单晶炉真空系统用自动清洁过滤器.pdf

单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，包括置于单晶炉与真空泵之间的过滤罐、固定在过滤罐中的过滤筒以及能够沿过滤筒圆周方向转动的清扫毛刷，清扫毛刷能够在圆周转动过程中清洁过滤筒表面。过滤罐中设有过滤筒以及能够沿过滤筒圆周方向转动的清扫毛刷，清扫毛刷能够在圆周转动过程中清洁过滤筒表面，用于阻止硅单晶拉制过程中产生的气体颗粒进入真空泵造成真空泵损坏；同时，自动清洁，既节约了人力，又避免有毒有害物质对人员的伤害。

2023-06-19

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用于单晶炉的真空系统过滤器.pdf

本发明涉及过滤装置，旨在提供一种用于单晶炉的真空系统过滤器。该过滤器包括罐体和设于罐体上的进气口及出气口；在罐底焊接有一个支撑环，支撑环上设滤芯支撑圆盘；滤芯支撑圆盘上开设若干排气孔，每个排气孔对应安装一个滤芯；滤芯支撑圆盘、支撑环和罐底构成过滤器的洁净区，所述出气口设于罐体底部且其开口位置处于支撑环之内。本发明增加了过滤面积，加强了过滤效果，且不易堵塞，减少了清理次数。解决了现有的过滤器过滤效果不好，需较为频繁的清理，且容易堵塞，清理麻烦，影响产品质量的问题；保证了单晶炉内真空抽吸效果，在一定程度上保证

2023-06-20

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单晶炉自动定量真空加料系统.pdf

本发明公开了一种单晶炉自动定量真空加料系统，包括储料罐，所述储料罐的上端设置计量仓，所述计量仓的上方设置加料仓，所述加料仓的侧面卡接吸料管，所述吸料管的另一端卡接储料罐，所述加料仓的顶部卡接吸料管，所述吸料管的另一端卡接过滤器，所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵，所述储料罐内设置主料加料模块，所述计量仓内设置小料加料模块，所述加料仓内设置真空上料模块，所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器，所述PLC控制器电性连接控制屏。该装置能够实现了单晶炉原料的自助定量加料，可以稳定，可靠的

2023-06-16

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单晶炉用自动化控制系统.pdf

本发明涉及单晶炉生产控制技术领域，特别是一种单晶炉用自动化控制系统，包括微处理器，还包括温度传感器，所述温度传感器通过差动放大单元与微处理器输入端相连接；所述微处理器输出端通过继电器与执行机构相连接，所述执行机构与电磁阀相连接；所述微处理器通过接口模块与上位机相连接。采用上述结构后，本发明的单晶炉用自动化控制系统通过将压强传感器和温度传感器的历史数据存储在数据库中，便于更好的对拉晶进行控制；另外，本发明通过差动放大单元提高了温度传感器数据的准确性。

2023-06-18

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尾气过滤装置及单晶炉真空系统.pdf

本发明公开的尾气过滤装置，其罐体上分别设有进气口和出气口，罐体内设有浸入过滤油内的第一过滤部和第二过滤部，第二过滤部环绕设置于第一过滤部的周围且位于第一过滤部靠近过滤油液面的一侧。本发明公开的单晶炉真空系统，包括单晶炉、真空泵以及尾气过滤装置，尾气过滤装置连接于单晶炉和真空泵之间。本发明的尾气过滤装置利用两个过滤部对进入的尾气进行分流，使带有杂质的尾气与过滤油充分地接触使得杂质润湿后进入过滤油中，并沉入罐体底部。本发明的单晶炉真空系统在单晶炉与真空泵之间设置尾气过滤装置，该尾气过滤装置可过滤吸收尾气中的大

2023-06-17

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