用于半导体扩散炉的石英钩.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103021901A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN103021901A(43)申请公布日2013.04.03(21)申请号201110279805.0(22)申请日2011.09.20(71)申请人宜兴市环洲微电子有限公司地址214200江苏省无锡市宜兴市环科园南岳工业园区(72)发明人潘建英伍林周富利(74)专利代理机构南京天华专利代理有限责任公司32218代理人徐冬涛(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书22页页附图附图11页(54)发明名称用于半导体扩散炉的石英钩(57)摘要本发明公开了一种用于半导体扩散炉的石英钩，包括钩尖（1）和用于连接钩尖（1）的连接棒（2），所述的连接棒（2）包括实心棒（3）和与其相连的空心棒（4），实心棒（3）的一端与钩尖（1）相连，实心棒（3）的另一端与空心棒（4）相连；所述的钩尖（1）、实心棒（3）和空心棒（4）采用石英制成。本发明的结构简单，连接棒的大部分采用空心的石英棒制成，降低了生产成本；同时由于后端采用空心棒制成，延缓了热传导的速度，有效降低了高温下的操作难度，并且不易破碎；另外该石英钩的结构设计合理、形状精致，具有较大的经济利益，适宜推广使用。CN10329ACN103021901A权利要求书1/1页1.一种用于半导体扩散炉的石英钩，包括钩尖（1）和用于连接钩尖（1）的连接棒（2），其特征在于所述的连接棒（2）包括实心棒（3）和与其相连的空心棒（4），实心棒（3）的一端与钩尖（1）相连，实心棒（3）的另一端与空心棒（4）相连。2.根据权利要求1所述的用于半导体扩散炉的石英钩，其特征在于所述的钩尖（1）、实心棒（3）和空心棒（4）采用石英制成。3.根据权利要求1所述的用于半导体扩散炉的石英钩，其特征在于所述实心棒（3）和空心棒（4）的长度之比为1:4-8。4.根据权利要求1或3所述的用于半导体扩散炉的石英钩，其特征在于所述实心棒（3）的长度为20-30cm。5.根据权利要求1所述的用于半导体扩散炉的石英钩，其特征在于所述的实心棒（3）和空心棒（4）之间采用螺旋连接。6.根据权利要求1所述的用于半导体扩散炉的石英钩，其特征在于所述的实心棒（3）的一端嵌入空心棒（4）的一端内。7.根据权利要求1所述的用于半导体扩散炉的石英钩，其特征在于所述的实心棒（3）和空心棒（4）之间采用焊接。2CN103021901A说明书1/2页用于半导体扩散炉的石英钩技术领域[0001]本发明涉及一种用于半导体工艺中的石英钩，具体地说是一种用于半导体扩散炉的石英钩。背景技术[0002]目前，石英钩被广泛使用于半导体工艺中。在半导体工艺中，通常使用石英钩进出半导体扩散炉以取放加工件，现有技术中采用的石英钩采用实心的石英材料，另外由于工业应用中的半导体扩散炉在高温下进行生产操作，因此石英钩在进出半导体扩散炉取放加工件时处于高温热传导的环境下，导致操作人员不易操作而且石英钩钩体容易碎裂，同时由于石英钩的成本较高增加了生产成本。发明内容[0003]本发明的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种生产成本低、使用寿命长的用于半导体扩散炉的石英钩。[0004]本发明的目的是通过以下技术方案解决的：一种用于半导体扩散炉的石英钩，包括钩尖和用于连接钩尖的连接棒，所述的连接棒包括实心棒和与其相连的空心棒，实心棒的一端与钩尖相连，实心棒的另一端与空心棒相连。[0005]所述的钩尖、实心棒和空心棒采用石英制成。[0006]所述实心棒和空心棒的长度之比为1:4-8。[0007]所述实心棒的长度为20-30cm。[0008]所述的实心棒和空心棒之间采用螺旋连接。[0009]所述的实心棒的一端嵌入空心棒的一端内。[0010]所述的实心棒和空心棒之间采用焊接。[0011]本发明相比现有技术有如下优点：本发明的结构简单，连接棒的大部分采用空心的石英棒制成，降低了生产成本；同时由于后端采用空心棒制成，延缓了热传导的速度，有效降低了高温下的操作难度，并且不易破碎。[0012]本发明的结构设计合理、形状精致，具有较大的经济利益，适宜推广使用。附图说明[0013]附图1是本发明的结构示意图。[0014]其中：1—钩尖；2—连接棒；3—实心棒；4—空心棒。具体实施方式[0015]下面结合附图与具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明3CN103021901A说明书2/2页本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。[0016]如图1所示：一种用于半导体扩散炉的石英钩，包括石英制成的钩尖1和用于连接钩尖1的连接棒2。该连接棒2由实心棒3和与其相