一种超薄高纯铼箔的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106077617A(43)申请公布日2016.11.09(21)申请号201610684931.7(22)申请日2016.08.18(71)申请人中铼新材料有限公司地址412000湖南省株洲市芦淞区董家塅高科园航空路3号(72)发明人扶元初杨海兵杨世民(74)专利代理机构沈阳杰克知识产权代理有限公司21207代理人胡洋(51)Int.Cl.B22F1/00(2006.01)B22F3/18(2006.01)B22F3/24(2006.01)权利要求书1页说明书4页(54)发明名称一种超薄高纯铼箔的制造方法(57)摘要本发明公开一种超薄高纯铼箔的制造方法，包括如下步骤：1)原料制备：首先将高纯铼粉进行射频等离子体球化处理，得到易于粉末轧制成形的高纯球形铼粉或者类球形铼粉；2)纯铼压坯制备：在球化处理后的高纯铼粉中加入的粘结剂，使用粉末轧机，轧制出纯铼压坯；3)烧结：采用真空炉或其他形式高温炉对纯铼压坯进行高温烧结，制备出结晶均匀的纯铼板坯；4)连续化轧制及退火：对纯铼板坯采用多辊轧机和退火联动的连续化轧制；将纯铼板坯表面涂覆润滑剂，连续化轧制与退火，直到得到所需尺寸的成品铼箔。具有轧制流程短，退火效率高，表面质量好等优点。CN106077617ACN106077617A权利要求书1/1页1.一种超薄高纯铼箔的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：1)原料制备：首先将高纯铼粉进行射频等离子体球化处理，得到易于粉末轧制成形的高纯球形铼粉或者类球形铼粉；2)纯铼压坯制备：在球化处理后的高纯铼粉中加入质量分数0.2～2％可去除率大于99.999％的粘结剂，使用粉末轧机，轧制出纯铼压坯；3)烧结：采用真空炉或其他形式高温炉对纯铼压坯进行高温烧结，制备出结晶均匀的纯铼板坯；4)连续化轧制及退火：对纯铼板坯采用多辊轧机和退火联动的连续化轧制；将纯铼板坯表面涂覆润滑剂，连续化轧制与退火，直到得到所需尺寸的成品铼箔。2.如权利要求1所述一种超薄高纯铼箔的制造方法，其特征在于，步骤1)中高纯铼粉的纯度≥99.99％，费氏粒度3～10μm。3.如权利要求1所述一种超薄高纯铼箔的制造方法，其特征在于，步骤1)中球化处理后铼粉的平均粒度5～15μm，纯度≥99.9％，球化率大于80％，氧含量小于0.05％。4.如权利要求1所述一种超薄高纯铼箔的制造方法，其特征在于，步骤2)中粘结剂为石蜡、异石蜡系碳化氢。5.如权利要求1所述一种超薄高纯铼箔的制造方法，其特征在于，步骤2)中粉末轧机的最大轧制力为25T，粉末轧制温度范围20～100℃。6.如权利要求1所述一种超薄高纯铼箔的制造方法，其特征在于，步骤3)中烧结温度控制在2000～2350℃，烧结时间0.5～3h。7.如权利要求1所述一种超薄高纯铼箔的制造方法，其特征在于，步骤4)中润滑剂为石墨乳和/或46#润滑油。8.如权利要求1所述一种超薄高纯铼箔的制造方法，其特征在于，步骤4)连续化轧制与退火中控制道次变形量5～20％，退火温度1500～1800℃，退火时间5～30min。9.如权利要求1所述一种超薄高纯铼箔的制造方法，其特征在于，步骤4)中成品铼箔的厚度小于0.05mm，宽度大于100mm，长度大于500mm，纯度不小于99.99％，密度大于20.99g/cm3。2CN106077617A说明书1/4页一种超薄高纯铼箔的制造方法技术领域[0001]本发明属于粉末冶金制备领域，特别涉及一种超薄高纯铼箔的制造方法。背景技术[0002]金属铼片被作为基材制作各种高温结构件、高温加热器、异型零件等，广泛应用于航空、航天、原子能、超高温合金、半导体真空镀膜、高温热场等尖端领域。[0003]金属铼具有高密度、高熔点、优异的高温强度和高温塑性等特点，在制作金属铼片的过程中，熔点高，硬化速度特别快，弹性后效大，特别不容易加工，尤其不容易加工成厚度小于0.1mm的金属片材。随着科技的发展，实际应用中，对铼片纯度要求越来越高的同时，对于铼片厚度要求越来越薄，例如用于电子及军工行业的厚度小于0.05mm的铼箔，用普通方法很难加工，甚至生产厚度小于0.1mm以下的铼片也很困难，退火效率低下，生产效率太低，且无法保证产品表面质量。发明内容[0004]针对现有技术不足，本发明的目的在于提供一种超薄高纯铼箔的制造方法，通过制备易于成形的高纯球形或类球形铼粉，并辅以高除去率特种粘合剂，从而制备出易于轧制的纯铼烧坯，轧制过程中在待轧铼片表面进行涂覆特种润滑剂，减小轧制阻力，并提高产品表面质量，利用联轧退火工序，高效率消除金属铼加工硬化现象，从而可制造出厚度小于0.05mm的超薄纯铼箔。本发明具有轧制流程短，退火效率高，表面质量好等优点。[0005]本发明采用