用于单晶炉的真空系统过滤器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102824798A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102824798A(43)申请公布日2012.12.19(21)申请号201210285243.5(22)申请日2012.08.10(71)申请人上虞晶信机电科技有限公司地址312300浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号申请人浙江晶盛机电股份有限公司(72)发明人朱亮曹建伟郭建宇王巍孙明(74)专利代理机构杭州中成专利事务所有限公司33212代理人周世骏(51)Int.Cl.B01D46/24(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书22页页附图附图22页(54)发明名称用于单晶炉的真空系统过滤器(57)摘要本发明涉及过滤装置，旨在提供一种用于单晶炉的真空系统过滤器。该过滤器包括罐体和设于罐体上的进气口及出气口；在罐底焊接有一个支撑环，支撑环上设滤芯支撑圆盘；滤芯支撑圆盘上开设若干排气孔，每个排气孔对应安装一个滤芯；滤芯支撑圆盘、支撑环和罐底构成过滤器的洁净区，所述出气口设于罐体底部且其开口位置处于支撑环之内。本发明增加了过滤面积，加强了过滤效果，且不易堵塞，减少了清理次数。解决了现有的过滤器过滤效果不好，需较为频繁的清理，且容易堵塞，清理麻烦，影响产品质量的问题；保证了单晶炉内真空抽吸效果，在一定程度上保证了单晶成品率；摇臂机构使得顶盖拆装方便，从而方便了对特制空气滤芯组件的清理。CN1028479ACN102824798A权利要求书1/1页1.一种用于单晶炉的真空系统过滤器，包括罐体和设于罐体上的进气口及出气口；其特征在于，在罐底焊接有一个支撑环，支撑环上设滤芯支撑圆盘；滤芯支撑圆盘上开设若干排气孔，每个排气孔对应安装一个滤芯；滤芯支撑圆盘、支撑环和罐底构成过滤器的洁净区，所述出气口设于罐体底部且其开口位置处于支撑环之内。2.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述进气口设于罐体侧面的中上部。3.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述出气口设有一个90°的弯头，方向与进气口相对。4.根据权利要求1至3任意一项中所述的过滤器，其特征在于，所述罐体上端呈开口状，配有顶盖；顶盖和法兰边缘罐体之间设置密封圈，并通过双头卡夹紧；罐体侧面固定焊接有一个摇臂机构，摇臂机构通过螺杆与顶盖相连。5.根据权利要求4所述的过滤器，其特征在于，所述滤芯支撑圆盘上的排气孔内焊接有用于固定滤芯的T型螺杆。6.根据权利要求4所述的过滤器，其特征在于，所述滤芯支撑圆盘上焊接有一对把手。7.根据权利要求4所述的过滤器，其特征在于，所述滤芯分为上下两段。2CN102824798A说明书1/2页用于单晶炉的真空系统过滤器技术领域[0001]本发明涉及过滤装置，特别涉及一种单晶炉生产过程中使用的单晶炉真空系统过滤器。背景技术[0002]直拉单晶的生产，需要在高温真空状态下进行，单晶炉内会产生许多高温挥发物，这些高温挥发物如果直接进入到真空泵内，会污染真空泵油，影响真空泵的安全运行，因此，设置单晶炉真空系统过滤器，用以净化气体真空。现有的单晶炉真空系统过滤器是由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在过滤网架上并与支撑圈连接的圆形过滤网构成。这种结构的过滤效果不好，需较为频繁的清理过滤器，否则容易堵塞，降低抽气功能；加之清理较为麻烦。一般每拉单晶5~6炉就需要更换真空泵油，影响真空泵的吸力和抽吸效果，甚至影响单晶成品率及产品质量。发明内容[0003]本发明的目的是要解决现有技术存在的上述问题，提供一种拆卸方便，且过滤效果好，可防止单晶炉中的灰尘、高温挥发物等进入真空泵中的真空系统过滤器。[0004]本发明采取的技术方案是：[0005]提供一种用于单晶炉的真空系统过滤器，包括罐体和设于罐体上的进气口及出气口；在罐底焊接有一个支撑环，支撑环上设滤芯支撑圆盘；滤芯支撑圆盘上开设若干排气孔，每个排气孔对应安装一个滤芯；滤芯支撑圆盘、支撑环和罐底构成过滤器的洁净区，所述出气口设于罐体底部且其开口位置处于支撑环之内。[0006]作为一种改进，所述进气口设于罐体侧面的中上部。[0007]作为一种改进，所述滤芯支撑圆盘上的排气孔内焊接有用于固定滤芯的T型螺杆。[0008]作为一种改进，所述滤芯支撑圆盘上焊接有一对把手。[0009]作为一种改进，所述滤芯分为上下两段。[0010]作为一种改进，所述出气口设有一个90°的弯头，方向与进气口相对。[0011]作为一种改进，所述罐体上端呈开口状，配有顶盖；顶盖和法兰边缘罐体之间设置密封圈，并通过双头卡夹紧；罐体侧面固定焊接有一个摇臂机构，摇臂机构通过螺杆与顶盖相连。[0012]本发明的有益效果在于：[0013]首先，由于采用滤芯组件，由传统的单个滤芯变为多个特制滤芯，增加了过滤面积，加强了