靶材的制作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103447535A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103447535103447535A(43)申请公布日2013.12.18(21)申请号201210179697.4(22)申请日2012.05.30(71)申请人宁波江丰电子材料有限公司地址315400浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号(72)发明人姚力军相原俊夫大岩一彦潘杰王学泽周友平(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人骆苏华(51)Int.Cl.B22F8/00(2006.01)C23C14/14(2006.01)C23C14/34(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书7页说明书7页附图2页附图2页(54)发明名称靶材的制作方法(57)摘要本发明公开了一种靶材的制作方法，包括：收集废弃的靶材；提供用于制作靶材的粉末原料；将废弃的靶材及粉末原料放入模具中，然后将模具放入真空炉内，真空炉内设有压头；对真空炉进行抽真空，直至真空炉达到预设真空度；真空炉达到预设真空度之后，对真空炉进行加热直至达到预设温度，利用压头压紧废弃的靶材及粉末原料直至达到预设压强；保温保压一段时间，然后逐渐泄压、冷却，取出靶材。在高温高压的作用下，粉末原料与废弃的靶材能紧密连接并结合为一个整体，从而获得所需尺寸的靶材。可分几个阶段将真空炉逐步调整至预设温度及预设压强，使真空炉的加热及加压过程更为平缓并使最终形成靶材的致密度更佳。CN103447535ACN103475ACN103447535A权利要求书1/2页1.一种靶材的制作方法，其特征在于，包括：收集废弃的靶材；提供用于制作靶材的粉末原料；将所述废弃的靶材及粉末原料放入模具中，然后将所述模具放入真空炉内，所述真空炉内设有压头；对所述真空炉进行抽真空，直至真空炉达到预设真空度；真空炉达到预设真空度之后，对真空炉进行加热直至达到预设温度，利用所述压头压紧废弃的靶材及粉末原料直至达到预设压强，所述预设温度低于靶材的熔点；保温保压一段时间，然后逐渐泄压、冷却，取出靶材。2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，将所述废弃的靶材放入模具之前，还包括以下步骤：打磨所述废弃的靶材；利用酸溶液清洗打磨过的废弃靶材。3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，对真空炉进行加热直至达到预设温度的步骤包括：以第一加热速度将真空炉加热至第一温度，进行第一次保温，第一次保温时间为第一时间；进行第一次保温之后，以第二加热速度将真空炉加热至所述预设温度。4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述第一加热速度大于所述第二加热速度。5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，对真空炉进行加热直至达到预设温度，利用所述压头压紧废弃的靶材及粉末原料直至达到预设压强的步骤包括：使所述压头加压至第一压力，然后，以第一加热速度将真空炉加热至第一温度，进行第一次保温，第一次保温时间为第一时间；进行第一次保温之后，以第二加热速度将真空炉加热至所述预设温度，同时使所述压头加压至第二压力并始终保持在第二压力，所述第二压力大于所述第一压力；进行第二次保温，第二次保温时间为第二时间，在进行第二次保温的过程中使所述压头始终保持在所述第二压力；进行第二次保温之后，使所述压头加压直至达到所述预设压强。6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述废弃的靶材为钨钛靶材，所述粉末原料为钨粉与钛粉的混合粉末，所述预设真空度小于100Pa，所述预设温度为1500℃~2000℃，所述预设压强为30Mpa~60Mpa，所述保温保压的时间为30min~180min。7.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述废弃的靶材为钨钛靶材，所述粉末原料为钨粉与钛粉的混合粉末，所述预设真空度小于100Pa，所述预设温度为1500℃~2000℃，所述预设压强为30Mpa~60Mpa，所述保温保压的时间为30min~180min，第一加热速度为10℃/min，所述第一温度为500℃~1300℃，所述第一时间为30min~180min，所述第二加热速度为5℃/min。8.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，所述废弃的靶材为钨钛靶材，所述粉末原料为钨粉与钛粉的混合粉末，所述预设真空度小于100Pa，所述预设温度为2CN103447535A权利要求书2/2页1500℃~2000℃，所述预设压强为30Mpa~60Mpa，所述保温保压的时间为30min~180min，所述第一压力为2吨~50吨，所述第一加热速度为10℃/min，所述第一温度为500℃~1300℃，所述第一时间为30min~180min，所述第二加热速度为5℃/min，所述第二压力为2吨~50吨，所述第二时间为