一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片扩散用石英舟及扩散方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113078083A(43)申请公布日2021.07.06(21)申请号202010003778.3(22)申请日2020.01.03(71)申请人环晟光伏（江苏）有限公司地址214200江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号(72)发明人王鹏何秋霞马擎天(74)专利代理机构天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)12213代理人栾志超(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)H01L31/18(2006.01)H01L21/225(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图2页(54)发明名称一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片扩散用石英舟及扩散方法(57)摘要本发明提供一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，包括石英舟本体、支撑件、加强件和锁紧件，支撑件与石英舟本体可拆卸连接，且支撑件可相对于加强件移动，并通过锁紧件锁紧，支撑件设于石英舟本体底部，便于对硅片进行支撑；加强件与石英舟本体可拆卸连接，且加强件可相对于石英舟本体移动，并通过锁紧件锁紧，加强件与支撑件平行设置，便于对硅片插片时进行定位；支撑件与加强件上均设有卡齿，且支撑件上的卡齿与加强件上的卡齿一一对应；卡齿包括连接部和支撑部，连接部与支撑部连接。本发明的有益效果是适合硅片电池扩散时使用，对石英舟进行改进，同时对硅片进行切割，采用垂直方式进行插片，满足扩散炉生产需求。CN113078083ACN113078083A权利要求书1/2页1.一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：包括石英舟本体、支撑件、加强件和锁紧件，其中，所述支撑件与所述石英舟本体可拆卸连接，且所述支撑件可相对于所述加强件移动，并通过所述锁紧件锁紧，所述支撑件设于所述石英舟本体底部，便于对硅片进行支撑；所述加强件与所述石英舟本体可拆卸连接，且所述加强件可相对于所述石英舟本体移动，并通过所述锁紧件锁紧，所述加强件与所述支撑件平行设置，便于对硅片插片时进行定位；所述支撑件与所述加强件上均设有卡齿，且所述支撑件上的卡齿与所述加强件上的卡齿一一对应；以及，所述卡齿包括连接部和支撑部，所述连接部与所述支撑部连接。2.根据权利要求1所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：所述加强件的数量为多个，多个所述加强件沿着所述石英舟本体的长度方向依次设置，且所述加强件可相对于所述石英舟本体移动，相邻所述加强件相对面均设有所述卡齿，便于对不同尺寸硅片进行扩散。3.根据权利要求2所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：所述加强件包括连接杆，所述连接杆的两端分别与所述石英舟本体滑动连接，所述锁紧件与所述连接件一端连接，便于将所述加强件锁紧在所述石英舟本体上。4.根据权利要求2或3所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：相邻所述加强件之间至少设有一个支撑件，所述支撑件的一端与所述锁紧件连接，便于将所述支撑件锁紧在所述石英舟本体上。5.根据权利要求4所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：所述加强件与所述支撑件均与所述石英舟本体的长度方向垂直设置。6.根据权利要求5所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：所述连接部包括卡柱和卡柱支撑部，所述卡柱支撑部对称设于所述卡柱的两侧。7.根据权利要求6所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：所述卡柱支撑部凸出所述卡柱的侧壁。8.根据权利要求4-6任一项所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：所述相邻卡齿之间的距离为2.18-2.58mm。9.一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散方法，其特征在于：包括以下步骤，S1：对制绒后的硅片进行切割，将所述制绒后的硅片一分为二，形成半片硅片；S2：采用垂直方式进行所述半片硅片的装载；S3：进行扩散：S30：稳定半片硅片表面温度，减少硅片中心与边缘的温度差；S31：制备氧化层，进行半片硅片表面氧化；S32：低温恒定源扩散，进行半片硅片表面沉积磷源；S33：高温推进，便于形成PN结；S34：高温通源，进行扩散补源；S35：二步推结，形成磷硅玻璃层；S36：降温出炉。2CN113078083A权利要求书2/2页10.根据权利要求9所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散方法，其特征在于：所述步骤S30中，进行扩散炉的升温，并通入氮气，并进行温度保持，其中，所述扩散炉温度升温至扩散温度，所述扩散温度为760-780℃，所述氮气的流量为16-20slm，所述温度保持时间为5-8min。3CN113078083A说明书1/8页一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片扩散用石英舟及扩散方法技术领域[0001]本发明属于太阳能电池