单晶炉用自动化控制系统.pdf
雅云****彩妍
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相关资料
单晶炉用自动化控制系统.pdf
本发明涉及单晶炉生产控制技术领域,特别是一种单晶炉用自动化控制系统,包括微处理器,还包括温度传感器,所述温度传感器通过差动放大单元与微处理器输入端相连接;所述微处理器输出端通过继电器与执行机构相连接,所述执行机构与电磁阀相连接;所述微处理器通过接口模块与上位机相连接。采用上述结构后,本发明的单晶炉用自动化控制系统通过将压强传感器和温度传感器的历史数据存储在数据库中,便于更好的对拉晶进行控制;另外,本发明通过差动放大单元提高了温度传感器数据的准确性。
单晶炉用热场及单晶炉.pdf
本发明公开的单晶炉用热场,包括坩埚及位于其上方的冷却件,还包括护套,护套设置于冷却件靠近坩埚中心轴线的一侧。本发明公开的单晶炉,包括炉体和如上所述的单晶炉用热场,单晶炉用热场位于炉体内。本发明的单晶炉用热场及单晶炉解决了现有技术拉制单晶时提高拉晶速度与提高单晶质量两者不可兼顾的问题。本发明的单晶炉用热场及单晶炉具有冷却件,可以优化温度梯度、提高拉晶速度并降低拉晶成本;并且由于设置了护套,还能确保生长的晶体不受杂质污染、提供具有良好少子寿命的晶体产品。
单晶炉用热屏以及具有其的单晶炉.pdf
本发明公开一种用于单晶炉的热屏及使用其的单晶炉,所述热屏包括定位部,所述定位部用于与炉体连接,且所述定位部形成有上部开口端;和锥台部,所述锥台部上端与定位部相连接且下端形成有下部开口端,其中,所述锥台部由基体和位于基体内表面上的内层构成,形成所述内层的内层材料从包括硅、硅化合物、耐1400℃金属、硼化物、碳化物、氮化物、以及上述物质的混合物的组中选择。通过在单晶炉内的石英坩埚上方安装本发明的热屏,从而实现了多装料的同时避免了在装料时混入碳成分,因而能够在提高生产效率、降低生产成本的同时获得高品质的单晶。此
一种单晶炉用的热场及其单晶炉.pdf
本发明公开了一种单晶炉用的热场及其单晶炉,包括下托盘、上盖盘、坩埚、加热器和导流筒,导流筒的出气端朝向坩埚;热场还包括保温筒,保温筒套设在加热器外,保温筒的下端固定在下托盘,上端固定在上盖盘;保温筒的筒壁内设有多个第一排气管,保温筒内壁开设有进气口,进气口与第一排气管的上端一一对应连通;所述下托盘下方设有支撑环,支撑环下方设有支撑板,支撑板上设有通孔,第一排气管的出气端依次通过通孔、第二排气管连接真空泵进气口;第二排气管上设有电磁阀,热场还包括控制单元,控制单元控制电磁阀打开或关闭,还控制电磁阀的开启大小
单晶炉水冷套温度控制系统.pdf
本发明公开了一种单晶炉水冷套温度控制系统,它包括微处理器,设置在单晶炉的水冷套内壁上的温度传感器的信号传输端口依次经由采样信号放大电路、AD转换电路而与该微处理器的相应IO端口连接,设置在该水冷套的冷却水入口处的阀门的启闭控制端与步进电机的输出轴连接,该步进电机的信号控制端口与该微处理器的相应IO端口连接。本发明通过位置式PID算法控制流经水冷套的冷却水流量来调节水冷套的温度,使水冷套处于恒温状态,从而使IC级别单晶可稳定处于生长所需的热场纵向温度梯度条件下,以满足拉晶工艺的要求。