一种用于扩散炉内的石英舟传送机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106128990A(43)申请公布日2016.11.16(21)申请号201610721277.2(22)申请日2016.08.25(71)申请人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司地址518000广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷（涌鑫工业园）D栋(72)发明人肖岳南张勇(74)专利代理机构深圳市康弘知识产权代理有限公司44247代理人胡朝阳尹彦(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图7页(54)发明名称一种用于扩散炉内的石英舟传送机构(57)摘要本发明公开了一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括固定于扩散炉内一侧的竖直向上的立柱，固定于扩散炉内另一侧的推舟机构以及固定于扩散炉底部的侧向出舟机构，所述立柱上由上至下固定有多个间隔开的暂存区，所述推舟机构上水平伸出一SIC桨，所述SIC桨与所述暂存区之间设有升降通道区，所述立柱上还设有一沿该立柱上下运动的机械手，所述侧向出舟机构固定于扩散炉底部的位置位于所述暂存区的正下方。本发明提出的用于扩散炉内的石英舟传送机构，在SIC桨的取放舟位置较低时，机械手在抓取SIC桨上的石英舟后传输到升降通道区时不会与侧向出舟机构上传输的石英舟发生碰撞。CN106128990ACN106128990A权利要求书1/1页1.一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括固定于扩散炉（9）内一侧的竖直向上的立柱（1），固定于扩散炉内另一侧的推舟机构（2）以及固定于扩散炉底部的侧向出舟机构（6），所述立柱上由上至下固定有多个间隔开的暂存区（3），所述推舟机构上水平伸出一SIC桨（4），所述SIC桨与所述暂存区之间设有升降通道区（5），所述立柱上还设有一沿该立柱上下运动的机械手（7），其特征在于：所述侧向出舟机构固定于扩散炉底部的位置位于所述暂存区的正下方。2.根据权利要求1所述的石英舟传送机构，其特征在于：所述机械手（7）包括水平手臂（71）和手抓（72），所述水平手臂的一端安装在所述立柱（1）上，另一端安装所述手抓，所述手抓沿所述水平手臂左右运动。3.根据权利要求1所述的石英舟传送机构，其特征在于：所述侧向出舟机构(6)通过固定座(61)固定在所述扩散炉(9)底部，所述固定座包括连接板(611)和设于所述连接板同侧的间隔开的至少两个环形框体(612)；所述扩散炉底部设有横梁(91)，所述环形框体套在所述横梁上并与该横梁之间通过螺钉连接。2CN106128990A说明书1/3页一种用于扩散炉内的石英舟传送机构技术领域[0001]本发明涉及光伏行业中的生产设备，更具体地说是涉及一种用于扩散炉内的石英舟传送机构。背景技术[0002]扩散炉内配备有一套传送机构，该机构的作用是实现石英舟在扩散炉内上下及前后方向各个位置上的传输。其中传输的上下位置为SIC桨及各个暂存区位置，传输前后方向上位置依次为：暂存区、升降通道区和推舟机构SIC桨区。机械手在暂存区或SIC桨上取放石英舟后，均需先退回升降通道区，上升或下降至需要的高度，再运行下一步动作。[0003]如图1，现有设计中，侧向出舟机构6的位置在机械手升降通道区5的正下方，假设侧向出舟机构6上传输的石英舟8已经到达机械手抓取位或正在此区域附近运行，而此时机械手又正传送从SIC桨4上抓取石英舟8并退回升降通道区5，如果SIC桨4的取放舟位置较高，那么机械手在抓取SIC桨4上石英舟8并退回升降通道区5时不会与侧向出舟机构6上传输的石英舟8发生碰撞。如图2，如果SIC桨4的取放舟位置较低或高度降低时，机械手在抓取SIC桨4上的石英舟8并退回升降通道区5时会与侧向出舟机构6上传输的石英舟8便会发生碰撞，对石英舟造成损坏。发明内容[0004]为解决上述现有技术中存在的问题，本发明提供一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，在SIC桨的取放舟位置较低时，机械手在抓取SIC桨上的石英舟后传输到升降通道区时不会与侧向出舟机构上传输的石英舟发生碰撞。[0005]本发明的技术方案为：一种用于扩散炉内的石英舟传送机构，包括固定于扩散炉内一侧的竖直向上的立柱，固定于扩散炉内另一侧的推舟机构以及固定于扩散炉底部的侧向出舟机构，所述立柱上由上至下固定有多个间隔开的暂存区，所述推舟机构上水平伸出一SIC桨，所述SIC桨与所述暂存区之间设有升降通道区，所述立柱上还设有一沿该立柱上下运动的机械手，所述侧向出舟机构固定于扩散炉底部的位置位于所述暂存区的正下方。[0006]所述机械手包括水平手臂和手抓，所述水平手臂的一端安装在所述立柱上，另一端安装所述手抓，所述手抓沿所述水平手臂左右运动。[0007]所述侧向出舟机构通过固定座固定在所述扩散炉底部，所述固定座包括连接板和设于所