一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111564524A(43)申请公布日2020.08.21(21)申请号202010236275.0(22)申请日2020.03.30(71)申请人深圳市拉普拉斯能源技术有限公司地址518118广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号(72)发明人张武卢佳林佳继庞爱锁张耀林依婷(74)专利代理机构杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)33283代理人董世博(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L21/22(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法(57)摘要本发明提供一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法，包括以下步骤：酸洗石英舟，吹干；将石英舟推入炉管中，通入氧气、氮气升温至850～900度，氧气流量0sccm～2slm，氮气流量100sccm～2slm；持续通入氧气和氮气，氧气流量100sccm～5slm，氮气流量0sccm～5slm，时间范围10～90分钟，保持压力在50mbar～常压；降温出舟，温度降低后，回压出舟。本发明饱和过程中不通POCl3，只通入氮气及氧气，减少了石英舟卡槽处P2O5的堆积，降低出管后与水汽反应生成酸的概率，减少与电池片接触产生舟印；减少了饱和运行时间，同时饱和完成后，能直接投入生产使用，降低了对产能的影响。CN111564524ACN111564524A权利要求书1/1页1.一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法，其特征是，所述方法包括以下步骤：(1)酸洗石英舟，吹干；(2)将石英舟推入炉管中，通入氧气、氮气并升温至合适的反应温度，(3)持续通入氧气和氮气，并保持一定的时间，同时保持适合反应的温度和压力；(4)降温出舟，温度降低后，回压出舟。2.根据权利要求1所述的一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法，其特征是，在所述步骤(2)中，升温至850～900度。3.根据权利要求2所述的一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法，其特征是，在所述步骤(2)中，温度升至855-865度。4.根据权利要求1所述的一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法，其特征是，氧气流量0sccm～2slm，氮气流量100sccm～2slm。5.根据权利要求1所述的一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法，其特征是，在所述步骤(3)中，氧气流量100sccm～5slm，氮气流量0sccm～5slm，时间范围10～90分钟，保持压力在50mbar～常压。6.根据权利要求5所述的一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法，其特征是，在所述步骤(3)中，通入氧气和氮气的时间为15～30分钟。7.根据权利要求5所述的一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法，其特征是，在所述步骤(3)中，通入氧气的流量1slm～2slm。8.根据权利要求5所述的一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法，其特征是，在所述步骤(3)中，通入氮气的流量800sccm～3slm。9.根据权利要求1所述的一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法，其特征是，在所述步骤(4)中，出舟温度为770～820度。10.根据权利要求6所述的一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法，其特征是，在所述步骤(4)中，出舟温度为780～800度。2CN111564524A说明书1/4页一种适用于磷扩散石英舟的饱和方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池制造工序中磷扩散技术，尤其是涉及一种磷扩散石英舟饱和的方案。背景技术[0002]在所有的太阳能电池中，硅太阳能电池是商业推广范围最大的太阳能电池。光电转换的太阳能电池可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。[0003]扩散是形成PN的关键工序，其中磷扩散主要是在P型硅片在炉管内进行高温通入磷源掺杂磷元素获得PN。石英舟由于其耐高温及防腐蚀的特性，在磷扩散过程中作为硅片的载体，会与硅片直接接触，其清洁度直接影响到电池片的外观及品质，所以石英舟的清洗饱和很重要。[0004]目前较为常用的磷扩石英舟饱和方式：主要将洗干净吹干后的石英舟，放入炉管内高温800℃-900℃通入氮气，三氯氧磷及氧气等工艺气体反应进行饱和，目前扩散石英舟基本趋于国产，降低成本将为趋势，各公司对于石英舟厂家的选择性也多样化，由于各个石英舟厂家加工处理的差异，部分石英舟用传统饱和方案，卡槽处易造成杂质及P2O5堆积，饱和出管后与空气中的水汽反应生成偏磷酸等物质，当生产过程中与电池片接触后，易黏附腐蚀硅片表面，遂出现舟印，影响电池片质量。[0005]常规的饱和方案主要是将洗干净氮气吹干后的石英舟空舟进炉管，在800℃-900℃左右高温下通氮气，三氯氧磷和氧气进行反应，饱和结束后，遂用石英舟插满电池片陆陆续续跑两三个轮次后，舟印才会慢慢减轻直至消失，此方法在影响