件（200）以及冷却组件，其特征在于，所述反应室组件（100）包括反应罩（110），所述反应罩（110）上侧设有通气管（111），反应气体通过所述通气管（111）输入到所述反应罩（110）内部；所述加热组件（200）包括红外灯管组件（210），所述红外灯管组件（210）设置在所述反应罩（110）外侧；所述冷却组件包围所述加热组件（200）设置。2.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备的反应炉（10），其特征在于，所述加热组件（200）还包括反射板组件（220），所述反射板组件（220）设置在所述反应罩（110）外侧。3.如权利要求2所述的刻蚀烘烤设备的反应炉（10），其特征在于，所述红外灯管组件（210）包括多个红外灯管（212），所述多个红外灯管（212）构造成并联回路以进行分区温度控制。4.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备的反应炉（10），其特征在于，冷却组件包括循环风冷却系统（310）和水冷却系统（350），所述循环风冷却系统（310）构造成通入气流进行冷却，所述水冷却系统（350）构造成具有冷却水管（353），所述冷却水管（353）通入冷却水进行冷却。5.如权利要求4所述的刻蚀烘烤设备的反应炉（10），其特征在于，所述加热组件（200）包括反射板，所述反射板设置在反应罩（110）的上侧和四周侧，所述反射板的外侧固定有冷却板（352），所述冷却水管（353）盘设在冷却板（352）的外侧。6.如权利要求4所述的刻蚀烘烤设备的反应炉（10），其特征在于，所述循环风冷却系统（310）包括：位于反应室组件（100）上方的顶部集气槽（312）；位于反应室组件（100）下方的底部集气槽（314）；连通在顶部集气槽（312）和底部集气槽（314）之间的风腔，风腔位于反应室组件（100）以及加热组件（200）四周。7.如权利要求6所述的刻蚀烘烤设备的反应炉（10），其特征在于，所述循环风冷却系统（310）还包括：换热器，所述换热器被连接到所述底部集气槽（314）的下游；以及串接在循环风冷却系统（310）中的、使气流循环运动的鼓风机。8.如权利要求1所述的刻蚀烘烤设备的反应炉（10），其特征在于，反应室组件（100）还包括：反应罩固定座（120），反应罩固定座（120）固定支承反应罩（110）；以及可开启的底盖（130），该底盖（130）设有连通位于所述反应室组件（100）内的、容纳石墨盘（600）或外延衬底片的反应腔的尾气通道（132），并且底盖（130）密封连接到反应罩固定座（120）上。9.如权利要求8所述的刻蚀烘烤设备的反应炉（10），其特征在于，冷却组件包括循环风冷却系统（310），所述循环风冷却系统（310）构造成通入气流对所述反应炉内的部件进行冷却，所述循环风冷却系统（310）包括位于反应室组件（100）上方的顶部集气槽（312）；位于反应室组件（100）下方的底部集气槽（314）；连通在顶部集气槽（312）和底部集气槽（314）之间的风腔，风腔位于反应室组件（100）以及加热组件（200）四周,所述底盖（130）设有压力检测口，通入所述反应罩（110）内的反应气体的流量被控制成使所述反应腔的内压力与所述风腔内的压力大致相等。10.如前述任一项的权利要求所述的刻蚀烘烤设备的反应炉（10），其特征在于，所述反