一种立式扩散炉专用叠加型石英舟.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106498501A(43)申请公布日2017.03.15(21)申请号201610993859.6(22)申请日2016.11.11(71)申请人桂林电子科技大学地址541004广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号(72)发明人高鹏刘阳罗奕张应红孙宁唐亮高波王岩(74)专利代理机构北京天奇智新知识产权代理有限公司11340代理人但玉梅(51)Int.Cl.C30B31/14(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称一种立式扩散炉专用叠加型石英舟(57)摘要本发明公开了一种立式扩散炉专用叠加型石英舟，属于石英舟结构技术领域。包括石英舟本体，所述本体上设有用于放置硅片的舟槽，所述本体包括中空的中心筒、支撑板和石英棒，支撑板沿中心筒周向均匀设置在中心筒外侧面上且相对中心筒中心轴线平行；相邻的所述支撑板间设有多根石英棒，所述石英棒间平行设置且对应硅片的下部弧形间隔排列，所述石英棒朝向硅片一侧均匀设置多个刻槽，石英棒间的刻槽一一对应并共同构成所述舟槽，所述舟槽以中心筒轴心线为中心相对呈放射性设置；所述中心筒位于两相邻支撑板之间设置有贯通中心筒内腔的排气口。本发明适合于立式扩散炉，通过改进石英舟结构，舟槽按圆周方向排列设置，最大化利用石英舟空间。CN106498501ACN106498501A权利要求书1/1页1.一种立式扩散炉专用叠加型石英舟，包括石英舟本体，所述本体上设有用于放置硅片的舟槽，其特征在于：所述本体包括中空的中心筒、支撑板和石英棒，支撑板沿中心筒周向均匀设置在中心筒外侧面上且相对中心筒轴心线平行；相邻的所述支撑板间设有多根石英棒，所述石英棒间平行设置且对应硅片的下部弧形间隔排列，所述石英棒朝向硅片一侧均匀设置多个刻槽，石英棒间的刻槽一一对应并共同构成所述舟槽，所述舟槽以中心筒轴心线为中心相对呈放射性设置；所述中心筒位于两相邻支撑板之间设置有贯通中心筒内腔的排气口。2.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,其特征在于：所述石英棒为圆弧结构并沿中心筒周向设置，且所述刻槽沿石英棒圆弧的圆心呈放射性均匀设置。3.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,其特征在于：相邻所述支撑板间的石英棒间相平行设置，且石英棒两端到中心筒距离相同。4.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,其特征在于：所述刻槽的开口处设有倒角，倒角之间夹角呈50-80°。5.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,其特征在于：所述石英棒由石英圈替代，所述石英圈与中心筒呈同心设置，并在支撑板设有对应石英圈固定放置的卡槽。6.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,其特征在于：所述中心筒包括同轴设置的上筒体和下筒体，沿上筒体和下筒体轴心线设置等径内孔；所述下筒体外径大于上筒体外径大小；沿上筒体周向设置多个排气口，所述支撑板设置在上筒体上并位于相邻两排气口之间。7.根据权利要求6所述的一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,其特征在于：所述中心筒上设置起吊槽，所述起吊槽位于排气口上方且开口朝下设置。8.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,其特征在于：还包括呈圆形的石英底盘，所述石英底盘对应同轴设置中心筒底部，并且所述石英底盘中间设置与中心筒内径大小的通孔；所述石英底盘下端面设置凸台，所述支撑板间上端面平齐，并设置与所述凸台对应的凹槽，所述凹槽底面与中心筒的上端面平齐；所述支撑板下端连接石英底盘上端面。9.根据权利要求8所述的一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,其特征在于：所述石英底盘的上端面设置与其同心的圆形凹槽，所述圆形凹槽的直径大小对应舟槽宽度。10.根据权利要求8所述的一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,其特征在于：所述石英底盘下端面的凸台上还设置对应中心筒上端的大小的底部凹槽；支撑板间上端面与中心筒的上端面平齐，在支撑板设置与凸台对应的环形凹槽。2CN106498501A说明书1/5页一种立式扩散炉专用叠加型石英舟技术领域[0001]本发明涉及石英舟结构技术领域，特别是一种立式扩散炉专用叠加型石英舟。背景技术[0002]普通石英舟都是长方形的或长条型，而且其舟槽都是垂直其轴心线方向；舟槽的宽度会大于硅片的厚度,舟槽的宽度等于硅片的厚度时，舟槽在插拔过程中会与硅片存在摩擦，损伤硅片，因此舟槽的宽度要大于硅片的厚度以保证硅片方便放置同时避免舟槽与硅片之间存在不必要摩擦划割。但是这样也会造成硅片放在石英舟里面并不是完全垂直的,会有一定的倾斜,随着石英舟的使用,舟槽的宽度会有一定程度的增大。当舟槽宽度增大后,装在石英舟上的硅片的倾斜度也会增大,相邻的硅片如果倾斜到一定程度