单晶炉自动定量真空加料系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110777426A(43)申请公布日2020.02.11(21)申请号201911232492.6(22)申请日2019.12.05(71)申请人无锡港晖电子有限公司地址214000江苏省无锡市新吴区君山路8号(72)发明人黄蕾包应正(51)Int.Cl.C30B15/02(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称单晶炉自动定量真空加料系统(57)摘要本发明公开了一种单晶炉自动定量真空加料系统，包括储料罐，所述储料罐的上端设置计量仓，所述计量仓的上方设置加料仓，所述加料仓的侧面卡接吸料管，所述吸料管的另一端卡接储料罐，所述加料仓的顶部卡接吸料管，所述吸料管的另一端卡接过滤器，所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵，所述储料罐内设置主料加料模块，所述计量仓内设置小料加料模块，所述加料仓内设置真空上料模块，所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器，所述PLC控制器电性连接控制屏。该装置能够实现了单晶炉原料的自助定量加料，可以稳定，可靠的满足单晶硅棒生产的要求，实现了经济、高效。CN110777426ACN110777426A权利要求书1/1页1.一种单晶炉自动定量真空加料系统，包括储料罐（1），其特征在于：所述储料罐（1）的上端设置计量仓（2），所述计量仓（2）的上方设置加料仓（3），所述加料仓（3）的底部设置第一气动真空蝶阀（4）和第二气动真空蝶阀（16），所述加料仓（3）的侧面卡接吸料管（5），所述吸料管（5）的另一端卡接储料罐（1），所述加料仓（3）的顶部卡接吸气管（7），所述吸气管（7）的另一端卡接过滤器（8），所述过滤器（8）通过连接管（9）连通旋涡气泵（10），所述吸料管（5）和吸气管（7）的一端及与加料仓（3）连接的一端均设置控制阀（11），所述储料罐（1）内设置主料加料模块（12），所述计量仓（2）内设置小料加料模块（13），所述加料仓（3）内设置真空上料模块（14），所述主料加料模块（12）、小料加料模块（13）和真空上料模块（14）均电性连接PLC控制器（15），所述PLC控制器（15）电性连接控制屏（6）。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述过滤器（8）的上方设置反吹模块，所述过滤器（8）通过螺栓固定安装在旋涡气泵（10）的一侧。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述计量仓（2）的底部设置出料口，所述计量仓（2）的出料口连接单晶炉，所述计量仓（2）的容量设置为30L。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述吸料管（5）连通加料仓（3）和储料罐（1），所述吸料管（5）连通加料仓（3）和过滤器（8）。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述第一气动真空蝶阀（4）设置在第二气动真空蝶阀（16）的上方，所述第一气动真空蝶阀（4）和第二气动真空蝶阀（16）均设置在计量仓的上方。6.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统，其特征在于：所述PLC控制器（15）电性连接旋涡气泵（10），所述旋涡气泵（10）电性连接控制屏（6）。2CN110777426A说明书1/2页单晶炉自动定量真空加料系统技术领域[0001]本发明属于单晶炉加料技术领域，具体涉及一种单晶炉自动定量真空加料系统。背景技术[0002]单晶硅棒的生产，需要在高温和真空状态下连续加料，且要求生成的硅棒拉起的速率和原料添加的速率相一致，目前国内一般用人工加料的方法，不但耗费人力，还难以控制精度，以影响产品质量,所以，我们提出一种单晶炉自动定量真空加料系统，以解决上述问题。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种单晶炉自动定量真空加料系统，以解决上述背景技术中提出的问题。[0004]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶炉自动定量真空加料系统，包括储料罐，所述储料罐的上端设置计量仓，所述计量仓的上方设置加料仓，所述加料仓的底部设置第一气动真空蝶阀和第二气动真空蝶阀，所述加料仓的侧面卡接吸料管，所述吸料管的另一端卡接储料罐，所述加料仓的顶部卡接吸气管，所述吸气管的另一端卡接过滤器，所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵，所述吸料管和吸气管的一端及与加料仓连接的一端均设置控制阀，所述储料罐内设置主料加料模块，所述计量仓内设置小料加料模块，所述加料仓内设置真空上料模块，所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器，所述PLC控制器电性连接控制屏。[0005]优选的，所述过滤器的上方设置反吹模块，所述过滤器通