尾气过滤装置及单晶炉真空系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107684795A(43)申请公布日2018.02.13(21)申请号201610629326.X(22)申请日2016.08.03(71)申请人隆基绿能科技股份有限公司地址710100陕西省西安市长安区航天中路388号(72)发明人周锐文勇张永辉付泽华王宁军王林(74)专利代理机构西安弘理专利事务所61214代理人燕肇琪(51)Int.Cl.B01D50/00(2006.01)C30B15/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称尾气过滤装置及单晶炉真空系统(57)摘要本发明公开的尾气过滤装置，其罐体上分别设有进气口和出气口，罐体内设有浸入过滤油内的第一过滤部和第二过滤部，第二过滤部环绕设置于第一过滤部的周围且位于第一过滤部靠近过滤油液面的一侧。本发明公开的单晶炉真空系统，包括单晶炉、真空泵以及尾气过滤装置，尾气过滤装置连接于单晶炉和真空泵之间。本发明的尾气过滤装置利用两个过滤部对进入的尾气进行分流，使带有杂质的尾气与过滤油充分地接触使得杂质润湿后进入过滤油中，并沉入罐体底部。本发明的单晶炉真空系统在单晶炉与真空泵之间设置尾气过滤装置，该尾气过滤装置可过滤吸收尾气中的大部分杂质，使得进入真空泵的气体的杂质含量减少，从而不必频繁更换真空泵油。CN107684795ACN107684795A权利要求书1/1页1.尾气过滤装置，其特征在于，包括容置有过滤油的罐体(1)，所述罐体(1)上分别设有高于所述过滤油液面的进气口(14)和出气口(15)，所述罐体(1)内设有浸入过滤油内的第一过滤部(21)和第二过滤部(22)，所述第二过滤部(22)环绕设置于所述第一过滤部(21)的周围，且所述第二过滤部(22)位于所述第一过滤部(21)靠近所述过滤油液面的一侧。2.如权利要求1所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述第一过滤部(21)开设有多个第一过滤孔(23)，所述第二过滤部(22)开设有多个第二过滤孔(24)，所述第二过滤孔(24)的孔径小于所述第一过滤孔(22)的孔径。3.如权利要求1或2所述的尾气过滤装置，其特征在于，还包括连通于所述进气口(14)的过滤引导件(3)，所述过滤引导件(3)具有远离所述进气口(14)的过滤出口部(32)，所述过滤出口部(32)浸入所述过滤油中。4.如权利要求3所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述第一过滤部(21)设置于所述过滤出口部(32)的内侧，所述第二过滤部(22)设置于所述过滤出口部(32)的外侧。5.如权利要求3所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述过滤引导件(3)还具有连接所述进气口(14)的引入部(31)，引入部(31)通过扩径部(33)与所述过滤出口部(32)相连，经过扩径部(33)的扩径后使得所述过滤出口部(32)的口径大于所述引入部(31)的口径。6.如权利要求1所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述罐体(1)内的过滤油沿垂直于其液面的方向，所述进气口(14)位于所述出气口(15)及所述过滤油的液面之间。7.如权利要求1或6所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述罐体(1)包括可拆卸连接于一体的上罐体(11)和下罐体(12)，所述进气口(14)和出气口(15)均开设于所述上罐体(11)，且所述出气口(15)位于所述进气口(14)远离所述下罐体(12)的一侧。8.如权利要求7所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述罐体(1)还具有开设于所述下罐体(12)底部的排出口(16)，所述排出口(16)上设置有气密阀门(17)。9.单晶炉真空系统，其特征在于，包括单晶炉(101)、真空泵(102)以及如权利要求1至8任一项所述的尾气过滤装置，所述尾气过滤装置通过连接管道(103)连接于所述单晶炉(101)和真空泵(102)之间。10.如权利要求9所述的单晶炉真空系统，其特征在于，还包括连接所述单晶炉(101)与真空泵(102)的旁路管道(104)，所述旁路管道(104)上设置有旁路阀门(105)。2CN107684795A说明书1/3页尾气过滤装置及单晶炉真空系统技术领域[0001]本发明属于单晶制造设备技术领域，具体涉及一种尾气过滤装置，还涉及一种具有该尾气过滤装置的单晶炉真空系统。背景技术[0002]直拉法是一种常见的单晶生长方法，其生长过程是在单晶炉中，将籽晶浸入熔体，依次实施引晶、放肩、转肩、等径及收尾过程，最后获得单晶棒。在拉晶的同时，往炉内引入保护气体、并设置真空泵进行抽吸，利用保护气体对晶体生长环境的吹扫作用，带走挥发物及氧化物等杂质，确保拉晶过程稳定及成品品质。携带杂质的保护气体，即为拉晶尾气，一般先经过滤装置再进入真空泵，如此，能缓解杂质的进入对泵油粘稠度乃至真空泵效率的影响。然而，现有